Phần Halfmoon 8 inch cho Nhà máy Lò phản ứng LPE

Nhà sản xuất đĩa quay hành tinh phủ tantalum cacbua

Vòng lấy nét khắc SiC rắn của Trung Quốc

Chất nhạy cảm thùng tráng SiC cho nhà cung cấp LPE PE2061S

Lớp phủ cacbua tantali

Chất bán dẫn VeTek là nhà sản xuất vật liệu phủ Tantalum Carbide hàng đầu cho ngành bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua tantalum CVD, các bộ phận phủ TaC thiêu kết để tăng trưởng tinh thể SiC hoặc quy trình epit Wax bán dẫn. Đạt tiêu chuẩn ISO9001, VeTek Semiconductor có khả năng kiểm soát tốt về chất lượng. VeTek Semiconductor nỗ lực trở thành nhà đổi mới trong ngành phủ Tantalum cacbua thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp lại.

Các sản phẩm chính là vòng khuyết phủ lớp phủ Tantalum Carbide, vòng chuyển hướng được phủ TaC, các bộ phận bán nguyệt được phủ TaC, Đĩa quay hành tinh phủ Tantalum Carbide (Aixtron G10), Nồi nấu kim loại được phủ TaC; Nhẫn tráng TaC; Than chì xốp phủ TaC; Chất nhạy cảm với lớp phủ than chì cacbua tantali; Vòng dẫn hướng được phủ TaC; Tấm phủ tantalum cacbua TaC; Chất nhạy cảm wafer phủ TaC; Vòng phủ TaC; Lớp phủ than chì TaC; TaC Coated Chunk, v.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.

Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền. Ưu điểm được thể hiện trong hình dưới đây:

Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đã thu hút được sự chú ý nhờ điểm nóng chảy cao lên tới 3880°C, độ bền cơ học, độ cứng và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn cho các quy trình epit Wax bán dẫn hỗn hợp có yêu cầu nhiệt độ cao hơn, chẳng hạn như hệ thống Aixtron MOCVD và quy trình epit Wax LPE SiC. Nó cũng có ứng dụng rộng rãi trong quy trình phát triển tinh thể SiC theo phương pháp PVT.

Thông số của lớp phủ cacbua Tantalum bán dẫn VeTek:

Tính chất vật lý của lớp phủ TaC
Tỉ trọng	14,3 (g/cm³)
Độ phát xạ cụ thể	0.3
Hệ số giãn nở nhiệt	6,3 10-6/K
Độ cứng (HK)	2000 HK
Sức chống cự	1×10-5 Ôm*cm
Ổn định nhiệt	<2500oC
Thay đổi kích thước than chì	-10~-20um
độ dày lớp phủ	≥20um giá trị điển hình (35um±10um)

Dữ liệu EDX lớp phủ TaC

Dữ liệu cấu trúc tinh thể lớp phủ TaC

Yếu tố	Phần trăm nguyên tử
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Trung bình
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Tạ M	47.90	42.59	47.63	46.04

Mâm cặp phủ TaC Đĩa hành tinh phủ TaC Tấm tráng TaC Tấm xoay lớp phủ TaC Chất nhạy cảm với lớp phủ TaC Lớp phủ CVD TaC Vòng phủ CVD TaC Tấm phủ TaC

Lớp phủ silicon cacbua

VeTek Semiconductor chuyên sản xuất các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua siêu tinh khiết, các lớp phủ này được thiết kế để ứng dụng cho các thành phần than chì, gốm sứ và kim loại chịu lửa tinh khiết.

Lớp phủ có độ tinh khiết cao của chúng tôi chủ yếu được nhắm mục tiêu sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử. Chúng đóng vai trò như một lớp bảo vệ cho các chất mang bán dẫn, chất nhạy cảm và bộ phận làm nóng, bảo vệ chúng khỏi môi trường ăn mòn và phản ứng gặp phải trong các quy trình như MOCVD và EPI. Các quy trình này là không thể thiếu trong quá trình xử lý wafer và sản xuất thiết bị. Ngoài ra, lớp phủ của chúng tôi rất phù hợp cho các ứng dụng trong lò chân không và gia nhiệt mẫu, nơi gặp phải môi trường chân không, phản ứng và oxy cao.

Tại VeTek Semiconductor, chúng tôi cung cấp giải pháp toàn diện với năng lực xưởng máy tiên tiến của mình. Điều này cho phép chúng tôi sản xuất các bộ phận cơ bản bằng cách sử dụng than chì, gốm sứ hoặc kim loại chịu lửa và áp dụng lớp phủ gốm SiC hoặc TaC ngay trong nhà. Chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ phủ cho các bộ phận do khách hàng cung cấp, đảm bảo tính linh hoạt để đáp ứng nhu cầu đa dạng.

Các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua của chúng tôi được sử dụng rộng rãi trong epit Wax Si, epit Wax SiC, hệ thống MOCVD, quy trình RTP/RTA, quy trình ăn mòn, quy trình khắc ICP/PSS, quy trình của các loại đèn LED khác nhau, bao gồm đèn LED xanh lam và xanh lục, đèn LED UV và tia cực tím sâu LED, v.v., được điều chỉnh phù hợp với các thiết bị từ LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, v.v.

Các bộ phận lò phản ứng chúng ta có thể làm:

Lớp phủ silicon cacbua có một số ưu điểm độc đáo:

Thông số lớp phủ silicon cacbua bán dẫn VeTek:

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC
Tài sản	Giá trị điển hình
Cấu trúc tinh thể	FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111)
Tỉ trọng	3,21 g/cm³
độ cứng	Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g)
Kích thước hạt	2 ~ 10μm
Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
Nhiệt dung	640 J·kg-1·K-1
Nhiệt độ thăng hoa	2700oC
Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
Mô đun của Young	Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
Dẫn nhiệt	300W·m-1·K-1
Mở rộng nhiệt (CTE)	4,5×10-6K-1

Sản phẩm nổi bật

Về chúng tôi

Công ty TNHH Công nghệ bán dẫn VeTek được thành lập vào năm 2016, là nhà cung cấp hàng đầu các vật liệu phủ tiên tiến cho ngành bán dẫn. Người sáng lập của chúng tôi, cựu chuyên gia của Viện Vật liệu thuộc Viện Hàn lâm Khoa học Trung Quốc, đã thành lập công ty với trọng tâm phát triển các giải pháp tiên tiến cho ngành.

Sản phẩm chính của chúng tôi cung cấp bao gồmLớp phủ cacbua silic CVD (SiC), lớp phủ tantalum cacbua (TaC), SiC số lượng lớn, bột SiC và vật liệu SiC có độ tinh khiết cao. Các sản phẩm chính là chất nhạy cảm than chì được phủ SiC, vòng làm nóng trước, vòng chuyển hướng được phủ TaC, các bộ phận bán nguyệt, v.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.

Đọc thêm