Chất nhạy cảm với lớp phủ TaC

Vòng và chất nhạy được phủ TaC của VeTek Semiconductor hoạt động cùng nhau trong lò phản ứng tăng trưởng epiticular silicon cacbua LPE:

Chịu nhiệt độ cao: Chất nhạy cảm lớp phủ TaC có khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời, có thể chịu được nhiệt độ khắc nghiệt lên tới 1500°C trong lò phản ứng LPE. Điều này đảm bảo thiết bị và linh kiện không bị biến dạng hoặc hư hỏng trong quá trình hoạt động lâu dài.

Độ ổn định hóa học: Chất nhạy cảm với lớp phủ TaC hoạt động cực kỳ tốt trong môi trường phát triển cacbua silic ăn mòn, bảo vệ hiệu quả các thành phần lò phản ứng khỏi sự tấn công của hóa chất ăn mòn, nhờ đó kéo dài tuổi thọ sử dụng của chúng.

Độ ổn định nhiệt: Chất nhạy cảm với lớp phủ TaC có độ ổn định nhiệt tốt, duy trì hình thái bề mặt và độ nhám để đảm bảo tính đồng nhất của trường nhiệt độ trong lò phản ứng, điều này có lợi cho sự phát triển chất lượng cao của các lớp epiticular silicon cacbua.

Chống ô nhiễm: Bề mặt được phủ TaC mịn và hiệu suất TPD (Giải hấp được lập trình theo nhiệt độ) vượt trội có thể giảm thiểu sự tích tụ và hấp phụ của các hạt và tạp chất bên trong lò phản ứng, ngăn ngừa ô nhiễm các lớp epitaxy.

Tóm lại, vòng và chất nhạy cảm được phủ TaC đóng vai trò bảo vệ quan trọng trong lò phản ứng tăng trưởng epiticular silicon cacbua LPE, đảm bảo thiết bị hoạt động ổn định lâu dài và sự phát triển chất lượng cao của các lớp epiticular.

Thông số sản phẩm của Chất nhạy cảm lớp phủ TaC:

Chuỗi công nghiệp:

Cửa hàng sản xuất