người nhận EPI

VeTek Semiconductor là công ty dẫn đầu chuyên nghiệp về Bộ thu EPI của Trung Quốc, Bộ thu hành tinh ALD, nhà sản xuất Bộ thu than chì phủ TaC.

Chất nhạy cảm EPI của VeTek Semiconductor là một thành phần quan trọng của sự tăng trưởng epiticular Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Chức năng chính của nó là hỗ trợ và làm nóng wafer để lớp epiticular chất lượng cao có thể phát triển đồng đều trên bề mặt wafer.

Các chất nhạy EPI của VeTek Semiconductors thường được làm bằng than chì có độ tinh khiết cao và được phủ một lớp cacbua silic (SiC). Thiết kế này có những ưu điểm chính sau:

Độ ổn định nhiệt độ cao: Chất nhạy cảm EPI có thể duy trì ổn định trong môi trường nhiệt độ cao, đảm bảo sự phát triển đồng đều của lớp epitaxy.

Chống ăn mòn: Lớp phủ SiC có khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và có thể chống lại sự ăn mòn của khí hóa học, kéo dài tuổi thọ của khay.

Độ dẫn nhiệt: Độ dẫn nhiệt cao của vật liệu SiC đảm bảo sự phân bố nhiệt độ đồng đều của wafer trong quá trình gia nhiệt, từ đó cải thiện chất lượng của lớp epiticular.

Phù hợp với hệ số giãn nở nhiệt: Hệ số giãn nở nhiệt của SiC tương tự như than chì, tránh được vấn đề bong tróc lớp phủ do giãn nở nhiệt và co lại.

Tính chất vật lý cơ bản củangười nhận EPI:

Xưởng sản xuất sơn CVD SiC:

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: