Máy sưởi lớp phủ TaC

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến hàng đầu về Máy sưởi lớp phủ TaC tại Trung Quốc. Sản phẩm này có điểm nóng chảy cực cao (khoảng 3880°C). Điểm nóng chảy cao của Lò gia nhiệt lớp phủ TaC cho phép nó hoạt động ở nhiệt độ cực cao, đặc biệt là trong sự phát triển của các lớp epiticular gallium nitride (GaN) trong quá trình lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD). VeTek Semiconductor cam kết cung cấp các giải pháp công nghệ và sản phẩm tiên tiến cho ngành bán dẫn. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

TaC Coating Heater là bộ phận làm nóng hiệu suất cao được sử dụng rộng rãi trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Bề mặt của nó được phủ bằng vật liệu tantalum cacbua (TaC), giúp lò sưởi có khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn hóa học và dẫn nhiệt tuyệt vời.

Các ứng dụng chính của TaC Coating Heater trong sản xuất chất bán dẫn bao gồm:

Trong quá trình tăng trưởng epiticular gallium nitride (GaN), Máy gia nhiệt lớp phủ TaC cung cấp môi trường nhiệt độ cao được kiểm soát chính xác để đảm bảo rằng lớp epiticular được lắng đọng trên bề mặt với tốc độ đồng đều và chất lượng cao. Nhiệt lượng tỏa ra ổn định của nó giúp đạt được sự kiểm soát chính xác đối với vật liệu màng mỏng, từ đó cải thiện hiệu suất của thiết bị.

Hơn nữa, trong quy trình lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD), kết hợp với khả năng chịu nhiệt độ cao và độ dẫn nhiệt của lớp phủ TaC, Bộ gia nhiệt lớp phủ TaC thường được sử dụng để làm nóng khí phản ứng và bằng cách cung cấp sự phân bổ nhiệt đồng đều, nó thúc đẩy phản ứng hóa học của nó trên bề mặt chất nền, từ đó cải thiện tính đồng nhất của lớp epitaxy và tạo thành màng chất lượng cao.

Là công ty dẫn đầu ngành về các sản phẩm Máy gia nhiệt lớp phủ TaC, VeTek Semiconducto luôn hỗ trợ các dịch vụ tùy chỉnh sản phẩm và giá thành sản phẩm vừa ý. Bất kể yêu cầu cụ thể của bạn là gì, chúng tôi sẽ đáp ứng giải pháp tốt nhất cho nhu cầu về Máy sưởi lớp phủ TaC của bạn và mong nhận được sự tư vấn của bạn bất cứ lúc nào.

Các tính chất vật lý cơ bản của TaC Coating Heater:

Tính chất vật lý của lớp phủ TaC
Tỉ trọng	14,3 (g/cm³)
Độ phát xạ cụ thể	0.3
Hệ số giãn nở nhiệt	6,3 10-6/K
Độ cứng (HK)	2000 HK
Sức chống cự	1×10-5 Ôm*cm
Độ ổn định nhiệt	<2500oC
Thay đổi kích thước than chì	-10~-20um
độ dày lớp phủ	≥20um giá trị điển hình (35um±10um)