VeTek Semiconductor chuyên sản xuất các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua siêu tinh khiết, các lớp phủ này được thiết kế để ứng dụng cho các thành phần than chì, gốm sứ và kim loại chịu lửa tinh khiết.
Lớp phủ có độ tinh khiết cao của chúng tôi chủ yếu được nhắm mục tiêu sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử. Chúng đóng vai trò như một lớp bảo vệ cho các chất mang bán dẫn, chất nhạy cảm và bộ phận làm nóng, bảo vệ chúng khỏi môi trường ăn mòn và phản ứng gặp phải trong các quy trình như MOCVD và EPI. Các quy trình này là không thể thiếu trong quá trình xử lý wafer và sản xuất thiết bị. Ngoài ra, lớp phủ của chúng tôi rất phù hợp cho các ứng dụng trong lò chân không và gia nhiệt mẫu, nơi gặp phải môi trường chân không, phản ứng và oxy cao.
Tại VeTek Semiconductor, chúng tôi cung cấp giải pháp toàn diện với năng lực xưởng máy tiên tiến của mình. Điều này cho phép chúng tôi sản xuất các bộ phận cơ bản bằng cách sử dụng than chì, gốm sứ hoặc kim loại chịu lửa và áp dụng lớp phủ gốm SiC hoặc TaC ngay trong nhà. Chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ phủ cho các bộ phận do khách hàng cung cấp, đảm bảo tính linh hoạt để đáp ứng nhu cầu đa dạng.
Các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua của chúng tôi được sử dụng rộng rãi trong epit Wax Si, epit Wax SiC, hệ thống MOCVD, quy trình RTP/RTA, quy trình khắc axit, quy trình khắc ICP/PSS, quy trình xử lý các loại đèn LED khác nhau, bao gồm đèn LED xanh lam và xanh lục, đèn LED UV và tia cực tím sâu LED, v.v., được điều chỉnh phù hợp với các thiết bị từ LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, v.v.
Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC | |
Tài sản | Giá trị điển hình |
Cấu trúc tinh thể | FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111) |
Tỉ trọng | 3,21 g/cm³ |
độ cứng | Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g) |
kích thước hạt | 2 ~ 10μm |
Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
Công suất nhiệt | 640 J·kg-1·K-1 |
Nhiệt độ thăng hoa | 2700oC |
Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
Mô đun của Young | Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC |
Độ dẫn nhiệt | 300W·m-1·K-1 |
Mở rộng nhiệt (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VeTek Semiconductor là công ty hỗ trợ phủ SiC hàng đầu cho nhà sản xuất và nhà đổi mới LPE PE2061S ở Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về vật liệu phủ SiC trong nhiều năm. Chúng tôi cung cấp Hỗ trợ phủ SiC cho LPE PE2061S được thiết kế đặc biệt cho lò phản ứng epit Wax silicon LPE. Hỗ trợ phủ SiC cho LPE PE2061S này là đáy của bộ phận nhạy cảm thùng. Nó có thể chịu được nhiệt độ cao 1600 độ C, kéo dài tuổi thọ sản phẩm của phụ tùng than chì. Chào mừng bạn gửi yêu cầu cho chúng tôi.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là Tấm trên cùng được phủ SiC hàng đầu dành cho nhà sản xuất và nhà đổi mới LPE PE2061S ở Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về vật liệu phủ SiC trong nhiều năm. Chúng tôi cung cấp Tấm trên cùng được phủ SiC cho LPE PE2061S được thiết kế đặc biệt cho lò phản ứng epit Wax silicon LPE. Tấm trên cùng được phủ SiC dành cho LPE PE2061S này là tấm trên cùng với bộ phận nhạy cảm thùng. Tấm phủ SiC CVD này tự hào có độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt tuyệt vời và tính đồng nhất, khiến nó phù hợp để trồng các lớp epiticular chất lượng cao. Chúng tôi chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi ở Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là Chất nhạy cảm dạng thùng được phủ SiC hàng đầu dành cho nhà sản xuất và nhà đổi mới LPE PE2061S ở Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về vật liệu phủ SiC trong nhiều năm. Chúng tôi cung cấp chất nhạy cảm thùng được phủ SiC được thiết kế đặc biệt cho tấm bán dẫn LPE PE2061S 4''. Chất nhạy cảm này có lớp phủ cacbua silic bền giúp nâng cao hiệu suất và độ bền trong quá trình LPE (Epitaxy pha lỏng). Chúng tôi chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi ở Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến Đầu sen khí SiC rắn hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về vật liệu bán dẫn trong nhiều năm. Thiết kế đa lỗ của Đầu sen khí SiC rắn của VeTek Semiconductor đảm bảo rằng nhiệt sinh ra trong quy trình CVD có thể được phân tán , đảm bảo rằng bề mặt được làm nóng đều. Chúng tôi mong muốn được hợp tác lâu dài với bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và đổi mới quy trình lắng đọng hơi hóa học hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về vật liệu bán dẫn trong nhiều năm. Vòng cạnh SiC rắn của VeTek Semiconductor mang lại tính đồng nhất khắc được cải thiện và định vị wafer chính xác khi sử dụng với mâm cặp tĩnh điện , đảm bảo kết quả khắc nhất quán và đáng tin cậy. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến Vòng lấy nét khắc SiC rắn hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về vật liệu SiC trong nhiều năm. SiC rắn được chọn làm vật liệu vòng lấy nét do tính ổn định nhiệt hóa tuyệt vời, độ bền cơ học cao và khả năng chống lại plasma xói mòn. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu