Chuck chân không gốm xốp

Vetek Semiconductor là nhà sản xuất Chuck chân không bằng gốm xốp của Trung Quốc, được sử dụng để cố định và giữ các tấm silicon hoặc các chất nền khác bằng cách hấp phụ chân không để đảm bảo rằng những vật liệu này sẽ không bị dịch chuyển hoặc cong vênh trong quá trình xử lý. Vetek Semiconducto có thể cung cấp các sản phẩm Kẹp chân không bằng gốm xốp có độ tinh khiết cao với hiệu suất chi phí cao. Chào mừng bạn đến hỏi thăm.

Vetek Semiconductor cung cấp một loạt sản phẩm Kẹp chân không bằng gốm xốp tuyệt vời, được thiết kế đặc biệt để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của sản xuất chất bán dẫn hiện đại. Những chất mang này cho thấy hiệu suất tuyệt vời về độ sạch, độ phẳng và cấu hình đường dẫn khí có thể tùy chỉnh.

Sự sạch sẽ vô song:

Loại bỏ tạp chất: Mỗi mâm cặp chân không bằng gốm xốp được thiêu kết ở 1200°C trong 1,5 giờ để loại bỏ hoàn toàn tạp chất và đảm bảo bề mặt sạch như mới.

Đóng gói chân không: Để duy trì trạng thái sạch sẽ, Đầu kẹp chân không bằng gốm xốp được đóng gói chân không để tránh nhiễm bẩn trong quá trình bảo quản và vận chuyển.

Độ phẳng tuyệt vời:

Hấp phụ wafer rắn: Kẹp chân không bằng gốm xốp duy trì lực hấp phụ lần lượt là -60kPa và -70kPa trước và sau khi đặt tấm bán dẫn, đảm bảo rằng tấm bán dẫn được hấp phụ chắc chắn và ngăn không cho nó rơi ra khi truyền tốc độ cao.

Gia công chính xác: Mặt sau của giá đỡ được gia công chính xác để đảm bảo bề mặt phẳng hoàn toàn, từ đó duy trì độ kín chân không ổn định và ngăn ngừa rò rỉ.

Thiết kế tùy chỉnh:

Lấy khách hàng làm trung tâm: Vetek Semiconductor hợp tác chặt chẽ với khách hàng để thiết kế cấu hình đường dẫn khí đáp ứng các yêu cầu quy trình cụ thể của họ nhằm tối ưu hóa hiệu suất và hiệu suất.

Kiểm tra chất lượng nghiêm ngặt:

Vetek tiến hành các cuộc kiểm tra toàn diện trên từng bộ phận của Đầu kẹp chân không xốp SiC để đảm bảo chất lượng của nó:

Kiểm tra oxy hóa: Đầu kẹp chân không SiC được làm nóng nhanh chóng đến 900°C trong môi trường không có oxy để mô phỏng quá trình oxy hóa thực tế. Trước đó, chất mang được ủ ở 1100°C để đảm bảo hiệu suất tối ưu.

Kiểm tra dư lượng kim loại: Để ngăn ngừa ô nhiễm, chất mang được gia nhiệt ở nhiệt độ cao 1200°C để phát hiện xem có tạp chất kim loại nào kết tủa hay không.

Kiểm tra chân không: Bằng cách đo chênh lệch áp suất giữa Đầu kẹp chân không xốp SiC có và không có tấm bán dẫn, hiệu suất bịt kín chân không của nó được kiểm tra nghiêm ngặt. Chênh lệch áp suất phải được kiểm soát trong phạm vi ±2kPa.

Bảng đặc điểm của mâm cặp chân không bằng gốm xốp:

Cửa hàng kẹp chân không SiC xốp bán dẫn VeTek: