Vòng cacbua tantali

Vòng Tantalum cacbua (TaC) của VeTek Semiconductor sử dụng than chì chất lượng cao làm vật liệu lõi và nhờ cấu trúc độc đáo của nó, có thể duy trì hình dạng và tính chất cơ học trong các điều kiện khắc nghiệt của lò phát triển tinh thể. Khả năng chịu nhiệt cao của than chì mang lại cho nó sự ổn định tuyệt vời trong suốtquá trình phát triển tinh thể.

Lớp ngoài của Vòng TaC được phủ một lớplớp phủ cacbua tantalum, một loại vật liệu được biết đến với độ cứng cực cao, nhiệt độ nóng chảy trên 3880°C và khả năng chống ăn mòn hóa học tuyệt vời, khiến nó đặc biệt thích hợp với môi trường hoạt động ở nhiệt độ cao. Lớp phủ cacbua tantalum cung cấp một rào cản mạnh mẽ để ngăn chặn hiệu quả các phản ứng hóa học dữ dội và đảm bảo rằng lõi than chì không bị ăn mòn bởi khí lò nhiệt độ cao.

Trong lúctăng trưởng tinh thể cacbua silic (SiC), điều kiện tăng trưởng ổn định và đồng đều là chìa khóa để đảm bảo tinh thể chất lượng cao. Vòng phủ cacbua Tantalum đóng vai trò quan trọng trong việc điều chỉnh lưu lượng khí và tối ưu hóa sự phân bổ nhiệt độ trong lò. Là vòng dẫn hướng khí, Vòng TaC đảm bảo phân phối đồng đều năng lượng nhiệt và khí phản ứng, đảm bảo sự phát triển đồng đều và ổn định của tinh thể SiC.

Ngoài ra, độ dẫn nhiệt cao của than chì kết hợp với tác dụng bảo vệ của lớp phủ Tantalum Carbide giúp Vòng dẫn hướng TaC hoạt động ổn định trong môi trường nhiệt độ cao cần thiết cho sự phát triển của tinh thể SiC. Độ bền kết cấu và độ ổn định kích thước của nó rất quan trọng để duy trì các điều kiện trong lò, ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng của tinh thể được tạo ra. Bằng cách giảm sự dao động nhiệt và phản ứng hóa học trong lò, Vòng phủ TaC giúp tạo ra các tinh thể có đặc tính điện tử tuyệt vời cho các ứng dụng bán dẫn hiệu suất cao.

Vòng cacbua Tantalum của VeTek Semiconductor là thành phần chính củalò tăng trưởng tinh thể cacbua silicvà nổi bật nhờ độ bền tuyệt vời, độ ổn định nhiệt và khả năng kháng hóa chất. Sự kết hợp độc đáo giữa lõi than chì và lớp phủ TaC cho phép nó duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc và chức năng trong các điều kiện khắc nghiệt. Bằng cách kiểm soát chính xác nhiệt độ và lưu lượng khí trong lò, Vòng phủ TaC cung cấp các điều kiện cần thiết để sản xuất tinh thể SiC chất lượng cao, rất quan trọng cho việc sản xuất linh kiện bán dẫn tiên tiến.

Lớp phủ tantalum cacbua (TaC) trên mặt cắt cực nhỏ：