người nhận EPI

Bộ nhạy EPI của VeTek Semiconductor được thiết kế cho các ứng dụng thiết bị epiticular có yêu cầu khắt khe. Cấu trúc than chì được phủ cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao của nó mang lại khả năng chịu nhiệt tuyệt vời, độ đồng đều nhiệt đồng đều cho độ dày và độ bền của lớp epiticular nhất quán cũng như khả năng kháng hóa chất lâu dài. Chúng tôi mong muốn được hợp tác với bạn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất máy thu EPI chuyên nghiệp hàng đầu Trung Quốc, nhà sản xuất máy thu hành tinh ALD và máy thu than chì phủ TaC. Và chất nhạy cảm EPI của chúng tôi là một thành phần quan trọng củatăng trưởng epiticularTrong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Chức năng chính của nó là hỗ trợ và làm nóng wafer để lớp epiticular chất lượng cao có thể phát triển đồng đều trên bề mặt wafer.

Các chất nhạy EPI của VeTek Semiconductors thường được làm bằng than chì có độ tinh khiết cao và được phủ một lớp cacbua silic (SiC).Thiết kế này có những ưu điểm chính sau:

● Độ ổn định nhiệt độ cao: Chất nhạy cảm EPI có thể duy trì ổn định trong môi trường nhiệt độ cao, đảm bảo sự phát triển đồng đều của lớp epitaxy.

● Chống ăn mòn: Lớp phủ SiC có khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và có thể chống lại sự ăn mòn của khí hóa học, kéo dài tuổi thọ của khay.

● Độ dẫn nhiệt: Độ dẫn nhiệt cao của vật liệu SiC đảm bảo sự phân bố nhiệt độ đồng đều của wafer trong quá trình gia nhiệt, từ đó cải thiện chất lượng của lớp epiticular.

● Phù hợp với hệ số giãn nở nhiệt: Hệ số giãn nở nhiệt của SiC tương tự như than chì, tránh được vấn đề bong tróc lớp phủ do giãn nở nhiệt và co lại.