Chất bán dẫn VeTek là nhà sản xuất vật liệu phủ Tantalum Carbide hàng đầu cho ngành bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua tantalum CVD, các bộ phận phủ TaC thiêu kết để tăng trưởng tinh thể SiC hoặc quy trình epit Wax bán dẫn. Đạt tiêu chuẩn ISO9001, VeTek Semiconductor có khả năng kiểm soát tốt về chất lượng. VeTek Semiconductor nỗ lực trở thành nhà đổi mới trong ngành phủ Tantalum cacbua thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp lại.
Các sản phẩm chính làVòng khuyết lớp phủ Tantalum Carbide, vòng chuyển hướng được phủ TaC, các bộ phận hình bán nguyệt được phủ TaC, Đĩa quay hành tinh được phủ Tantalum Carbide (Aixtron G10), Nồi nấu kim loại được phủ TaC; Nhẫn tráng TaC; Than chì xốp phủ TaC; Chất nhạy cảm với lớp phủ than chì cacbua tantali; Vòng dẫn hướng được phủ TaC; Tấm phủ tantalum cacbua TaC; Chất nhạy cảm wafer phủ TaC; Vòng phủ TaC; Lớp phủ than chì TaC; Chunk phủ TaCv.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.
Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền. Ưu điểm được thể hiện trong hình dưới đây:
Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đã thu hút được sự chú ý nhờ điểm nóng chảy cao lên tới 3880°C, độ bền cơ học, độ cứng và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn cho các quy trình epit Wax bán dẫn hỗn hợp có yêu cầu nhiệt độ cao hơn, chẳng hạn như hệ thống Aixtron MOCVD và quy trình epit Wax LPE SiC. Nó cũng có ứng dụng rộng rãi trong quy trình phát triển tinh thể SiC theo phương pháp PVT.
Ổn định nhiệt độ
Độ tinh khiết cực cao
Kháng H2, NH3, SiH4,Si
Khả năng chịu nhiệt
Độ bám dính mạnh với than chì
Lớp phủ phủ phù hợp
Kích thước đường kính lên tới 750 mm (Nhà sản xuất duy nhất ở Trung Quốc đạt kích thước này)
Chất mang wafer
Cảm biến nhiệt cảm ứng
Yếu tố làm nóng điện trở
Đĩa vệ tinh
vòi hoa sen
Vòng dẫn hướng
Bộ thu LED Epi
Vòi phun
Vòng che
Tấm chắn nhiệt
Tính chất vật lý của lớp phủ TaC | |
Tỉ trọng | 14,3 (g/cm³) |
Độ phát xạ cụ thể | 0.3 |
Hệ số giãn nở nhiệt | 6,3 10-6/K |
Độ cứng (HK) | 2000 HK |
Sức chống cự | 1×10-5Ohm*cm |
Độ ổn định nhiệt | <2500oC |
Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
độ dày lớp phủ | ≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
Yếu tố | Phần trăm nguyên tử | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Trung bình | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Tạ M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor là nhà sản xuất chuyên nghiệp về Tấm phủ TaC và các phụ tùng Lớp phủ TaC khác tại Trung Quốc. Lớp phủ TaC hiện được sử dụng chủ yếu trong các quá trình như tăng trưởng đơn tinh thể silicon cacbua (phương pháp PVT), đĩa epiticular (bao gồm epit Wax silicon cacbua, epit Wax LED), v.v. Kết hợp với tính ổn định lâu dài tốt của Tấm phủ TaC, VeTek Semiconductor TaC Tấm phủ đã trở thành tiêu chuẩn cho các phụ tùng Lớp phủ TaC. Chúng tôi mong muốn bạn trở thành đối tác lâu dài của chúng tôi.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất chuyên nghiệp chất nhạy cảm GaN trên SiC epi, lớp phủ CVD SiC và chất nhạy cảm than chì CVD TAC COATING ở Trung Quốc. Trong số đó, chất nhạy cảm GaN trên SiC epi đóng một vai trò quan trọng trong xử lý chất bán dẫn. Thông qua tính dẫn nhiệt tuyệt vời, khả năng xử lý nhiệt độ cao và tính ổn định hóa học, nó đảm bảo hiệu quả cao và chất lượng vật liệu của quá trình tăng trưởng epiticular GaN. Chúng tôi chân thành mong nhận được sự tư vấn thêm của bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất mang Lớp phủ CVD TaC của VeTek Semiconductor được thiết kế chủ yếu cho quy trình sản xuất chất bán dẫn epiticular. Điểm nóng chảy cực cao của nhà cung cấp lớp phủ CVD TaC, khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và độ ổn định nhiệt vượt trội quyết định tính không thể thiếu của sản phẩm này trong quy trình epiticular bán dẫn. Chúng tôi chân thành hy vọng xây dựng mối quan hệ kinh doanh lâu dài với bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng dẫn hướng lớp phủ TaC của VeTek Semiconductor được tạo ra bằng cách phủ lớp phủ cacbua tantalum lên các bộ phận than chì bằng kỹ thuật tiên tiến cao gọi là lắng đọng hơi hóa học (CVD). Phương pháp này được thiết lập tốt và cung cấp các đặc tính phủ đặc biệt. Bằng cách sử dụng Vòng dẫn hướng lớp phủ TaC, tuổi thọ của các thành phần than chì có thể được kéo dài đáng kể, sự chuyển động của tạp chất than chì có thể bị ngăn chặn và chất lượng đơn tinh thể SiC và AIN có thể được duy trì một cách đáng tin cậy. Chào mừng bạn đến hỏi chúng tôi.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất nhạy cảm bằng than chì được phủ TaC của VeTek Semiconductor sử dụng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD) để chuẩn bị lớp phủ cacbua tantalum trên bề mặt của các bộ phận than chì. Quá trình này là trưởng thành nhất và có đặc tính phủ tốt nhất. Chất nhạy cảm than chì được phủ TaC có thể kéo dài tuổi thọ của các thành phần than chì, ức chế sự di chuyển của tạp chất than chì và đảm bảo chất lượng của epit Wax. VeTek Semiconductor rất mong nhận được câu hỏi của bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor giới thiệu Chất cảm biến lớp phủ TaC. Với lớp phủ TaC đặc biệt, chất cảm ứng này mang lại vô số ưu điểm khiến nó khác biệt so với các giải pháp thông thường. Tích hợp hoàn toàn vào các hệ thống hiện có, Chất cảm ứng lớp phủ TaC của VeTek Semiconductor đảm bảo khả năng tương thích và hoạt động hiệu quả. Hiệu suất đáng tin cậy và lớp phủ TaC chất lượng cao của nó luôn mang lại kết quả đặc biệt trong quy trình epit Wax SiC. Chúng tôi cam kết cung cấp sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh và mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu