lò sưởi than chì phủ gốm silicon cacbua

Chất bán dẫn VeTek Lò sưởi than chì phủ gốm silicon cacbuakết hợp tính dẫn điện và nhiệt tuyệt vời của than chì với khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn và chống mài mòn của lớp phủ gốm carbon silicon và được thiết kế cho môi trường sản xuất chất bán dẫn khắc nghiệt. 

Lò sưởi than chì phủ gốm silicon cacbuachủ yếu được sử dụng trong thiết bị phủ chân không (bay hơi) và các phương pháp thường được sử dụng là PCD (Sấy hóa chất bằng plasma) và PVD (Lắng đọng hơi vật lý). Sản phẩm này đã đóng vai trò quan trọng trong việc thúc đẩy tiến bộ công nghệ và nâng cao hiệu quả sản xuất trong ngành bán dẫn.Chúng tôi chân thành mong muốn được hợp tác hơn nữa với bạn.

Các đặc điểm vật liệu và cấu trúc của Lò sưởi than chì phủ gốm silic cacbua như sau:

Chất nền than chì: Than chì được biết đến với tính dẫn nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp. Nó có thể phản ứng nhanh chóng với sự thay đổi nhiệt độ và duy trì sự ổn định cấu trúc ở nhiệt độ cao.

Lớp phủ gốm silicon carbon: Lớp phủ SiC được phủ đều trên bề mặt than chì thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học hoặc các quy trình tiên tiến khác. SiC có độ cứng cực cao và khả năng chống ăn mòn hóa học, có thể bảo vệ chất nền than chì khỏi môi trường oxy hóa và ăn mòn ở nhiệt độ cao.

Thiết kế cấu trúc sản phẩm đặc biệt của Lò sưởi than chì phủ gốm silic cacbua xác địnhnhững ưu điểm sản phẩm không thể thay thế của sản phẩm này trong quá trình xử lý chất bán dẫn:

Sưởi ấm hiệu quả và đồng đều:

Độ dẫn nhiệt: Độ dẫn nhiệt cao của than chì cho phép bộ gia nhiệt nhanh chóng đạt và duy trì nhiệt độ cần thiết, đồng thời lớp phủ SiC đảm bảo phân bổ nhiệt đồng đều. Điều này đặc biệt quan trọng đối với các quy trình bán dẫn yêu cầu kiểm soát nhiệt độ chính xác, chẳng hạn như xử lý nhiệt nhanh (RTP) và lắng đọng hơi hóa học (CVD).

Độ đồng đều nhiệt độ: Thông qua sự phân bổ nhiệt đồng đều, Lò sưởi than chì phủ gốm silic cacbua có thể giảm ứng suất nhiệt và độ dốc nhiệt độ một cách hiệu quả, đảm bảo tính nhất quán và ổn định chất lượng của các tấm bán dẫn trong suốt quá trình gia nhiệt.

Bảo vệ chống ăn mòn:

Kháng hóa chất: Khả năng chống ăn mòn hóa học của lớp phủ SiC giúp máy sưởi hoạt động ổn định và lâu dài trong môi trường khí ăn mòn và hóa chất, tránh làm hỏng lớp nền than chì. Tính năng này đặc biệt quan trọng trong các quá trình như lắng đọng hơi hóa học (CVD) và lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD).

Chống oxy hóa: Ở nhiệt độ cao, lớp phủ SiC có thể ngăn chặn quá trình oxy hóa chất nền than chì, kéo dài tuổi thọ của lò sưởi và giảm tần suất cũng như chi phí bảo trì thiết bị.

Giảm ô nhiễm hạt:

Độ ổn định bề mặt: Lớp phủ SiC không chỉ có khả năng chống mài mòn mà còn ngăn chặn các hạt rơi ra khỏi bề mặt vật liệu do chu kỳ nhiệt hoặc phản ứng hóa học, từ đó giảm nguy cơ ô nhiễm hạt có thể xảy ra trong quá trình sản xuất chất bán dẫn và đảm bảo môi trường quy trình có độ sạch cao.

Cải thiện độ tin cậy và hiệu quả của quá trình:

Thiết kế có tuổi thọ cao: Do sự kết hợp giữa độ bền cơ học của than chì và khả năng chống mài mòn của lớp phủ SiC, Lò sưởi than chì phủ gốm silicon cacbua có thể duy trì hoạt động hiệu quả cao trong thời gian dài trong các điều kiện quy trình khắc nghiệt, cải thiện đáng kể độ tin cậy tổng thể của thiết bị.

Sử dụng năng lượng hiệu quả: Độ dẫn nhiệt cao của than chì và độ ổn định nhiệt độ cao của lớp phủ SiC cho phép lò sưởi giảm mức tiêu thụ năng lượng đồng thời cải thiện độ chính xác kiểm soát nhiệt độ, từ đó nâng cao hiệu quả tổng thể của quá trình sản xuất chất bán dẫn.

Tính chất vật lý cơ bản củaLò sưởi than chì phủ gốm silicon cacbua:

Chất bán dẫn VeTekLò sưởi than chì phủ gốm silicon cacbuacửa hàng:

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn:

/quy trình khác