Kẹp wafer silicon cacbua

VeTek Semiconductor Silicon Carbide wafer Chuck sử dụng các đặc tính tuyệt vời của vật liệu Silicon Carbide để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong xử lý chất bán dẫn đòi hỏi độ chính xác và độ tin cậy cực cao.

Trong quá trình xử lý chất bán dẫn,cacbua siliccó khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời (có thể hoạt động ổn định ở nhiệt độ lên tới 1400°C), độ dẫn điện thấp (SiC có độ dẫn điện tương đối thấp, thường là 10^^-3S/m) và hệ số giãn nở nhiệt thấp (khoảng 4,0 × 10^^-6/°C), là vật liệu không thể thiếu và quan trọng, đặc biệt thích hợp để sản xuất Kẹp wafer Silicon Carbide.

Trong thời gianquá trình tăng trưởng epiticular, một lớp vật liệu bán dẫn mỏng được lắng đọng trên đế, đòi hỏi sự ổn định tuyệt đối từ wafer để đảm bảo các lớp lắng đọng màng đồng nhất và chất lượng cao. Đầu kẹp chân không SiC đạt được điều này bằng cách tạo ra lực giữ chân không chắc chắn, nhất quán để ngăn chặn mọi chuyển động hoặc biến dạng của tấm bán dẫn.

Đầu kẹp wafer silicon Carbide cũng có khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời. Sự thay đổi nhiệt độ nhanh chóng là điều phổ biến trong sản xuất chất bán dẫn và các vật liệu không thể chịu được những biến động này có thể bị nứt, uốn cong hoặc hỏng. Cacbua silic có hệ số giãn nở nhiệt thấp và có thể duy trì hình dạng cũng như chức năng ngay cả khi nhiệt độ thay đổi mạnh, đảm bảo rằng tấm bán dẫn vẫn an toàn trong quá trình epitaxy mà không bị dịch chuyển hoặc lệch trục.

Hơn nữa,quá trình epitaxythường liên quan đến khí phản ứng và các hóa chất ăn mòn khác. Tính trơ về mặt hóa học của Kẹp wafer SiC đảm bảo rằng nó không bị ảnh hưởng bởi những môi trường khắc nghiệt này, duy trì hiệu suất và kéo dài tuổi thọ sử dụng của nó. Độ bền hóa học này không chỉ làm giảm tần suất thay thế wafer Chuck mà còn đảm bảo hiệu suất sản phẩm ổn định qua nhiều chu kỳ sản xuất, giúp cải thiện hiệu suất tổng thể và hiệu quả chi phí của quy trình sản xuất chất bán dẫn.

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp hàng đầu các sản phẩm Silicon Carbide Wafer Chuck tại Trung Quốc. Chúng tôi có thể cung cấp nhiều loại sản phẩm Chuck khác nhau nhưChuck gốm SiC xốp, Chuck chân không xốp SiC, Chuck chân không gốm xốpVàChuck phủ TaC, v.v. VeTek Semiconductor cam kết cung cấp các giải pháp công nghệ và sản phẩm tiên tiến cho ngành bán dẫn. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

SEM DỮ LIỆU CỦA CVDCẤU TRÚC TINH THỂ PHIM SIC：

Cửa hàng bán dẫn silicon cacbua bán dẫn VeTek：