Trung Quốc Lớp phủ silicon cacbua Nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy

VeTek Semiconductor chuyên sản xuất các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua siêu tinh khiết, các lớp phủ này được thiết kế để ứng dụng cho các thành phần than chì, gốm sứ và kim loại chịu lửa tinh khiết.

Lớp phủ có độ tinh khiết cao của chúng tôi chủ yếu được nhắm mục tiêu sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử. Chúng đóng vai trò như một lớp bảo vệ cho các chất mang bán dẫn, chất nhạy cảm và bộ phận làm nóng, bảo vệ chúng khỏi môi trường ăn mòn và phản ứng gặp phải trong các quy trình như MOCVD và EPI. Các quy trình này là không thể thiếu trong quá trình xử lý wafer và sản xuất thiết bị. Ngoài ra, lớp phủ của chúng tôi rất phù hợp cho các ứng dụng trong lò chân không và gia nhiệt mẫu, nơi gặp phải môi trường chân không, phản ứng và oxy cao.

Tại VeTek Semiconductor, chúng tôi cung cấp giải pháp toàn diện với năng lực xưởng máy tiên tiến của mình. Điều này cho phép chúng tôi sản xuất các bộ phận cơ bản bằng cách sử dụng than chì, gốm sứ hoặc kim loại chịu lửa và áp dụng lớp phủ gốm SiC hoặc TaC ngay trong nhà. Chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ phủ cho các bộ phận do khách hàng cung cấp, đảm bảo tính linh hoạt để đáp ứng nhu cầu đa dạng.

Các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua của chúng tôi được sử dụng rộng rãi trong epit Wax Si, epit Wax SiC, hệ thống MOCVD, quy trình RTP/RTA, quy trình khắc axit, quy trình khắc ICP/PSS, quy trình xử lý các loại đèn LED khác nhau, bao gồm đèn LED xanh lam và xanh lục, đèn LED UV và tia cực tím sâu LED, v.v., được điều chỉnh phù hợp với các thiết bị từ LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, v.v.

Các bộ phận lò phản ứng chúng ta có thể làm:

Lớp phủ silicon cacbua có một số ưu điểm độc đáo:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Thông số lớp phủ silicon cacbua bán dẫn VeTek:

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC
Tài sản	Giá trị điển hình
Cấu trúc tinh thể	FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111)
Tỉ trọng	3,21 g/cm³
độ cứng	Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g)
kích thước hạt	2 ~ 10μm
Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
Công suất nhiệt	640 J·kg-1·K-1
Nhiệt độ thăng hoa	2700oC
Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
Mô đun của Young	Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
Độ dẫn nhiệt	300W·m-1·K-1
Mở rộng nhiệt (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Kẹp wafer silicon cacbua

Là nhà sản xuất và cung cấp hàng đầu các sản phẩm Silicon Carbide Wafer Chuck tại Trung Quốc, Silicon Carbide Wafer Chuck của VeTek Semiconductor đóng một vai trò không thể thay thế trong quá trình tăng trưởng epiticular với khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn hóa học và chống sốc nhiệt tuyệt vời. Chào mừng bạn tư vấn thêm.

Đọc thêm Gửi yêu cầu

Đầu vòi hoa sen cacbua silic

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp hàng đầu các sản phẩm Đầu vòi sen bằng silicon cacbua tại Trung Quốc. Đầu vòi hoa sen SiC có khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời, ổn định hóa học, dẫn nhiệt và hiệu suất phân phối khí tốt, có thể đạt được sự phân phối khí đồng đều và cải thiện chất lượng màng. Do đó, nó thường được sử dụng trong các quá trình nhiệt độ cao như quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) hoặc quá trình lắng đọng hơi vật lý (PVD). Chào mừng bạn tư vấn thêm.

Đọc thêm Gửi yêu cầu

Silicon Carbide Seal Ring

Là nhà sản xuất và sản xuất sản phẩm Vòng đệm silicon cacbua chuyên nghiệp tại Trung Quốc, Vòng đệm silicon cacbua bán dẫn VeTek được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị xử lý chất bán dẫn do khả năng chịu nhiệt, chống ăn mòn, độ bền cơ học và tính dẫn nhiệt tuyệt vời. Nó đặc biệt thích hợp cho các quy trình liên quan đến nhiệt độ cao và các loại khí phản ứng như CVD, PVD và khắc plasma, đồng thời là lựa chọn vật liệu quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Yêu cầu thêm của bạn đều được chào đón.

Đọc thêm Gửi yêu cầu

Giá đỡ wafer phủ SiC

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất chuyên nghiệp và dẫn đầu về các sản phẩm giá đỡ wafer phủ SiC tại Trung Quốc. Giá đỡ wafer được phủ SiC là giá đỡ wafer cho quy trình epit Wax trong xử lý chất bán dẫn. Nó là một thiết bị không thể thay thế giúp ổn định tấm wafer và đảm bảo sự phát triển đồng đều của lớp epitaxy. Chào mừng bạn tư vấn thêm.

Đọc thêm Gửi yêu cầu

Người giữ wafer Epi

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và nhà máy sản xuất Epi Wafer Holder chuyên nghiệp tại Trung Quốc. Epi Wafer Holder là vật giữ wafer cho quy trình epit Wax trong xử lý chất bán dẫn. Nó là công cụ quan trọng để ổn định tấm bán dẫn và đảm bảo sự phát triển đồng đều của lớp epitaxy. Nó được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị epitaxy như MOCVD và LPCVD. Nó là một thiết bị không thể thay thế trong quá trình epitaxy. Chào mừng bạn tư vấn thêm.

Đọc thêm Gửi yêu cầu

Nhà cung cấp wafer vệ tinh Aixtron

Là nhà sản xuất và cải tiến sản phẩm Tấm wafer vệ tinh Aixtron chuyên nghiệp ở Trung Quốc, Nhà cung cấp tấm wafer vệ tinh Aixtron của VeTek Semiconductor là chất mang tấm wafer được sử dụng trong thiết bị AIXTRON, chủ yếu được sử dụng trong các quy trình MOCVD trong xử lý chất bán dẫn và đặc biệt thích hợp cho nhiệt độ cao và độ chính xác cao. các quá trình xử lý chất bán dẫn. Chất mang có thể cung cấp sự hỗ trợ wafer ổn định và lắng đọng màng đồng đều trong quá trình tăng trưởng epiticular MOCVD, điều này rất cần thiết cho quá trình lắng đọng lớp. Chào mừng bạn tư vấn thêm.

Đọc thêm Gửi yêu cầu

<...3 4 5 6 7...15 >

Là nhà sản xuất và nhà cung cấp Lớp phủ silicon cacbua chuyên nghiệp ở Trung Quốc, chúng tôi có nhà máy riêng. Cho dù bạn cần các dịch vụ tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu cụ thể trong khu vực của mình hay muốn mua Lớp phủ silicon cacbua cao cấp và bền bỉ được sản xuất tại Trung Quốc, bạn đều có thể để lại tin nhắn cho chúng tôi.