VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến Chuck phủ Tantalum Carbide hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ TaC trong nhiều năm. Các sản phẩm của chúng tôi có độ tinh khiết cao và khả năng chịu nhiệt độ cao lên đến 2000oC. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn đối tác ở Trung Quốc.
VeTek Semiconductor cung cấp Chuck phủ Tantalum Carbide chất lượng cao, các bộ phận phủ SiC với giá cả cạnh tranh. Chào mừng bạn đến hỏi chúng tôi. Chuck cặp phủ Tantalum Carbide chất lượng cao, được thiết kế đặc biệt cho hệ thống AIXTRON G10 MOCVD. Phụ kiện này nâng cao hiệu quả và chất lượng trong sản xuất chất bán dẫn, mang lại hiệu suất và độ tin cậy vượt trội.
Được chế tạo từ vật liệu chất lượng cao và được sản xuất với độ chính xác, mâm cặp có nền than chì được phủ cacbua tantalum CVD (TaC). Lớp phủ này mang lại sự ổn định nhiệt tuyệt vời, độ tinh khiết cao và khả năng chịu nhiệt độ cao. Nó đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy trong các điều kiện khắt khe của quy trình MOCVD.
Đầu cặp có thể tùy chỉnh để phù hợp với các kích thước tấm bán dẫn khác nhau, giúp nó phù hợp với nhiều yêu cầu sản xuất khác nhau. Cấu trúc chắc chắn của nó giúp giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động và chi phí bảo trì liên quan đến các vật mang bán dẫn và bộ phận nhạy cảm.
Với Đầu cặp được phủ Tantalum cacbua bán dẫn VeTek, hệ thống AIXTRON G10 MOCVD đạt được hiệu suất cao hơn và kết quả vượt trội trong sản xuất chất bán dẫn. Độ ổn định nhiệt vượt trội, khả năng tương thích với các kích cỡ tấm bán dẫn khác nhau và hiệu suất đáng tin cậy khiến nó trở thành công cụ thiết yếu để tối ưu hóa hiệu quả sản xuất và đạt được kết quả vượt trội trong môi trường MOCVD đầy thách thức.
Tính chất vật lý của lớp phủ TaC | |
Tỉ trọng | 14,3 (g/cm³) |
Độ phát xạ cụ thể | 0.3 |
Hệ số giãn nở nhiệt | 6,3 10-6/K |
Độ cứng (HK) | 2000 HK |
Sức chống cự | 1×10-5 Ôm*cm |
Ổn định nhiệt | <2500oC |
Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
độ dày lớp phủ | ≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |