Lò sưởi than chì vùng nóng bán dẫn VeTek được thiết kế để xử lý các điều kiện khắc nghiệt trong lò nhiệt độ cao và duy trì hiệu suất và độ ổn định tuyệt vời trong các quy trình phức tạp như lắng đọng hơi hóa học (CVD), tăng trưởng epiticular và ủ nhiệt độ cao. VeTekSemi luôn chú trọng sản xuất và cung cấp máy sưởi than chì Hot Zone chất lượng cao nhằm đảm bảo tiết kiệm chi phí tốt nhất cho khách hàng. Chúng tôi chân thành mời bạn liên hệ với chúng tôi.
Máy sưởi than chì vùng nóng bán dẫn VeTek được thiết kế để xử lý các điều kiện khắc nghiệt thường thấy trong lò nung nhiệt độ cao. Bộ gia nhiệt có thể chịu được môi trường khắc nghiệt thường thấy trong quá trình xử lý nhiệt độ cao, tùy thuộc vào các tính năng cụ thể của sản phẩm được liệt kê bên dưới.
Phân bố nhiệt độ đồng đều: Lò sưởi than chì Vùng nóng được biết đến với đặc tính gia nhiệt đồng đều tuyệt vời, nhờ sự kết hợp hoàn hảo giữa lựa chọn vật liệu có độ chính xác cao và công nghệ xử lý chính xác. Tính đồng nhất như vậy đảm bảo phân phối nhiệt độ trơn tru trên toàn bộ bề mặt gia nhiệt, giảm hiệu quả quá trình xử lý tấm bán dẫn không đồng đều do độ dốc nhiệt, từ đó cải thiện tính nhất quán của hiệu suất sản phẩm và hiệu suất thiết bị.
Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: lò sưởi than chì dành cho Vùng nóng có khả năng chống chịu mạnh mẽ với các loại khí và hóa chất ăn mòn khác nhau gặp phải trong quy trình sản xuất chất bán dẫn ở nhiệt độ cao. Tính trơ tự nhiên của vật liệu than chì cho phép lò sưởi than chì duy trì sự ổn định lâu dài trong môi trường khắc nghiệt, giảm đáng kể nguy cơ ô nhiễm và kéo dài tuổi thọ của thiết bị.
Hiệu suất chống oxy hóa tuyệt vời: So với vật liệu than chì truyền thống, lò sưởi than chì Hot Zone vẫn có khả năng chống oxy hóa tuyệt vời ở nhiệt độ cao. Tính năng này rất quan trọng để ngăn chặn sự suy giảm oxy hóa của bề mặt gia nhiệt trong quá trình xử lý ở nhiệt độ cao và tránh tạo ra ô nhiễm hạt trong buồng xử lý, đảm bảo thiết bị hoạt động hiệu quả liên tục.
Độ tinh khiết hóa học cực cao: Sau quá trình xử lý nghiêm ngặt, lò sưởi than chì của chúng tôi đã đạt đến mức độ tinh khiết hóa học cực cao, ngăn chặn hiệu quả việc đưa các tạp chất có hại vào môi trường xử lý chất bán dẫn. Độ tinh khiết này rất quan trọng để bảo vệ tính toàn vẹn của vật liệu bán dẫn chính xác và sản xuất các thiết bị đáp ứng các đặc tính điện và quang như mong đợi.
Độ bền cơ học cao và ổn định: Bộ gia nhiệt than chì Vùng nóng của VeTekSemi có độ bền cơ học và độ ổn định kích thước tuyệt vời, duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc ngay cả trong điều kiện vận hành ở nhiệt độ cao. Cho dù phải đối mặt với chu kỳ nhiệt thường xuyên hay ứng suất cơ học nặng nề, bộ gia nhiệt bằng than chì dành cho Vùng nóng vẫn duy trì độ bền và cung cấp sự hỗ trợ vững chắc và đáng tin cậy cho môi trường xử lý chất bán dẫn khắc nghiệt.
Bên cạnh đó, VeTeksemi còn cung cấp nhiều kích cỡ và cấu hình tùy chỉnh của lò sưởi than chì để đáp ứng nhu cầu của các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác nhau. chẳng hạn nhưthan chì phủ gốm siclò sưởi、Máy sưởi VEECO MOCVD, v.v. VeTek Semiconductor cam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến và có thể tùy chỉnh cho ngành bán dẫn. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ là đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.