Chất nhạy cảm MOCVD phủ SiC

Chất cảm biến MOCVD phủ SiC của VeTek Semiconductor là một thiết bị có quy trình, độ bền và độ tin cậy tuyệt vời. Chúng có thể chịu được nhiệt độ cao và môi trường hóa chất, duy trì hiệu suất ổn định và tuổi thọ cao, từ đó giảm tần suất thay thế, bảo trì và nâng cao hiệu quả sản xuất. Bộ nhạy cảm Epiticular MOCVD của chúng tôi nổi tiếng với mật độ cao, độ phẳng tuyệt vời và khả năng kiểm soát nhiệt tuyệt vời, khiến nó trở thành thiết bị được ưa thích trong môi trường sản xuất khắc nghiệt. Rất mong được hợp tác với bạn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Tìm nhiều lựa chọn về SiC CoatedBộ chấp nhận MOCVDtừ Trung Quốc tại VeTek Semiconductor. Cung cấp dịch vụ hậu mãi chuyên nghiệp và giá cả phù hợp, rất mong được hợp tác.

VeTek Semiconductor's Chất nhạy cảm epitaxy MOCVDđược thiết kế để chịu được môi trường nhiệt độ cao và các điều kiện hóa học khắc nghiệt thường gặp trong quy trình sản xuất tấm bán dẫn. Thông qua kỹ thuật chính xác, các bộ phận này được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của hệ thống lò phản ứng epiticular. Chất nhạy cảm epiticular MOCVD của chúng tôi được làm bằng chất nền than chì chất lượng cao được phủ một lớpcacbua silic (SiC), không chỉ có khả năng chống ăn mòn và nhiệt độ cao tuyệt vời mà còn đảm bảo phân phối nhiệt đồng đều, điều này rất quan trọng để duy trì sự lắng đọng màng epiticular nhất quán.

Ngoài ra, các chất nhạy cảm bán dẫn của chúng tôi có hiệu suất nhiệt tuyệt vời, cho phép kiểm soát nhiệt độ nhanh và đồng đều để tối ưu hóa quá trình phát triển chất bán dẫn. Chúng có thể chịu được sự tấn công của nhiệt độ cao, quá trình oxy hóa và ăn mòn, đảm bảo hoạt động đáng tin cậy ngay cả trong những môi trường vận hành khó khăn nhất.

Ngoài ra, Chất cảm ứng MOCVD được phủ SiC được thiết kế tập trung vào tính đồng nhất, điều này rất quan trọng để đạt được chất nền đơn tinh thể chất lượng cao. Đạt được độ phẳng là điều cần thiết để đạt được sự phát triển đơn tinh thể tuyệt vời trên bề mặt wafer.

Tại VeTek Semiconductor, niềm đam mê vượt qua các tiêu chuẩn ngành của chúng tôi cũng quan trọng như cam kết tiết kiệm chi phí cho các đối tác của chúng tôi. Chúng tôi cố gắng cung cấp các sản phẩm như Bộ cảm biến epiticular MOCVD để đáp ứng nhu cầu luôn thay đổi của sản xuất chất bán dẫn và dự đoán xu hướng phát triển của nó để đảm bảo hoạt động của bạn được trang bị các công cụ tiên tiến nhất. Chúng tôi mong muốn xây dựng mối quan hệ hợp tác lâu dài với bạn và cung cấp cho bạn các giải pháp chất lượng.

Thông số sản phẩm của Chất nhạy cảm MOCVD phủ SiC:

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC
Tài sản	Giá trị điển hình
Cấu trúc tinh thể	FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111)
Tỉ trọng	3,21 g/cm³
độ cứng	Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g)
kích thước hạt	2 ~ 10μm
Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
Công suất nhiệt	640 J·kg^-1·K^-1
Nhiệt độ thăng hoa	2700oC
Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
Mô đun của Young	Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
Độ dẫn nhiệt	300W·m^-1·K^-1
Mở rộng nhiệt (CTE)	4,5×10^-6K^-1