Chất bán dẫn VeTek là nhà sản xuất vật liệu phủ Tantalum Carbide hàng đầu cho ngành bán dẫn. Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm các bộ phận phủ cacbua tantalum CVD, các bộ phận phủ TaC thiêu kết để phát triển tinh thể SiC hoặc quy trình epit Wax bán dẫn. Đạt tiêu chuẩn ISO9001, VeTek Semiconductor có khả năng kiểm soát tốt về chất lượng. VeTek Semiconductor nỗ lực trở thành nhà đổi mới trong ngành phủ Tantalum cacbua thông qua nghiên cứu và phát triển liên tục các công nghệ lặp lại.
Các sản phẩm chính làVòng khuyết lớp phủ Tantalum Carbide, vòng chuyển hướng được phủ TaC, các bộ phận hình bán nguyệt được phủ TaC, Đĩa quay hành tinh được phủ Tantalum Carbide (Aixtron G10), Nồi nấu kim loại được phủ TaC; Nhẫn tráng TaC; Than chì xốp phủ TaC; Chất nhạy cảm với lớp phủ than chì cacbua tantali; Vòng dẫn hướng được phủ TaC; Tấm phủ tantalum cacbua TaC; Chất nhạy cảm wafer phủ TaC; Vòng phủ TaC; Lớp phủ than chì TaC; Chunk phủ TaCv.v., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.
Than chì phủ TaC được tạo ra bằng cách phủ lên bề mặt của chất nền than chì có độ tinh khiết cao một lớp cacbua tantalum mịn bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) độc quyền. Ưu điểm được thể hiện trong hình dưới đây:
Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) đã thu hút được sự chú ý nhờ điểm nóng chảy cao lên tới 3880°C, độ bền cơ học, độ cứng và khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành một giải pháp thay thế hấp dẫn cho các quy trình epit Wax bán dẫn hỗn hợp có yêu cầu nhiệt độ cao hơn, chẳng hạn như hệ thống Aixtron MOCVD và quy trình epit Wax LPE SiC. Nó cũng có ứng dụng rộng rãi trong quy trình phát triển tinh thể SiC theo phương pháp PVT.
●Ổn định nhiệt độ
●Độ tinh khiết cực cao
●Kháng H2, NH3, SiH4,Si
●Khả năng chịu nhiệt
●Độ bám dính mạnh với than chì
●Lớp phủ phủ phù hợp
● Kích thước đường kính lên tới 750 mm (Nhà sản xuất duy nhất ở Trung Quốc đạt kích thước này)
● Cảm biến nhiệt cảm ứng
● Bộ phận làm nóng bằng điện trở
● Tấm chắn nhiệt
Tính chất vật lý của lớp phủ TaC | |
Tỉ trọng | 14,3 (g/cm³) |
Độ phát xạ cụ thể | 0.3 |
Hệ số giãn nở nhiệt | 6,3 10-6/K |
Độ cứng (HK) | 2000 HK |
Sức chống cự | 1×10-5Ohm*cm |
Độ ổn định nhiệt | <2500oC |
Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
độ dày lớp phủ | ≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |
Yếu tố | Phần trăm nguyên tử | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Trung bình | |
C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
Họ | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến Vòng ba cánh được phủ TaC hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ TaC và SiC trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi có khả năng chống ăn mòn, độ bền cao. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến Chuck phủ Tantalum Carbide hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ TaC trong nhiều năm. Các sản phẩm của chúng tôi có độ tinh khiết cao và khả năng chịu nhiệt độ cao lên đến 2000oC. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn đối tác ở Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến Vỏ phủ Tantalum Carbide hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ TaC và SiC trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi có khả năng chống ăn mòn, độ bền cao. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà cung cấp hàng đầu về Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon tùy chỉnh tại Trung Quốc, chuyên về các vật liệu tiên tiến trong nhiều năm. Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon của chúng tôi được thiết kế đặc biệt cho thiết bị epiticular SiC, đảm bảo hiệu suất tuyệt vời. Được làm từ than chì nhập khẩu siêu tinh khiết, nó mang lại độ tin cậy và độ bền. Hãy ghé thăm nhà máy của chúng tôi ở Trung Quốc để tận mắt khám phá Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon chất lượng cao của chúng tôi.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà cung cấp hàng đầu về SiC phần Upper Halfmoon tùy chỉnh được phủ ở Trung Quốc, chuyên về các vật liệu tiên tiến trong hơn 20 năm. Lớp phủ SiC phần trên Halfmoon bán dẫn VeTek được thiết kế đặc biệt cho thiết bị epiticular SiC, đóng vai trò là thành phần quan trọng trong buồng phản ứng. Được làm từ than chì bán dẫn siêu tinh khiết, nó đảm bảo hiệu suất tuyệt vời. Chúng tôi mời bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi ở Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà cung cấp Tấm lót bán dẫn Epit Wax Silicon Carbide tùy chỉnh hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về vật liệu tiên tiến hơn 20 năm. Chúng tôi cung cấp Chất mang tấm wafer Epit Wax Silicon Carbide để vận chuyển chất nền SiC, phát triển lớp epit Wax SiC trong lò phản ứng epiticular SiC. Chất mang wafer Epit Wax Silicon Carbide này là một bộ phận được phủ SiC quan trọng của bộ phận bán nguyệt, chịu nhiệt độ cao, chống oxy hóa, chống mài mòn. Chúng tôi chào đón bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi ở Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu