Nồi nấu kim loại phủ CVD TaC

Chất nhạy cảm xoay lớp phủ TaC đóng vai trò chính trong các quá trình lắng đọng ở nhiệt độ cao như CVD và MBE, đồng thời là thành phần quan trọng để xử lý tấm bán dẫn trong sản xuất chất bán dẫn. Trong số đó,Lớp phủ TaCcó khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn và ổn định hóa học tuyệt vời, đảm bảo độ chính xác cao và chất lượng cao trong quá trình xử lý wafer.

Lớp phủ CVD TaC Nồi nấu kim loại thường bao gồm lớp phủ TaC vàthan chìchất nền. Trong số đó, TaC là vật liệu gốm có nhiệt độ nóng chảy cao với nhiệt độ nóng chảy lên tới 3880°C. Nó có độ cứng cực cao (độ cứng Vickers lên tới 2000 HV), khả năng chống ăn mòn hóa học và chống oxy hóa mạnh. Vì vậy, Lớp phủ TaC là vật liệu chịu nhiệt độ cao tuyệt vời trong công nghệ xử lý chất bán dẫn.

Chất nền than chì có độ dẫn nhiệt tốt (độ dẫn nhiệt khoảng 21 W/m·K) và độ ổn định cơ học tuyệt vời. Đặc tính này quyết định than chì trở thành lớp phủ lý tưởngchất nền.

Nồi nấu kim loại phủ CVD TaC chủ yếu được sử dụng trong các công nghệ xử lý chất bán dẫn sau:

Sản xuất wafer: Nồi nấu kim loại phủ CVD TaC bán dẫn VeTek có khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời (nhiệt độ nóng chảy lên tới 3880°C) và khả năng chống ăn mòn nên thường được sử dụng trong các quy trình sản xuất wafer quan trọng như lắng đọng hơi ở nhiệt độ cao (CVD) và tăng trưởng epiticular. Kết hợp với sự ổn định cấu trúc tuyệt vời của sản phẩm trong môi trường nhiệt độ cực cao, đảm bảo thiết bị có thể hoạt động ổn định trong thời gian dài trong điều kiện cực kỳ khắc nghiệt, từ đó nâng cao hiệu quả hiệu quả sản xuất và chất lượng của tấm wafer.

Quá trình tăng trưởng epitaxy: Trong các quá trình epiticular nhưlắng đọng hơi hóa học (CVD)và epit Wax chùm phân tử (MBE), Crucible phủ CVD TaC đóng vai trò quan trọng trong việc vận chuyển. Lớp phủ TaC của nó không chỉ có thể duy trì độ tinh khiết cao của vật liệu trong điều kiện nhiệt độ khắc nghiệt và môi trường ăn mòn mà còn ngăn chặn hiệu quả sự nhiễm bẩn của các chất phản ứng trên vật liệu và sự ăn mòn của lò phản ứng, đảm bảo tính chính xác của quy trình sản xuất và tính nhất quán của sản phẩm.

Với tư cách là nhà sản xuất và dẫn đầu về Nồi nấu kim loại phủ CVD TaC hàng đầu Trung Quốc, VeTek Semiconductor có thể cung cấp các sản phẩm và dịch vụ kỹ thuật tùy chỉnh theo yêu cầu về quy trình và thiết bị của bạn. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Lớp phủ tantalum cacbua (TaC) trên mặt cắt cực nhỏ：

Tính chất vật lý của lớp phủ TaC：

Chất bán dẫn VeTek Cửa hàng nồi nấu kim loại phủ CVD TaC: