Lớp phủ gốm silicon cacbua

Chất bán dẫn Vetek Lớp phủ gốm silicon cacbualà lớp phủ bảo vệ hiệu suất cao được làm từ vật liệu cacbua silic (SiC) cực kỳ cứng và chịu mài mòn, mang lại khả năng chống ăn mòn hóa học tuyệt vời và ổn định nhiệt độ cao. Những đặc tính này rất quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, vì vậy Lớp phủ gốm silicon cacbua được sử dụng rộng rãi trên các bộ phận chính của thiết bị sản xuất chất bán dẫn.

Vai trò cụ thể của lớp phủ gốm silicon cacbua bán dẫn Vetek trong sản xuất chất bán dẫn lànhư sau:

Tăng cường độ bền thiết bị: Lớp phủ gốm silicon cacbua cung cấp khả năng bảo vệ bề mặt tuyệt vời cho thiết bị sản xuất chất bán dẫn với độ cứng và khả năng chống mài mòn cực cao. Đặc biệt trong môi trường xử lý nhiệt độ cao, có tính ăn mòn cao, chẳng hạn như lắng đọng hơi hóa học (CVD) và khắc plasma, lớp phủ gốm cacbua silic có thể ngăn ngừa hiệu quả hư hỏng bề mặt thiết bị do xói mòn hóa học hoặc mài mòn vật lý, từ đó kéo dài đáng kể tuổi thọ của thiết bị. thiết bị và giảm thời gian ngừng hoạt động do thay thế và bảo trì thường xuyên.

Cải thiện độ tinh khiết của quy trình: Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, bất kỳ sự nhiễm bẩn nhỏ nào cũng có thể gây ra lỗi sản phẩm. Tính trơ hóa học của lớp phủ gốm cacbua silic cho phép nó duy trì ổn định trong các điều kiện khắc nghiệt, ngăn vật liệu giải phóng các hạt hoặc tạp chất và đảm bảo độ tinh khiết của môi trường trong quá trình này. Điều này đặc biệt quan trọng đối với các bước sản xuất đòi hỏi độ chính xác cao và độ sạch cao, chẳng hạn như PECVD và cấy ion.

Tối ưu hóa quản lý nhiệt: Trong quá trình xử lý chất bán dẫn ở nhiệt độ cao, chẳng hạn như quá trình xử lý nhiệt nhanh (RTP) và quá trình oxy hóa, độ dẫn nhiệt cao của Lớp phủ gốm cacbua silic cho phép phân bổ nhiệt độ đồng đều bên trong thiết bị. Điều này giúp giảm ứng suất nhiệt và biến dạng vật liệu do biến động nhiệt độ, từ đó cải thiện độ chính xác và tính nhất quán trong sản xuất sản phẩm.

Hỗ trợ môi trường quy trình phức tạp: Trong các quy trình yêu cầu kiểm soát khí quyển phức tạp, chẳng hạn như quy trình khắc ICP và quy trình khắc PSS, độ ổn định và khả năng chống oxy hóa của bộ gia nhiệt phủ gốm cacbua silic đảm bảo hiệu suất ổn định của thiết bị khi vận hành lâu dài, giảm nguy cơ xuống cấp vật liệu hoặc thiết bị thiệt hại do thay đổi môi trường.

Chất bán dẫn Vetektập trung vào sản xuất và cung cấp hiệu suất caoLớp phủ gốm silicon cacbua, và cam kết cung cấp các giải pháp công nghệ và sản phẩm tiên tiến cho ngành bán dẫn.Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ là đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Tính chất vật lý cơ bản củaLớp phủ gốm silicon cacbua:

Cửa hàng phủ gốm cacbua silicon bán dẫn VeTek:

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: