Nhẫn ba cánh phủ TaC

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp Vòng ba cánh được phủ TaC chuyên nghiệp của Trung Quốc. Vòng ba cánh được phủ TaC được sử dụng trong hệ thống lắng đọng Aixtron G10 cho chất bán dẫn hỗn hợp, epitaxy thông lượng cao G10-GaN 150/200 mm cho nguồn GaN & RF các ứng dụng.

Lớp phủ TaC bán dẫn VeTek là thế hệ vật liệu chịu nhiệt độ cao mới, có độ ổn định nhiệt độ cao tốt hơn SiC, là lớp phủ chống ăn mòn, lớp phủ chống oxy hóa, lớp phủ chống mài mòn, có thể được sử dụng trong môi trường trên 2000oC, được sử dụng rộng rãi trong các bộ phận nóng ở nhiệt độ cực cao trong ngành hàng không vũ trụ, thế hệ thứ ba của sự phát triển tinh thể đơn bán dẫn và các lĩnh vực khác.

Tính năng sản phẩm:

1. Độ tinh khiết cao, hàm lượng tạp chất < 5ppm

2. Chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, mật độ cao, mật độ cao

3. Nó trơ về mặt hóa học đối với amoniac, hydro, silan và silicon ở nhiệt độ cao và có độ ổn định nhiệt tốt.

4. Chống sốc nhiệt, có thể tăng tốc chu kỳ hoạt động

5. Độ bám dính than chì mạnh đảm bảo tuổi thọ lâu dài và không bị bong tróc lớp phủ.

6. Dung sai kích thước nghiêm ngặt.

Các ứng dụng chính:

1. Tăng trưởng epiticular

2. Tăng trưởng đơn tinh thể

3. Chuyển hướng ăn mòn ở nhiệt độ cao

4. Vòi phun chống oxy hóa và nhiệt độ cao

5. Cánh tuabin khí

Thông số sản phẩm Nhẫn ba cánh tráng TaC

Xưởng sản xuất chất bán dẫn VeTek