Vòng phủ tantalum cacbua

Vòng phủ Tantalum cacbua bán dẫn VeTek được chế tạo từthan chìvà được phủ bằng cacbua tantalum, một sự kết hợp tận dụng các đặc tính tốt nhất của cả hai vật liệu để đảm bảo hiệu suất và tuổi thọ vượt trội. 

Lớp phủ TaC trên Vòng phủ cacbua Tantalum đảm bảo rằng nó vẫn trơ về mặt hóa học trong môi trường phản ứng của lò tăng trưởng tinh thể SiC, thường liên quan đến các loại khí như hydro, argon và nitơ. Tính trơ hóa học này rất quan trọng để ngăn ngừa bất kỳ sự nhiễm bẩn nào của tinh thể đang phát triển, điều này có thể dẫn đến khiếm khuyết và giảm hiệu suất của các sản phẩm bán dẫn cuối cùng. Ngoài ra, độ ổn định nhiệt do lớp phủ TaC mang lại cho phép Vòng phủ cacbua Tantalum hoạt động hiệu quả ở nhiệt độ cao cần thiết cho sự phát triển của tinh thể SiC, thường vượt quá 2000°C.

Các đặc tính cơ học của TaC làm giảm đáng kể sự mài mòn trên Vòng phủ Tantalum Carbide. Điều này rất quan trọng do tính chất lặp đi lặp lại của quá trình phát triển tinh thể, khiến vòng dẫn hướng phải chịu các chu kỳ nhiệt và ứng suất cơ học thường xuyên. Độ cứng và khả năng chống mài mòn của TaC đảm bảo rằng Vòng phủ TaC duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc và kích thước chính xác trong thời gian dài, giảm thiểu nhu cầu thay thế thường xuyên và giảm thời gian ngừng hoạt động trong quá trình sản xuất. 

Ngoài ra, sự kết hợp giữa than chì và TaC trong Vòng phủ cacbua Tantalum giúp tối ưu hóa việc quản lý nhiệt trong lò phát triển tinh thể. Độ dẫn nhiệt cao của than chì phân phối nhiệt hiệu quả, ngăn chặn các điểm nóng và thúc đẩy sự phát triển tinh thể đồng đều. Trong khi đó, lớp phủ TaC đóng vai trò như một rào cản nhiệt, bảo vệ lõi than chì khỏi tiếp xúc trực tiếp với nhiệt độ cao và các khí phản ứng. Sự kết hợp giữa vật liệu lõi và lớp phủ này tạo ra vòng dẫn hướng không chỉ chịu được các điều kiện khắc nghiệt củaTăng trưởng tinh thể SiCmà còn nâng cao hiệu quả và chất lượng tổng thể của quá trình.

Vòng phủ Tantalum cacbua bán dẫn VeTek là một thành phần thiết yếu trong ngành bán dẫn, được thiết kế đặc biệt cho sự phát triển củaTinh thể cacbua silic. Thiết kế của nó khai thác sức mạnh của than chì và cacbua tantalum để mang lại hiệu suất vượt trội trong môi trường nhiệt độ cao, áp suất cao. Lớp phủ TaC đảm bảo độ trơ hóa học, độ bền cơ học và độ ổn định nhiệt, tất cả đều rất quan trọng để sản xuất tinh thể SiC chất lượng cao. Bằng cách duy trì tính toàn vẹn và chức năng trong các điều kiện khắc nghiệt, vòng hỗ trợ sự phát triển hiệu quả và không có khuyết tật của tinh thể SiC, góp phần phát triển các thiết bị bán dẫn tần số cao và công suất cao.

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp hàng đầu các sản phẩmLớp phủ cacbua tantali, Lớp phủ silicon cacbuaVàThan chì đặc biệtở Trung Quốc. Chúng tôi từ lâu đã cam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành bán dẫn và chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Lớp phủ cacbua tantali (TaC)trên mặt cắt vi mô：

Tổng quan vềchuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn：