lò sưởi phủ gốm silicon cacbua

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất lò sưởi phủ gốm silicon cacbua chuyên nghiệp tại Trung Quốc. Lò sưởi phủ gốm silicon cacbua được thiết kế chủ yếu cho nhiệt độ cao và môi trường khắc nghiệt của sản xuất chất bán dẫn. Điểm nóng chảy cực cao, khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và tính dẫn nhiệt vượt trội quyết định tính không thể thiếu của sản phẩm này trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ thiết lập mối quan hệ kinh doanh lâu dài với bạn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Chất bán dẫn VeTekLò sưởi phủ gốm silicon cacbua là lò sưởi được thiết kế cho nhiệt độ cao và môi trường khắc nghiệt. Nó phủ một lớp phủ gốm silicon carbon (SiC) trên bề mặt của bộ phận làm nóng để mang lại cho thiết bị khả năng chịu nhiệt, chống ăn mòn và dẫn nhiệt tuyệt vời.

Lò sưởi phủ gốm silicon cacbuachủ yếu được sử dụng trong thiết bị phủ chân không (bay hơi). Các phương pháp thường được sử dụng là PCD (Sấy hóa chất plasma) và PVD (Lắng đọng hơi vật lý), được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn và các ứng dụng công nghiệp có nhu cầu cao khác.

Kết hợp với thiết kế lớp phủ hiệu suất cao của Lò sưởi phủ gốm Silicon Carbide,nó có thể cung cấp giải pháp gia nhiệt tuyệt vời cho các quy trình nhiệt độ cao.

Độ dẫn nhiệt tuyệt vời: Vật liệu SiC có tính dẫn nhiệt tuyệt vời, đảm bảo bộ gia nhiệt có thể đạt được sự phân bổ nhiệt đồng đều trong khu vực làm việc và giảm độ dốc nhiệt độ.

Cung cấp sự phân phối nhiệt đồng đều: Lò sưởi phủ gốm silicon cacbua sử dụng tính dẫn nhiệt cao của vật liệu SiC để đạt được sự phân bổ nhiệt độ đồng đều khắp khu vực gia nhiệt. Điều này rất quan trọng để đảm bảo xử lý nhiệt đồng đều các tấm bán dẫn trong các quy trình nhiệt độ cao khác nhau như xử lý nhiệt nhanh (RTP), khuếch tán và oxy hóa, tránh các khuyết tật sản phẩm do quá nhiệt cục bộ hoặc nhiệt độ không đồng đều.

Chịu được nhiệt độ cao: Lớp phủ SiC cho phép bộ gia nhiệt chịu được nhiệt độ cực cao, thường lên tới 1600°C, thích hợp cho nhiều quy trình xử lý nhiệt độ cao khác nhau.

Cải thiện khả năng chịu nhiệt: Bởi vì lớp phủ có thể chịu được nhiệt độ cực cao nên nó hoạt động tốt trong các quy trình đòi hỏi hoạt động ở nhiệt độ cao trong thời gian dài. Ví dụ, trong các quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD), Lò sưởi phủ gốm silicon cacbua có thể đảm bảo thiết bị hoạt động ổn định lâu dài ở nhiệt độ cao và duy trì hiệu suất gia nhiệt ổn định, từ đó cải thiện độ lặp lại và độ tin cậy của quy trình.

Chống ăn mòn hóa học: Lớp phủ SiC có khả năng kháng axit, kiềm và khí ăn mòn cực cao, đồng thời có thể duy trì ổn định lâu dài trong môi trường khí quyển hóa học phức tạp, kéo dài tuổi thọ của thiết bị.

Kéo dài tuổi thọ của thiết bị: Lớp phủ SiC có khả năng chống oxy hóa và chống ăn mòn tuyệt vời, đồng thời có thể chống xói mòn và oxy hóa hóa học một cách hiệu quả ở nhiệt độ cao. Điều này rất quan trọng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong môi trường xử lý các loại khí và hóa chất ăn mòn. Tác dụng bảo vệ của lớp phủ có thể kéo dài đáng kể tuổi thọ của lò sưởi và giảm tần suất thay thế thiết bị và chi phí bảo trì.

Tính chất vật lý cơ bản của lò sưởi phủ gốm silicon cacbua: