Máy sưởi VEECO MOCVD

Máy sưởi VEECO MOCVD của VeTeksemi được làm bằng vật liệu than chì có độ tinh khiết cao với hàm lượng tạp chất được kiểm soát chặt chẽ dưới 5 ppm và được phủ bằng cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cực cao với độ tinh khiết hơn 99,99995% thông qua mộtquá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD). Sự kết hợp các vật liệu này mang lại cho máy sưởi một loạt các đặc tính quan trọng đảm bảo hiệu suất tuyệt vời của nó tronglắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD)quá trình.

Một trong những tính năng nổi bật của máy sưởi VEECO MOCVD là độ tinh khiết hóa học vượt trội. Lõi than chì có độ tinh khiết cao làm giảm đáng kể khả năng đưa các chất gây ô nhiễm vào quá trình nhiệt độ cao, đảm bảo quá trình lắng đọng màng siêu sạch. cácLớp phủ CVD SiCcung cấp thêm sự bảo vệ cho bộ phận làm nóng, tạo thành một rào cản vững chắc ngăn chặn các phản ứng hóa học có thể làm hỏng chất lượng màng. Độ tinh khiết tuyệt vời này rất cần thiết để sản xuất các thiết bị bán dẫn đáng tin cậy, hiệu suất cao.

Đồng thời, lò sưởi thể hiện sự ổn định và hiệu quả nhiệt cực cao. SiC có điểm nóng chảy cao và độ dẫn nhiệt tuyệt vời, cho phép lò sưởi quản lý và dẫn nhiệt hiệu quả. Điều này đảm bảo sự gia nhiệt đồng đều trên toàn bộ bề mặt, từ đó giúp đạt được sự lắng đọng màng đồng đều và giảm các khuyết tật do gradient nhiệt gây ra. Hiệu suất nhiệt như vậy đặc biệt quan trọng đối với sản xuất chính xác.

Máy sưởi VEECO MOCVD cũng vượt trội về hiệu suất điện. Lõi than chì có độ tinh khiết cao của nó có độ dẫn điện tuyệt vời, cho phép lò sưởi xử lý các yêu cầu tải điện cao. Hiệu suất điện ổn định này cho phép bộ gia nhiệt duy trì tốc độ lắng đọng và kiểm soát nhiệt độ chính xác trong điều kiện tải cao, điều này rất quan trọng để đảm bảo các điều kiện quy trình nhất quán và cải thiện hiệu quả sản xuất chất bán dẫn.

Thiết kế bề mặt của lò sưởi đã được tối ưu hóa cẩn thận để có độ phát xạ nền cao, giúp cải thiện đáng kể hiệu quả truyền nhiệt bức xạ. Khả năng gia nhiệt đồng đều là yếu tố then chốt để đảm bảo độ dày và đặc tính lắng đọng màng ổn định. Thiết kế bề mặt có độ phát xạ cao cũng cải thiện hiệu suất nhiệt tổng thể của lò sưởi, từ đó giảm mức tiêu thụ năng lượng và giảm chi phí vận hành.

Về độ bền, máy sưởi VEECO MOCVD của VeTeksemi thể hiện khả năng chống ăn mòn, chống oxy hóa và độ bền cơ học tuyệt vời. Lớp phủ CVD SiC cung cấp một rào cản vững chắc chống lại các loại khí ăn mòn và hóa chất phổ biến trong các quy trình MOCVD, từ đó kéo dài tuổi thọ của thiết bị và giảm nhu cầu bảo trì cũng như chi phí thay thế. Khả năng chống oxy hóa của nó đảm bảo máy sưởi vẫn ổn định ở nhiệt độ cao mà không làm giảm hiệu suất, đảm bảo độ ổn định lâu dài.

Ngoài ra, độ bền cơ học cao của bộ gia nhiệt MOCVD của VeTeksemi cho phép nó chịu được các ứng suất vật lý tạo ra trong quá trình luân chuyển nhiệt và xử lý chất nền. Độ bền của nó giúp giảm nguy cơ hỏng hóc cơ học và đảm bảo thiết bị vận hành đáng tin cậy trong các điều kiện quy trình khắc nghiệt.

Là nhà sản xuất và cung cấp tiên tiến các sản phẩm máy sưởi VEECO MOCVD, VeTeksemi còn cung cấp nhiều loại sản phẩm máy sưởi chất lượng cao nhưMáy sưởi lớp phủ TaC, lò sưởi than chì phủ gốm silicon cacbua, lò sưởi phủ gốm silicon cacbua, v.v. VeTek Semiconductor cam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến, có thể tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ là đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.