Chất bán dẫn VeTek là nhà sản xuất vật liệu phủ Tantalum Carbide hàng đầu cho ngành bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua tantalum CVD, các bộ phận phủ TaC thiêu kết để phát triển tinh thể SiC hoặc quy trình epit Wax bán dẫn. Đạt tiêu chuẩn ISO9001, VeTek Semiconductor có khả năng kiểm soát tốt về chất lượng. VeTek Semiconductor nỗ lực trở thành nhà đổi mới trong ngành phủ Tantalum cacbua thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp lại.
Các sản phẩm chính làVòng khuyết lớp phủ Tantalum Carbide, vòng chuyển hướng được phủ TaC, các bộ phận hình bán nguyệt được phủ TaC, Đĩa quay hành tinh được phủ Tantalum Carbide (Aixtron G10), Nồi nấu kim loại được phủ TaC; Nhẫn tráng TaC; Than chì xốp phủ TaC; Chất nhạy cảm với lớp phủ than chì cacbua tantali; Vòng dẫn hướng được phủ TaC; Tấm phủ tantalum cacbua TaC; Chất nhạy cảm wafer phủ TaC; Vòng phủ TaC; Lớp phủ than chì TaC; Chunk phủ TaCv.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.
Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền. Ưu điểm được thể hiện trong hình dưới đây:
Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đã thu hút được sự chú ý nhờ điểm nóng chảy cao lên tới 3880°C, độ bền cơ học, độ cứng và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn cho các quy trình epit Wax bán dẫn hỗn hợp có yêu cầu nhiệt độ cao hơn, chẳng hạn như hệ thống Aixtron MOCVD và quy trình epit Wax LPE SiC. Nó cũng có ứng dụng rộng rãi trong quy trình phát triển tinh thể SiC theo phương pháp PVT.
●Ổn định nhiệt độ
●Độ tinh khiết cực cao
●Kháng H2, NH3, SiH4,Si
●Khả năng chịu nhiệt
●Độ bám dính mạnh với than chì
●Lớp phủ phủ phù hợp
● Kích thước đường kính lên tới 750 mm (Nhà sản xuất duy nhất ở Trung Quốc đạt kích thước này)
● Cảm biến nhiệt cảm ứng
● Bộ phận làm nóng bằng điện trở
● Tấm chắn nhiệt
Tính chất vật lý của lớp phủ TaC | |
Tỉ trọng | 14,3 (g/cm³) |
Độ phát xạ cụ thể | 0.3 |
Hệ số giãn nở nhiệt | 6,3 10-6/K |
Độ cứng (HK) | 2000 HK |
Sức chống cự | 1×10-5Ohm*cm |
Độ ổn định nhiệt | <2500oC |
Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
độ dày lớp phủ | ≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
Yếu tố | Phần trăm nguyên tử | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Trung bình | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Họ | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor là nhà sản xuất chuyên nghiệp và dẫn đầu về các sản phẩm Nồi nấu kim loại phủ CVD TaC tại Trung Quốc. Lớp phủ CVD TaC Crucible được làm từ lớp phủ tantalum carbon (TaC). Lớp phủ carbon tantalum được phủ đều trên bề mặt nồi nấu kim loại thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) để tăng cường khả năng chịu nhiệt và chống ăn mòn. Nó là một công cụ vật liệu được sử dụng đặc biệt trong môi trường khắc nghiệt ở nhiệt độ cao. Chào mừng bạn tư vấn thêm.
Đọc thêmGửi yêu cầuLà nhà sản xuất và nhà máy sản xuất sản phẩm tấm wafer phủ CVD TaC chuyên nghiệp tại Trung Quốc, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating wafer Carrier là một công cụ mang wafer được thiết kế đặc biệt cho môi trường ăn mòn và nhiệt độ cao trong sản xuất chất bán dẫn. và Chất mang wafer phủ lớp phủ CVD TaC có độ bền cơ học cao, khả năng chống ăn mòn và ổn định nhiệt tuyệt vời, mang lại sự đảm bảo cần thiết cho việc sản xuất các thiết bị bán dẫn chất lượng cao. Yêu cầu thêm của bạn đều được chào đón.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến hàng đầu về Máy sưởi lớp phủ TaC tại Trung Quốc. Sản phẩm này có điểm nóng chảy cực cao (khoảng 3880°C). Điểm nóng chảy cao của Lò gia nhiệt lớp phủ TaC cho phép nó hoạt động ở nhiệt độ cực cao, đặc biệt là trong sự phát triển của các lớp epiticular gallium nitride (GaN) trong quá trình lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD). VeTek Semiconductor cam kết cung cấp các giải pháp công nghệ và sản phẩm tiên tiến cho ngành bán dẫn. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuLà nhà sản xuất và cung cấp Chuck phủ TaC chuyên nghiệp tại Trung Quốc, Chuck phủ TaC của VeTek Semiconductor được thiết kế đặc biệt cho lò nung bán dẫn. Với khả năng chịu nhiệt độ cao, độ trơ hóa học và hiệu suất tuyệt vời, công nghệ tiên tiến của Vetek Semiconductor cung cấp giải pháp đáng tin cậy cho ngành sản xuất chất bán dẫn để đảm bảo tiêu chuẩn sản xuất chất lượng cao. Chúng tôi tin rằng sản phẩm của chúng tôi có thể mang đến cho bạn những giải pháp công nghệ tiên tiến và sản phẩm chất lượng cao.
Đọc thêmGửi yêu cầuLà nhà sản xuất và cung cấp Ống phủ TaC chuyên nghiệp tại Trung Quốc, ống phủ TaC của VeTek Semiconductor là thành phần quan trọng cho sự phát triển thành công của các tinh thể đơn cacbua silic. Với khả năng chịu nhiệt độ cao, độ trơ hóa học và hiệu suất tuyệt vời, nó đảm bảo sản xuất các tinh thể chất lượng cao với kết quả nhất quán. Hãy tin tưởng vào các giải pháp sáng tạo của chúng tôi để nâng cao quá trình phát triển tinh thể SiC theo phương pháp PVT của bạn và đạt được kết quả xuất sắc. Chào mừng bạn đến hỏi chúng tôi.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất, nhà đổi mới và dẫn đầu về Lớp phủ CVD TAC tại Trung Quốc. Trong nhiều năm, chúng tôi đã tập trung vào các sản phẩm Lớp phủ CVD TAC khác nhau như lớp phủ CVD TaC, Vòng phủ CVD TaC, chất mang lớp phủ CVD TaC, v.v. VeTek Semiconductor hỗ trợ các dịch vụ sản phẩm tùy chỉnh và giá sản phẩm vừa ý, đồng thời mong nhận được sự hỗ trợ tiếp theo của bạn tư vấn.
Đọc thêmGửi yêu cầu