Chất bán dẫn VeTek là nhà sản xuất vật liệu phủ Tantalum Carbide hàng đầu cho ngành bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua tantalum CVD, các bộ phận phủ TaC thiêu kết để tăng trưởng tinh thể SiC hoặc quy trình epit Wax bán dẫn. Đạt tiêu chuẩn ISO9001, VeTek Semiconductor có khả năng kiểm soát tốt về chất lượng. VeTek Semiconductor nỗ lực trở thành nhà đổi mới trong ngành phủ Tantalum cacbua thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp lại.
Các sản phẩm chính làVòng khuyết lớp phủ Tantalum Carbide, vòng chuyển hướng được phủ TaC, các bộ phận hình bán nguyệt được phủ TaC, Đĩa quay hành tinh được phủ Tantalum Carbide (Aixtron G10), Nồi nấu kim loại được phủ TaC; Nhẫn tráng TaC; Than chì xốp phủ TaC; Chất nhạy cảm với lớp phủ than chì cacbua tantali; Vòng dẫn hướng được phủ TaC; Tấm phủ tantalum cacbua TaC; Chất nhạy cảm wafer phủ TaC; Vòng phủ TaC; Lớp phủ than chì TaC; Chunk phủ TaCv.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.
Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền. Ưu điểm được thể hiện trong hình dưới đây:
Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đã thu hút được sự chú ý nhờ điểm nóng chảy cao lên tới 3880°C, độ bền cơ học, độ cứng và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn cho các quy trình epit Wax bán dẫn hỗn hợp có yêu cầu nhiệt độ cao hơn, chẳng hạn như hệ thống Aixtron MOCVD và quy trình epit Wax LPE SiC. Nó cũng có ứng dụng rộng rãi trong quy trình phát triển tinh thể SiC theo phương pháp PVT.
Ổn định nhiệt độ
Độ tinh khiết cực cao
Kháng H2, NH3, SiH4,Si
Khả năng chịu nhiệt
Độ bám dính mạnh với than chì
Lớp phủ phủ phù hợp
Kích thước đường kính lên tới 750 mm (Nhà sản xuất duy nhất ở Trung Quốc đạt kích thước này)
Chất mang wafer
Cảm biến nhiệt cảm ứng
Yếu tố làm nóng điện trở
Đĩa vệ tinh
vòi hoa sen
Vòng dẫn hướng
Bộ thu LED Epi
Vòi phun
Vòng che
Tấm chắn nhiệt
Tính chất vật lý của lớp phủ TaC | |
Tỉ trọng | 14,3 (g/cm³) |
Độ phát xạ cụ thể | 0.3 |
Hệ số giãn nở nhiệt | 6,3 10-6/K |
Độ cứng (HK) | 2000 HK |
Sức chống cự | 1×10-5Ohm*cm |
Độ ổn định nhiệt | <2500oC |
Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
độ dày lớp phủ | ≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
Yếu tố | Phần trăm nguyên tử | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Trung bình | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Tạ M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
Than chì xốp có lớp phủ TaC là vật liệu xử lý chất bán dẫn tiên tiến được cung cấp bởi VeTek Semiconductor. Than chì xốp với lớp phủ TaC kết hợp các ưu điểm của lớp phủ than chì xốp và cacbua tantalum (TaC), với tính dẫn nhiệt và thấm khí tốt. VeTek Semiconductor cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh và chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến hàng đầu về Lớp phủ Tantalum Carbide tại Trung Quốc. Chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các sản phẩm cacbua tantalum có độ tinh khiết cao, chịu được nhiệt độ cao. Lớp phủ cacbua tantalum của chúng tôi có hiệu suất và độ tin cậy tuyệt vời, đồng thời có thể bảo vệ vật liệu một cách hiệu quả trong môi trường ăn mòn và nhiệt độ cực cao. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng làm lệch hướng được phủ TaC của VeTek Semiconductor là một thành phần chuyên dụng cao được thiết kế cho các quá trình phát triển tinh thể SiC. Lớp phủ TaC cung cấp khả năng chịu nhiệt độ cao và độ trơ hóa học tuyệt vời để đối phó với nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn trong quá trình phát triển tinh thể. Điều này đảm bảo hiệu suất ổn định và tuổi thọ dài của linh kiện, giảm tần suất thay thế và thời gian ngừng hoạt động. Chúng tôi cam kết cung cấp sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh và mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là ống phủ Tantalum Carbide hàng đầu dành cho nhà sản xuất và nhà đổi mới tăng trưởng tinh thể ở Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về phủ gốm trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi có độ tinh khiết cao và khả năng chịu nhiệt độ cao. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất bán dẫn VeTek là Vòng phủ TaC quy mô lớn dành cho nhà sản xuất và nhà cải tiến Lò phản ứng Epiticular SiC ở Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ TaC trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi có độ tinh khiết cao, độ ổn định cao, khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, độ bền liên kết cao. Chúng tôi nhìn mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất bán dẫn VeTek là Bộ phận bán nguyệt được phủ Tantalum cacbua quy mô lớn dành cho nhà sản xuất và nhà đổi mới LPE ở Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ TaC trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi có thể chịu được nhiệt độ trên 2000 độ C, kéo dài tuổi thọ của vật tư tiêu hao. Chúng tôi rất mong chờ để trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu