Chất bán dẫn VeTek là nhà sản xuất vật liệu phủ Tantalum Carbide hàng đầu cho ngành bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua tantalum CVD, các bộ phận phủ TaC thiêu kết để tăng trưởng tinh thể SiC hoặc quy trình epit Wax bán dẫn. Đạt tiêu chuẩn ISO9001, VeTek Semiconductor có khả năng kiểm soát tốt về chất lượng. VeTek Semiconductor nỗ lực trở thành nhà đổi mới trong ngành phủ Tantalum cacbua thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp lại.
Các sản phẩm chính làVòng dẫn hướng tráng TaC, Vòng dẫn hướng ba cánh được phủ CVD TaC, Tantalum cacbua TaC phủ Halfmoon, Lớp phủ CVD TaC chất nhạy cảm epiticular SiC hành tinh, Vòng phủ cacbua Tantalum, Tantalum cacbua phủ than chì xốp, Chất nhạy cảm xoay lớp phủ TaC, Vòng cacbua tantali, Tấm xoay lớp phủ TaC, Chất nhạy cảm wafer được phủ TaC, Vòng làm lệch hướng phủ TaC, Vỏ phủ CVD TaC, Chuck phủ TaCv.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.
Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền. Ưu điểm được thể hiện trong hình dưới đây:
Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đã thu hút được sự chú ý nhờ điểm nóng chảy cao lên tới 3880°C, độ bền cơ học, độ cứng và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn cho các quy trình epit Wax bán dẫn hỗn hợp có yêu cầu nhiệt độ cao hơn, chẳng hạn như hệ thống Aixtron MOCVD và quy trình epit Wax LPE SiC. Nó cũng có ứng dụng rộng rãi trong quy trình phát triển tinh thể SiC theo phương pháp PVT.
●Ổn định nhiệt độ
●Độ tinh khiết cực cao
●Kháng H2, NH3, SiH4,Si
●Khả năng chịu nhiệt
●Độ bám dính mạnh với than chì
●Lớp phủ phủ phù hợp
● Kích thước đường kính lên tới 750 mm (Nhà sản xuất duy nhất ở Trung Quốc đạt kích thước này)
● Cảm biến nhiệt cảm ứng
● Bộ phận làm nóng bằng điện trở
● Tấm chắn nhiệt
Tính chất vật lý của lớp phủ TaC | |
Tỉ trọng | 14,3 (g/cm³) |
Độ phát xạ cụ thể | 0.3 |
Hệ số giãn nở nhiệt | 6,3 10-6/K |
Độ cứng (HK) | 2000 HK |
Sức chống cự | 1×10-5Ohm*cm |
Độ ổn định nhiệt | <2500oC |
Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
độ dày lớp phủ | ≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
Yếu tố | Phần trăm nguyên tử | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Trung bình | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Họ | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Vòng dẫn hướng được phủ TaC được làm bằng than chì và lớp phủ TaC chất lượng cao. Trong quá trình điều chế tinh thể SiC bằng phương pháp PVT, vòng dẫn hướng được phủ TaC của VeTek Semiconductor chủ yếu được sử dụng để dẫn hướng và kiểm soát luồng không khí, tối ưu hóa quá trình phát triển tinh thể đơn và cải thiện năng suất tinh thể đơn. Với công nghệ phủ TaC tuyệt vời, sản phẩm của chúng tôi có khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn và tính chất cơ học tốt. Chúng tôi chân thành hoan nghênh sự tư vấn của bạn và mong muốn cung cấp cho bạn thông tin chi tiết hơn về sản phẩm và hỗ trợ kỹ thuật.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp Đĩa quay hành tinh phủ Tantalum Carbide hàng đầu tại Trung Quốc, tập trung vào công nghệ phủ TaC trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi có độ tinh khiết cao và khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời, được các nhà sản xuất chất bán dẫn công nhận rộng rãi. Đĩa quay hành tinh phủ tantalum cacbua bán dẫn VeTek đã trở thành xương sống của ngành công nghiệp epit Wafer wafer. Chúng tôi mong muốn được thiết lập mối quan hệ hợp tác lâu dài với bạn để cùng nhau thúc đẩy tiến bộ công nghệ và tối ưu hóa sản xuất.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor đã thiết kế cẩn thận tấm lót wafer than chì phủ TaC cho khách hàng. Nó bao gồm than chì có độ tinh khiết cao và lớp phủ TaC, phù hợp cho quá trình xử lý wafer epiticular wafer khác nhau. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ SiC và TaC trong nhiều năm. So với lớp phủ SiC, chất mang wafer than chì được phủ TaC của chúng tôi có khả năng chịu nhiệt độ và chống mài mòn cao hơn. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu