Thụ thể Aixtron MOCVD

Các chất nhạy cảm được tạo ra bởiChất bán dẫn Vetekđược làm bằng chất nền than chì và vật liệu phủ silicon cacbua (SiC). Với khả năng chống mài mòn, chống ăn mòn và độ cứng cực cao của vật liệu SiC, nó đặc biệt thích hợp để sử dụng trong môi trường xử lý khắc nghiệt. Do đó, Chất cảm ứng do Vetek Semiconductor sản xuất có thể được sử dụng trực tiếp trong các quy trình MOCVD ở nhiệt độ cao mà không cần xử lý bề mặt bổ sung.

Chất nhạy cảm là thành phần chính trong sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong thiết bị MOCVD dành cho quá trình lắng đọng màng mỏng. Vai trò chính củaBộ thu Aixtron SiCtrong quy trình MOCVD là mang các tấm bán dẫn, đảm bảo sự lắng đọng đồng đều và chất lượng cao của màng mỏng bằng cách cung cấp môi trường phản ứng và phân bổ nhiệt đồng đều, từ đó đạt được sản xuất màng mỏng chất lượng cao.

Thụ thể Aixtron MOCVDthường được sử dụng để đỡ và cố định đế của các tấm bán dẫn nhằm đảm bảo sự ổn định của tấm bán dẫn trong quá trình lắng đọng. Đồng thời, lớp phủ bề mặt của Chất cảm ứng Aixtron MOCVD được làm bằng cacbua silic (SiC), một vật liệu dẫn nhiệt cao. Lớp phủ SiC đảm bảo nhiệt độ đồng đều trên bề mặt của tấm wafer và việc gia nhiệt đồng đều là điều cần thiết để thu được màng chất lượng cao.

Hơn nữa,Thụ thể Aixtron MOCVDchúng tôi sản xuất đóng vai trò lớn hơn trong việc kiểm soát dòng chảy và phân phối khí phản ứng thông qua thiết kế vật liệu được tối ưu hóa. Tránh dòng điện xoáy và độ dốc nhiệt độ để đạt được sự lắng đọng màng đồng đều.

Quan trọng hơn, trong quy trình MOCVD, vật liệu phủ silicon cacbua (SiC) có khả năng chống ăn mòn, do đóChất bán dẫn Vetek'SThụ thể Aixtron MOCVDcũng có thể chịu được nhiệt độ cao và khí ăn mòn.

Tính chất vật lý cơ bản củaSƠN SƠN SIC:

Cửa hàng thuyền bán dẫn VeTek:

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: