Trung Quốc Silicon nitride Nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy

VeTek Semiconductor tập trung vào sản xuất Silicon Nitride và có đội ngũ nghiên cứu và phát triển gồm các chuyên gia cấp cao và tài năng kỹ thuật hàng đầu. Gốm silicon nitride có ưu điểm về độ cứng, khả năng chịu nhiệt, chống mài mòn và chống ăn mòn của vật liệu gốm nói chung, đồng thời có ưu điểm là chống sốc nhiệt tốt, chống rão ở nhiệt độ cao, tự bôi trơn tốt và ổn định hóa học tốt, và được sử dụng rộng rãi. được sử dụng trong năng lượng mới, công nghiệp hóa chất, hàng không vũ trụ và lĩnh vực bán dẫn.

Vật liệu Silicon Nitride của VeTek Semiconductor có những ưu điểm nổi bật sau:

1. Độ ổn định hóa học tuyệt vời

Gốm silicon nitride có độ ổn định hóa học tuyệt vời và có thể chịu được nhiều loại axit mạnh, kiềm và khí ăn mòn. Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn thường phải xử lý các hóa chất ăn mòn, gốm sứ Silicon nitride có thể đảm bảo hiệu suất ổn định lâu dài.

2. Tính chất cơ học tuyệt vời

Gốm silicon nitride có độ cứng cao, độ bền nén và khả năng chống mài mòn tuyệt vời, có thể chịu được ứng suất cơ học và mài mòn bề mặt, không dễ bị biến dạng hoặc vỡ. Đặc tính cơ học này làm cho nó rất thích hợp làm vật liệu cho các bộ phận kết cấu và xử lý trong thiết bị bán dẫn.

3. Độ ổn định nhiệt độ cao

Gốm silicon nitride có thể duy trì sự ổn định trong môi trường nhiệt độ cao, không dễ làm mềm hoặc tan chảy và có thể chịu được quá trình xử lý và xử lý ở nhiệt độ cao trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Điều này cho phép nó được sử dụng trong sản xuất các bộ phận chính của thiết bị xử lý nhiệt độ cao, chẳng hạn như dụng cụ kẹp, bộ phận buồng phản ứng, v.v.

4. Đặc tính cách nhiệt tuyệt vời

Đặc tính cách điện rất quan trọng trong sản xuất thiết bị bán dẫn. Gốm silicon nitride có đặc tính cách điện tốt, có thể cách ly và bảo vệ các thành phần mạch một cách hiệu quả khỏi sự rò rỉ dòng điện hoặc nhiễu điện từ, giúp cải thiện độ ổn định và độ tin cậy của thiết bị.

5. Độ dẫn nhiệt và độ dẫn nhiệt

Gốm silicon nitride có tính dẫn nhiệt cao, có thể dẫn và tản nhiệt hiệu quả do thiết bị tạo ra, giúp duy trì sự ổn định nhiệt độ của thiết bị trong quá trình vận hành. Điều này rất quan trọng đối với hoạt động hiệu suất cao của các thiết bị bán dẫn.

Các ứng dụng của vật liệu Silicon Nitride của VeTek Semiconductor trong ngành năng lượng mặt trời và chất bán dẫn chủ yếu bao gồm:

1. Mâm cặp tĩnh điện và các bộ phận của buồng khắc

Gốm silicon nitride thường được sử dụng làm vật liệu cho mâm cặp tĩnh điện và các bộ phận buồng khắc trong sản xuất chất bán dẫn vì tính ổn định hóa học tuyệt vời và khả năng chịu nhiệt độ cao. Đầu cặp tĩnh điện được sử dụng để cố định và ổn định tấm bán dẫn hoặc chất nền, trong khi các thành phần buồng khắc được sử dụng để chịu được khí ăn mòn và môi trường nhiệt độ cao.

2. tấm phân phối khí và gương phản xạ

Gốm silicon nitride cũng được sử dụng trong sản xuất thiết bị bán dẫn trong các tấm phân phối khí và tấm phản xạ. Các tấm phân phối khí được sử dụng để phân phối đồng đều khí phản ứng hoặc khí bảo vệ vào buồng phản ứng, trong khi tấm phản xạ được sử dụng để tối ưu hóa sự phân bố và phản xạ ánh sáng trong buồng phản ứng nhằm cải thiện hiệu quả và tính đồng nhất của phản ứng.

3. Giá đỡ và linh kiện nhiệt

Gốm silicon nitride thường được sử dụng làm giá đỡ và bộ phận quản lý nhiệt trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn. Các bộ phận này cần có độ bền cơ học, khả năng chống mài mòn và dẫn nhiệt tốt để đảm bảo thiết bị hoạt động ổn định và độ chính xác xử lý của thiết bị.

4. Miếng đánh bóng cơ học hóa học (CMP)

Gốm Silicon Nitride được sử dụng rộng rãi làm vật liệu đệm trong quy trình Đánh bóng cơ học hóa học (CMP). Nó có độ phẳng và khả năng chống mài mòn tuyệt vời, đồng thời có thể cung cấp sự hỗ trợ ổn định trong quá trình đánh bóng để đảm bảo độ phẳng và độ chính xác của bề mặt tấm bán dẫn.