Chất bán dẫn VeTek là nhà sản xuất vật liệu phủ Tantalum Carbide hàng đầu cho ngành bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua tantalum CVD, các bộ phận phủ TaC thiêu kết để phát triển tinh thể SiC hoặc quy trình epit Wax bán dẫn. Đạt tiêu chuẩn ISO9001, VeTek Semiconductor có khả năng kiểm soát tốt về chất lượng. VeTek Semiconductor nỗ lực trở thành nhà đổi mới trong ngành phủ Tantalum cacbua thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp lại.
Các sản phẩm chính làVòng khuyết lớp phủ Tantalum Carbide, vòng chuyển hướng được phủ TaC, các bộ phận hình bán nguyệt được phủ TaC, Đĩa quay hành tinh được phủ Tantalum Carbide (Aixtron G10), Nồi nấu kim loại được phủ TaC; Nhẫn tráng TaC; Than chì xốp phủ TaC; Chất nhạy cảm với lớp phủ than chì cacbua tantali; Vòng dẫn hướng được phủ TaC; Tấm phủ tantalum cacbua TaC; Chất nhạy cảm wafer phủ TaC; Vòng phủ TaC; Lớp phủ than chì TaC; Chunk phủ TaCv.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.
Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền. Ưu điểm được thể hiện trong hình dưới đây:
Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đã thu hút được sự chú ý nhờ điểm nóng chảy cao lên tới 3880°C, độ bền cơ học, độ cứng và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn cho các quy trình epit Wax bán dẫn hỗn hợp có yêu cầu nhiệt độ cao hơn, chẳng hạn như hệ thống Aixtron MOCVD và quy trình epit Wax LPE SiC. Nó cũng có ứng dụng rộng rãi trong quy trình phát triển tinh thể SiC theo phương pháp PVT.
●Ổn định nhiệt độ
●Độ tinh khiết cực cao
●Kháng H2, NH3, SiH4,Si
●Khả năng chịu nhiệt
●Độ bám dính mạnh với than chì
●Lớp phủ phủ phù hợp
● Kích thước đường kính lên tới 750 mm (Nhà sản xuất duy nhất ở Trung Quốc đạt kích thước này)
● Cảm biến nhiệt cảm ứng
● Bộ phận làm nóng bằng điện trở
● Tấm chắn nhiệt
Tính chất vật lý của lớp phủ TaC | |
Tỉ trọng | 14,3 (g/cm³) |
Độ phát xạ cụ thể | 0.3 |
Hệ số giãn nở nhiệt | 6,3 10-6/K |
Độ cứng (HK) | 2000 HK |
Sức chống cự | 1×10-5Ohm*cm |
Độ ổn định nhiệt | <2500oC |
Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
độ dày lớp phủ | ≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
Yếu tố | Phần trăm nguyên tử | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Trung bình | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Họ | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Là nhà cải tiến chuyên nghiệp và dẫn đầu các sản phẩm Vòng phủ Tantalum cacbua ở Trung Quốc, Vòng phủ Tantalum cacbua bán dẫn VeTek đóng một vai trò không thể thay thế trong sự phát triển tinh thể SiC với khả năng chịu nhiệt độ cao, chống mài mòn và dẫn nhiệt tuyệt vời. Chào mừng bạn tư vấn thêm.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất chuyên nghiệp và dẫn đầu về các sản phẩm cacbua Tantalum xốp tại Trung Quốc. Tantalum Carbide xốp thường được sản xuất bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD), đảm bảo kiểm soát chính xác kích thước và sự phân bố lỗ chân lông của nó, đồng thời là công cụ vật liệu dành riêng cho môi trường khắc nghiệt ở nhiệt độ cao. Chào mừng bạn tư vấn thêm.
Đọc thêmGửi yêu cầuLà nhà sản xuất và sản xuất tiên tiến các sản phẩm Vòng cacbua Tantalum ở Trung Quốc, Vòng cacbua Tantalum bán dẫn VeTek có độ cứng cực cao, chống mài mòn, chịu nhiệt độ cao và ổn định hóa học và được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn. Đặc biệt trong CVD, PVD, quy trình cấy ion, quy trình ăn mòn, xử lý và vận chuyển wafer, nó là sản phẩm không thể thiếu trong quá trình gia công và sản xuất chất bán dẫn. Rất mong nhận được sự tư vấn thêm của bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuLà nhà sản xuất và nhà máy sản xuất sản phẩm Hỗ trợ lớp phủ cacbua Tantalum chuyên nghiệp tại Trung Quốc, Chất hỗ trợ lớp phủ Tantalum cacbua bán dẫn VeTek thường được sử dụng để phủ bề mặt các bộ phận cấu trúc hoặc các bộ phận hỗ trợ trong thiết bị bán dẫn, đặc biệt là để bảo vệ bề mặt của các thành phần thiết bị chính trong quy trình sản xuất chất bán dẫn như CVD và PVD. Chào mừng bạn tư vấn thêm.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất chuyên nghiệp và dẫn đầu về các sản phẩm Vòng dẫn hướng Tantalum Carbide tại Trung Quốc. Vòng dẫn hướng Tantalum Carbide (TaC) của chúng tôi là thành phần vòng hiệu suất cao được làm bằng cacbua tantalum, thường được sử dụng trong thiết bị xử lý chất bán dẫn, đặc biệt là trong môi trường nhiệt độ cao và có tính ăn mòn cao như CVD, PVD, khắc và khuếch tán. VeTek Semiconductor cam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành bán dẫn và hoan nghênh các yêu cầu tiếp theo của bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuLà nhà sản xuất, nhà đổi mới và dẫn đầu chuyên nghiệp về các sản phẩm Chất cảm ứng xoay lớp phủ TaC tại Trung Quốc. Chất cảm biến xoay lớp phủ TaC bán dẫn VeTek thường được lắp đặt trong thiết bị lắng đọng hơi hóa học (CVD) và epit Wax chùm phân tử (MBE) để hỗ trợ và xoay các tấm bán dẫn nhằm đảm bảo lắng đọng vật liệu đồng đều và phản ứng hiệu quả. Nó là một thành phần quan trọng trong xử lý chất bán dẫn. Chào mừng bạn tư vấn thêm.
Đọc thêmGửi yêu cầu