Chất bán dẫn VeTek là nhà sản xuất vật liệu phủ Tantalum Carbide hàng đầu cho ngành bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua tantalum CVD, các bộ phận phủ TaC thiêu kết để phát triển tinh thể SiC hoặc quy trình epit Wax bán dẫn. Đạt tiêu chuẩn ISO9001, VeTek Semiconductor có khả năng kiểm soát tốt về chất lượng. VeTek Semiconductor nỗ lực trở thành nhà đổi mới trong ngành phủ Tantalum cacbua thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp lại.
Các sản phẩm chính làVòng khuyết lớp phủ Tantalum Carbide, vòng chuyển hướng được phủ TaC, các bộ phận hình bán nguyệt được phủ TaC, Đĩa quay hành tinh được phủ Tantalum Carbide (Aixtron G10), Nồi nấu kim loại được phủ TaC; Nhẫn tráng TaC; Than chì xốp phủ TaC; Chất nhạy cảm với lớp phủ than chì cacbua tantali; Vòng dẫn hướng được phủ TaC; Tấm phủ tantalum cacbua TaC; Chất nhạy cảm wafer phủ TaC; Vòng phủ TaC; Lớp phủ than chì TaC; Chunk phủ TaCv.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.
Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền. Ưu điểm được thể hiện trong hình dưới đây:
Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đã thu hút được sự chú ý nhờ điểm nóng chảy cao lên tới 3880°C, độ bền cơ học, độ cứng và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn cho các quy trình epit Wax bán dẫn hỗn hợp có yêu cầu nhiệt độ cao hơn, chẳng hạn như hệ thống Aixtron MOCVD và quy trình epit Wax LPE SiC. Nó cũng có ứng dụng rộng rãi trong quy trình phát triển tinh thể SiC theo phương pháp PVT.
●Ổn định nhiệt độ
●Độ tinh khiết cực cao
●Kháng H2, NH3, SiH4,Si
●Khả năng chịu nhiệt
●Độ bám dính mạnh với than chì
●Lớp phủ phủ phù hợp
● Kích thước đường kính lên tới 750 mm (Nhà sản xuất duy nhất ở Trung Quốc đạt kích thước này)
● Cảm biến nhiệt cảm ứng
● Bộ phận làm nóng bằng điện trở
● Tấm chắn nhiệt
Tính chất vật lý của lớp phủ TaC | |
Tỉ trọng | 14,3 (g/cm³) |
Độ phát xạ cụ thể | 0.3 |
Hệ số giãn nở nhiệt | 6,3 10-6/K |
Độ cứng (HK) | 2000 HK |
Sức chống cự | 1×10-5Ohm*cm |
Độ ổn định nhiệt | <2500oC |
Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
độ dày lớp phủ | ≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
Yếu tố | Phần trăm nguyên tử | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Trung bình | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Họ | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Tấm xoay lớp phủ TaC của VeTek Semiconductor tự hào có lớp phủ TaC nổi bật. Với lớp phủ TaC đặc biệt, Tấm xoay lớp phủ TaC tự hào có khả năng chịu nhiệt độ cao và độ trơ hóa học vượt trội, khiến nó khác biệt so với các giải pháp truyền thống. Chúng tôi cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với mức giá cạnh tranh giá cả và mong muốn được đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuTấm phủ TaC của VeTek Semiconductor là một sản phẩm đáng chú ý cung cấp các tính năng và ưu điểm vượt trội. Được thiết kế với độ chính xác và thiết kế đến mức hoàn hảo, Tấm phủ TaC của chúng tôi được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng khác nhau trong quá trình phát triển tinh thể đơn silicon cacbua (SiC). Kích thước chính xác và kết cấu chắc chắn của Tấm phủ TaC giúp dễ dàng tích hợp vào các hệ thống hiện có, đảm bảo khả năng tương thích liền mạch và hoạt động hiệu quả. Hiệu suất đáng tin cậy và lớp phủ chất lượng cao góp phần mang lại kết quả nhất quán và thống nhất trong các ứng dụng tăng trưởng tinh thể SiC. Chúng tôi cam kết cung cấp sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh và mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuLớp phủ CVD TaC do VeTek Semiconductor cung cấp là thành phần chuyên dụng cao được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng có yêu cầu khắt khe. Với các tính năng tiên tiến và hiệu suất vượt trội, lớp phủ CVD TaC của chúng tôi mang lại một số lợi thế chính. Lớp phủ CVD TaC của chúng tôi cung cấp sự bảo vệ cần thiết và hiệu suất cần thiết để thành công. Chúng tôi mong muốn được khám phá sự hợp tác tiềm năng với bạn!
Đọc thêmGửi yêu cầuChất cảm biến hành tinh phủ lớp phủ VeTek'TaC là sản phẩm đặc biệt dành cho thiết bị epit Wax Aixtron. Lớp phủ TaC mạnh mẽ mang lại khả năng chịu nhiệt độ cao và độ trơ hóa học tuyệt vời. Sự kết hợp độc đáo này đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy và tuổi thọ lâu dài, ngay cả trong những môi trường đòi hỏi khắt khe. VeTek cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và là đối tác lâu dài tại thị trường Trung Quốc với giá cả cạnh tranh.
Đọc thêmGửi yêu cầuTấm đỡ bệ phủ lớp phủ TaC của VeTek Semiconductor là sản phẩm có độ chính xác cao được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu cụ thể của quy trình epit Wax bán dẫn. Với lớp phủ TaC, khả năng chịu nhiệt độ cao và độ trơ hóa học, sản phẩm của chúng tôi giúp bạn tạo ra các lớp EPI chất lượng cao với chất lượng cao. Chúng tôi cam kết cung cấp sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh và mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuĐầu kẹp phủ TaC của VeTek Semiconductor có lớp phủ TaC chất lượng cao, nổi tiếng với khả năng chịu nhiệt độ cao và độ trơ hóa học vượt trội, đặc biệt là trong các quy trình epit Wax silicon cacbua (SiC) (EPI). Với các tính năng vượt trội và hiệu suất vượt trội, Chuck phủ TaC của chúng tôi mang lại một số lợi thế chính. Chúng tôi cam kết cung cấp sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh và mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu