Chất bán dẫn VeTek là nhà sản xuất vật liệu phủ Tantalum Carbide hàng đầu cho ngành bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua tantalum CVD, các bộ phận phủ TaC thiêu kết để phát triển tinh thể SiC hoặc quy trình epit Wax bán dẫn. Đạt tiêu chuẩn ISO9001, VeTek Semiconductor có khả năng kiểm soát tốt về chất lượng. VeTek Semiconductor nỗ lực trở thành nhà đổi mới trong ngành phủ Tantalum cacbua thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp lại.
Các sản phẩm chính làVòng khuyết lớp phủ Tantalum Carbide, vòng chuyển hướng được phủ TaC, các bộ phận hình bán nguyệt được phủ TaC, Đĩa quay hành tinh được phủ Tantalum Carbide (Aixtron G10), Nồi nấu kim loại được phủ TaC; Nhẫn tráng TaC; Than chì xốp phủ TaC; Chất nhạy cảm với lớp phủ than chì cacbua tantali; Vòng dẫn hướng được phủ TaC; Tấm phủ tantalum cacbua TaC; Chất nhạy cảm wafer phủ TaC; Vòng phủ TaC; Lớp phủ than chì TaC; Chunk phủ TaCv.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.
Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền. Ưu điểm được thể hiện trong hình dưới đây:
Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đã thu hút được sự chú ý nhờ điểm nóng chảy cao lên tới 3880°C, độ bền cơ học, độ cứng và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn cho các quy trình epit Wax bán dẫn hỗn hợp có yêu cầu nhiệt độ cao hơn, chẳng hạn như hệ thống Aixtron MOCVD và quy trình epit Wax LPE SiC. Nó cũng có ứng dụng rộng rãi trong quy trình phát triển tinh thể SiC theo phương pháp PVT.
●Ổn định nhiệt độ
●Độ tinh khiết cực cao
●Kháng H2, NH3, SiH4,Si
●Khả năng chịu nhiệt
●Độ bám dính mạnh với than chì
●Lớp phủ phủ phù hợp
● Kích thước đường kính lên tới 750 mm (Nhà sản xuất duy nhất ở Trung Quốc đạt kích thước này)
● Cảm biến nhiệt cảm ứng
● Bộ phận làm nóng bằng điện trở
● Tấm chắn nhiệt
Tính chất vật lý của lớp phủ TaC | |
Tỉ trọng | 14,3 (g/cm³) |
Độ phát xạ cụ thể | 0.3 |
Hệ số giãn nở nhiệt | 6,3 10-6/K |
Độ cứng (HK) | 2000 HK |
Sức chống cự | 1×10-5Ohm*cm |
Độ ổn định nhiệt | <2500oC |
Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
độ dày lớp phủ | ≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
Yếu tố | Phần trăm nguyên tử | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Trung bình | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Họ | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến Vòng dẫn hướng được phủ TaC hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về phủ gốm trong nhiều năm. Vòng dẫn hướng được phủ TaC chủ yếu được sử dụng để dẫn hướng và kiểm soát luồng không khí, nâng cao năng suất phát triển của tinh thể đơn. Chào mừng bạn đến hỏi chúng tôi để biết thêm thông tin.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến Đĩa quay hành tinh phủ Tantalum Carbide hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về phủ gốm trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi có độ tinh khiết cao và khả năng chịu nhiệt độ cao. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn trong lĩnh vực này Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến tấm wafer than chì phủ TaC hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ SiC và TaC trong nhiều năm. Chất mang wafer than chì phủ TaC của chúng tôi có khả năng chịu nhiệt độ và chống mài mòn cao hơn. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu