Lớp phủ CVD TaC chất nhạy cảm epiticular SiC hành tinh

Lò phản ứng hành tinh Aixtron là một trong những lò phản ứng tiên tiến nhấtthiết bị MOCVD. Nó đã trở thành khuôn mẫu học tập cho nhiều nhà sản xuất lò phản ứng. Dựa trên nguyên lý của lò phản ứng dòng chảy tầng ngang, nó đảm bảo sự chuyển đổi rõ ràng giữa các vật liệu khác nhau và có khả năng kiểm soát tuyệt vời đối với tốc độ lắng đọng trong khu vực lớp nguyên tử đơn, lắng đọng trên một tấm wafer quay trong các điều kiện cụ thể. 

Điều quan trọng nhất trong số này là cơ chế quay nhiều vòng: lò phản ứng sử dụng nhiều vòng quay của chất nhạy cảm epiticular SiC hành tinh phủ CVD TaC. Vòng quay này cho phép tấm wafer tiếp xúc đồng đều với khí phản ứng trong quá trình phản ứng, từ đó đảm bảo rằng vật liệu lắng đọng trên tấm wafer có độ đồng đều tuyệt vời về độ dày lớp, thành phần và pha tạp.

Gốm TaC là vật liệu hiệu suất cao với điểm nóng chảy cao (3880 ° C), tính dẫn nhiệt tuyệt vời, tính dẫn điện, độ cứng cao và các đặc tính tuyệt vời khác, quan trọng nhất là khả năng chống ăn mòn và chống oxy hóa. Đối với các điều kiện tăng trưởng epiticular của vật liệu bán dẫn SiC và nitrit nhóm III, TaC có độ quán tính hóa học tuyệt vời. Do đó, chất nhạy cảm epiticular SiC phủ CVD TaC được điều chế bằng phương pháp CVD có những ưu điểm rõ ràng trongTăng trưởng epiticular SiCquá trình.

Ảnh SEM mặt cắt ngang của than chì phủ TaC

●  Khả năng chịu nhiệt độ cao:Nhiệt độ tăng trưởng epiticular SiC cao tới 1500oC - 1700oC hoặc thậm chí cao hơn. Điểm nóng chảy của TaC cao tới khoảng 4000oC. Sau khilớp phủ TaCđược áp dụng lên bề mặt than chì,bộ phận than chìcó thể duy trì sự ổn định tốt ở nhiệt độ cao, chịu được các điều kiện nhiệt độ cao của quá trình tăng trưởng epiticular SiC và đảm bảo quá trình tăng trưởng epiticular diễn ra suôn sẻ.

●  Khả năng chống ăn mòn nâng cao:Lớp phủ TaC có độ ổn định hóa học tốt, cách ly hiệu quả các khí hóa học này khi tiếp xúc với than chì, ngăn than chì bị ăn mòn và kéo dài tuổi thọ của các bộ phận than chì.

●  Độ dẫn nhiệt được cải thiện:Lớp phủ TaC có thể cải thiện tính dẫn nhiệt của than chì, nhờ đó nhiệt có thể được phân bố đều hơn trên bề mặt của các bộ phận than chì, cung cấp môi trường nhiệt độ ổn định cho sự phát triển epiticular SiC. Điều này giúp cải thiện tính đồng nhất tăng trưởng của lớp epiticular SiC.

●  Giảm ô nhiễm tạp chất:Lớp phủ TaC không phản ứng với SiC và có thể đóng vai trò như một rào cản hiệu quả để ngăn chặn các thành phần tạp chất trong các bộ phận than chì khuếch tán vào lớp epiticular SiC, từ đó cải thiện độ tinh khiết và hiệu suất của wafer epiticular SiC.

VeTek Semiconductor có khả năng và giỏi trong việc chế tạo chất nhạy cảm epiticular SiC hành tinh phủ CVD TaC và có thể cung cấp cho khách hàng các sản phẩm có tính tùy chỉnh cao. chúng tôi rất mong nhận được yêu cầu của bạn.

Tính chất vật lý củaLớp phủ cacbua tantali 

Xưởng sản xuất chất bán dẫn VeTek