Nhà cung cấp wafer vệ tinh Aixtron

Vật mang tấm bán dẫn vệ tinh Aixtron là một phần không thể thiếu của thiết bị AIXTRON MOCVD, được sử dụng đặc biệt để mang các tấm bán dẫn cho quá trình tăng trưởng epiticular. Nó đặc biệt thích hợp cho cáctăng trưởng epiticularquá trình của các thiết bị GaN và silic cacbua (SiC). Thiết kế "vệ tinh" độc đáo của nó không chỉ đảm bảo tính đồng nhất của dòng khí mà còn cải thiện tính đồng nhất của sự lắng đọng màng trên bề mặt wafer.

của Aixtronngười vận chuyển waferthường được làm bằngcacbua silic (SiC)hoặc than chì phủ CVD. Trong số đó, cacbua silic (SiC) có tính dẫn nhiệt tuyệt vời, chịu nhiệt độ cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp. Than chì phủ CVD là than chì được phủ một màng cacbua silic thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD), có thể tăng cường khả năng chống ăn mòn và độ bền cơ học. Vật liệu SiC và than chì được phủ có thể chịu được nhiệt độ lên tới 1.400°C–1.600°C và có độ ổn định nhiệt tuyệt vời ở nhiệt độ cao, điều này rất quan trọng đối với quá trình tăng trưởng epiticular.

Nhà cung cấp tấm wafer vệ tinh Aixtron chủ yếu được sử dụng để mang và xoay các tấm wafer trongquá trình MOCVDđể đảm bảo dòng khí đồng đều và lắng đọng đồng đều trong quá trình tăng trưởng epiticular.Các chức năng cụ thể như sau:

Xoay wafer và lắng đọng đồng đều: Thông qua vòng quay của Vật mang vệ tinh Aixtron, tấm bán dẫn có thể duy trì chuyển động ổn định trong quá trình tăng trưởng epiticular, cho phép khí chảy đều trên bề mặt tấm bán dẫn để đảm bảo sự lắng đọng đồng đều của vật liệu.

Chịu nhiệt độ cao và ổn định: Vật liệu cacbua silic hoặc than chì phủ có thể chịu được nhiệt độ lên tới 1.400°C–1.600°C. Tính năng này đảm bảo rằng wafer sẽ không bị biến dạng trong quá trình tăng trưởng epiticular ở nhiệt độ cao, đồng thời ngăn chặn sự giãn nở nhiệt của chính chất mang ảnh hưởng đến quá trình epiticular.

Giảm tạo hạt: Vật liệu mang chất lượng cao (chẳng hạn như SiC) có bề mặt nhẵn giúp giảm khả năng tạo hạt trong quá trình lắng đọng hơi, do đó giảm thiểu khả năng nhiễm bẩn, điều này rất quan trọng để sản xuất vật liệu bán dẫn chất lượng cao, có độ tinh khiết cao.

Nhà cung cấp tấm bán dẫn vệ tinh Aixtron của VeTek Semiconductor có sẵn với các kích cỡ tấm bán dẫn 100mm, 150mm, 200mm và thậm chí lớn hơn, đồng thời có thể cung cấp các dịch vụ sản phẩm tùy chỉnh dựa trên yêu cầu về quy trình và thiết bị của bạn. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ là đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

SEM DỮ LIỆU CỦA CẤU TRÚC TINH THỂ PHIM CVD SIC：

Nhà cung cấp tấm wafer vệ tinh Aixtron Các cửa hàng sản xuất:

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: