VeTek Semiconductor chuyên sản xuất các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua siêu tinh khiết, các lớp phủ này được thiết kế để ứng dụng cho các thành phần than chì, gốm sứ và kim loại chịu lửa tinh khiết.
Lớp phủ có độ tinh khiết cao của chúng tôi chủ yếu được nhắm mục tiêu sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử. Chúng đóng vai trò như một lớp bảo vệ cho các chất mang bán dẫn, chất nhạy cảm và bộ phận làm nóng, bảo vệ chúng khỏi môi trường ăn mòn và phản ứng gặp phải trong các quy trình như MOCVD và EPI. Các quy trình này là không thể thiếu trong quá trình xử lý wafer và sản xuất thiết bị. Ngoài ra, lớp phủ của chúng tôi rất phù hợp cho các ứng dụng trong lò chân không và gia nhiệt mẫu, nơi gặp phải môi trường chân không, phản ứng và oxy cao.
Tại VeTek Semiconductor, chúng tôi cung cấp giải pháp toàn diện với năng lực xưởng máy tiên tiến của mình. Điều này cho phép chúng tôi sản xuất các bộ phận cơ bản bằng cách sử dụng than chì, gốm sứ hoặc kim loại chịu lửa và áp dụng lớp phủ gốm SiC hoặc TaC ngay trong nhà. Chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ phủ cho các bộ phận do khách hàng cung cấp, đảm bảo tính linh hoạt để đáp ứng nhu cầu đa dạng.
Các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua của chúng tôi được sử dụng rộng rãi trong epit Wax Si, epit Wax SiC, hệ thống MOCVD, quy trình RTP/RTA, quy trình khắc axit, quy trình khắc ICP/PSS, quy trình xử lý các loại đèn LED khác nhau, bao gồm đèn LED xanh lam và xanh lục, đèn LED UV và tia cực tím sâu LED, v.v., được điều chỉnh phù hợp với các thiết bị từ LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, v.v.
Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC | |
Tài sản | Giá trị điển hình |
Cấu trúc tinh thể | FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111) |
Tỉ trọng | 3,21 g/cm³ |
độ cứng | Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g) |
kích thước hạt | 2 ~ 10μm |
Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
Công suất nhiệt | 640 J·kg-1·K-1 |
Nhiệt độ thăng hoa | 2700oC |
Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
Mô đun của Young | Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC |
Độ dẫn nhiệt | 300W·m-1·K-1 |
Mở rộng nhiệt (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor là nhà sản xuất, nhà đổi mới và dẫn đầu sản phẩm Lò phản ứng LPE Halfmoon SiC EPI chuyên nghiệp tại Trung Quốc. Lò phản ứng LPE Halfmoon SiC EPI là thiết bị được thiết kế đặc biệt để sản xuất các lớp epiticular silicon cacbua (SiC) chất lượng cao, chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn. VeTek Semiconductor cam kết cung cấp các giải pháp công nghệ và sản phẩm hàng đầu cho ngành bán dẫn và hoan nghênh các yêu cầu tiếp theo của bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuLà nhà sản xuất và cung cấp Chất cảm biến Aixtron MOCVD chuyên nghiệp tại Trung Quốc, Chất cảm biến Aixtron MOCVD của Vetek Semiconductor được sử dụng rộng rãi trong quy trình lắng đọng màng mỏng của sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt liên quan đến quy trình MOCVD. Vetek Semiconductor tập trung sản xuất và cung cấp các sản phẩm Cảm biến Aixtron MOCVD hiệu suất cao. Chào mừng yêu cầu của bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuLà nhà sản xuất và cung cấp lò sưởi than chì phủ gốm silic cacbua chuyên nghiệp tại Trung Quốc, Lò sưởi than chì phủ gốm silicon cacbua là lò sưởi hiệu suất cao được làm từ chất nền than chì và được phủ một lớp gốm silicon carbon (SiC) trên bề mặt của nó. Với thiết kế bằng vật liệu composite, sản phẩm này cung cấp các giải pháp sưởi ấm tuyệt vời trong sản xuất chất bán dẫn. Chào mừng yêu cầu của bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất lò sưởi phủ gốm silicon cacbua chuyên nghiệp tại Trung Quốc. Lò sưởi phủ gốm silicon cacbua được thiết kế chủ yếu cho nhiệt độ cao và môi trường khắc nghiệt của sản xuất chất bán dẫn. Điểm nóng chảy cực cao, khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và tính dẫn nhiệt vượt trội quyết định tính không thể thiếu của sản phẩm này trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ thiết lập mối quan hệ kinh doanh lâu dài với bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuLà nhà sản xuất và cung cấp lớp phủ gốm cacbua silic chuyên nghiệp tại Trung Quốc, lớp phủ gốm cacbua silic của Vetek Semiconductor được sử dụng rộng rãi trên các bộ phận chính của thiết bị sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt khi có liên quan đến các quy trình CVD và PECVD. Chào mừng yêu cầu của bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuBộ nhạy EPI của VeTek Semiconductor được thiết kế cho các ứng dụng thiết bị epiticular có yêu cầu khắt khe. Cấu trúc than chì được phủ cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao của nó mang lại khả năng chịu nhiệt tuyệt vời, độ đồng đều nhiệt đồng đều cho độ dày và độ bền của lớp epiticular nhất quán cũng như khả năng kháng hóa chất lâu dài. Chúng tôi mong muốn được hợp tác với bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầu