Chất cảm biến hành tinh phủ lớp phủ VeTek'TaC là sản phẩm đặc biệt dành cho thiết bị epit Wax Aixtron. Lớp phủ TaC mạnh mẽ mang lại khả năng chịu nhiệt độ cao và độ trơ hóa học tuyệt vời. Sự kết hợp độc đáo này đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy và tuổi thọ lâu dài, ngay cả trong những môi trường đòi hỏi khắt khe. VeTek cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và là đối tác lâu dài tại thị trường Trung Quốc với giá cả cạnh tranh.
Trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, Chất nhạy cảm hành tinh có lớp phủ TaC đóng một vai trò quan trọng. Nó được sử dụng rộng rãi trong việc phát triển các lớp epiticular silic cacbua (SiC) trong các thiết bị như hệ thống Aixtron G5. Hơn nữa, khi được sử dụng làm đĩa bên ngoài trong quá trình lắng đọng lớp phủ tantalum cacbua (TaC) cho epit Wax SiC, Chất nhạy cảm hành tinh phủ lớp phủ TaC cung cấp sự hỗ trợ và độ ổn định cần thiết. Nó đảm bảo sự lắng đọng đồng đều của lớp cacbua tantalum, góp phần hình thành các lớp epiticular chất lượng cao với hình thái bề mặt tuyệt vời và độ dày màng mong muốn. Tính trơ hóa học của lớp phủ TaC ngăn ngừa các phản ứng và ô nhiễm không mong muốn, duy trì tính toàn vẹn của các lớp epitaxy và đảm bảo chất lượng vượt trội của chúng.
Khả năng dẫn nhiệt đặc biệt của lớp phủ TaC cho phép truyền nhiệt hiệu quả, thúc đẩy sự phân bổ nhiệt độ đồng đều và giảm thiểu ứng suất nhiệt trong quá trình tăng trưởng epiticular. Điều này dẫn đến việc sản xuất các lớp epiticular SiC chất lượng cao với các đặc tính tinh thể được cải thiện và độ dẫn điện được tăng cường.
Kích thước chính xác và cấu trúc chắc chắn của Đĩa hành tinh phủ TaC giúp dễ dàng tích hợp vào các hệ thống hiện có, đảm bảo khả năng tương thích liền mạch và hoạt động hiệu quả. Hiệu suất đáng tin cậy và lớp phủ TaC chất lượng cao góp phần mang lại kết quả nhất quán và đồng nhất trong quy trình epit Wax SiC.
Hãy tin tưởng VeTek Semiconductor và Đĩa hành tinh phủ TaC của chúng tôi để có hiệu suất và độ tin cậy vượt trội trong quá trình epit Wax SiC. Trải nghiệm những lợi thế của các giải pháp đổi mới của chúng tôi, giúp bạn luôn dẫn đầu về những tiến bộ công nghệ trong ngành bán dẫn.
Tính chất vật lý của lớp phủ TaC | |
Tỉ trọng | 14,3 (g/cm³) |
Độ phát xạ cụ thể | 0.3 |
Hệ số giãn nở nhiệt | 6,3 10-6/K |
Độ cứng (HK) | 2000 HK |
Sức chống cự | 1×10-5 Ôm*cm |
Ổn định nhiệt | <2500oC |
Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
độ dày lớp phủ | ≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |