Đầu vòi hoa sen cacbua silic

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp hàng đầu các sản phẩm Đầu vòi sen bằng silicon cacbua tại Trung Quốc. Đầu vòi hoa sen SiC có khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời, ổn định hóa học, dẫn nhiệt và hiệu suất phân phối khí tốt, có thể đạt được sự phân phối khí đồng đều và cải thiện chất lượng màng. Do đó, nó thường được sử dụng trong các quá trình nhiệt độ cao như quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) hoặc quá trình lắng đọng hơi vật lý (PVD). Chào mừng bạn tư vấn thêm.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Đầu vòi sen cacbua silicon bán dẫn VeTek chủ yếu được làm bằng SiC. Trong xử lý chất bán dẫn, chức năng chính của Đầu vòi hoa sen cacbua silic là phân phối đều khí phản ứng để đảm bảo hình thành màng đồng nhất trong quá trình xử lý.lắng đọng hơi hóa học (CVD)hoặclắng đọng hơi vật lý (PVD)quá trình. Do những đặc tính ưu việt của SiC như độ dẫn nhiệt cao và ổn định hóa học nên Đầu vòi sen SiC có thể hoạt động hiệu quả ở nhiệt độ cao, giảm sự không đồng đều của dòng khí trong quá trình hoạt động.quá trình lắng đọngvà do đó cải thiện chất lượng của lớp màng.

Đầu vòi hoa sen Silicon Carbide có thể phân phối đều khí phản ứng qua nhiều vòi phun có cùng khẩu độ, đảm bảo dòng khí đồng đều, tránh nồng độ cục bộ quá cao hoặc quá thấp, từ đó cải thiện chất lượng của màng. Kết hợp với khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời và tính ổn định hóa học củaCVD SiC, không có hạt hoặc chất gây ô nhiễm nào được giải phóng trong quá trìnhquá trình lắng đọng phim, điều này rất quan trọng để duy trì độ tinh khiết của màng lắng đọng.

Ngoài ra, một ưu điểm lớn khác của Đầu vòi hoa sen CVD SiC là khả năng chống biến dạng nhiệt. Tính năng này đảm bảo rằng thành phần có thể duy trì độ ổn định cấu trúc vật lý ngay cả trong môi trường nhiệt độ cao điển hình của quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) hoặc lắng đọng hơi vật lý (PVD). Độ ổn định giảm thiểu nguy cơ sai lệch hoặc hỏng hóc cơ học, từ đó cải thiện độ tin cậy và tuổi thọ của thiết bị tổng thể.

Là nhà sản xuất và cung cấp Đầu vòi hoa sen cacbua silic hàng đầu của Trung Quốc. Ưu điểm lớn nhất của Đầu vòi hoa sen cacbua silicon CVD bán dẫn VeTek là khả năng cung cấp các sản phẩm và dịch vụ kỹ thuật tùy chỉnh. Lợi thế dịch vụ tùy chỉnh của chúng tôi có thể đáp ứng các yêu cầu khác nhau của các khách hàng khác nhau về hoàn thiện bề mặt. Đặc biệt, nó hỗ trợ tùy chỉnh tinh tế các công nghệ xử lý và làm sạch hoàn thiện trong quá trình sản xuất.

Ngoài ra, thành bên trong lỗ chân lông của Đầu vòi sen cacbua silicon bán dẫn VeTek được xử lý cẩn thận để đảm bảo không có lớp hư hỏng còn sót lại, cải thiện hiệu suất tổng thể trong các điều kiện khắc nghiệt. Ngoài ra, Đầu vòi hoa sen CVD SiC của chúng tôi có thể đạt được khẩu độ tối thiểu 0,2 mm, từ đó đạt được độ chính xác phân phối khí tuyệt vời và duy trì dòng khí tối ưu cũng như hiệu ứng lắng đọng màng mỏng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn.

SEM DỮ LIỆU CỦACẤU TRÚC TINH THỂ PHIM CVD SIC：

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Tính chất vật lý cơ bản của CVD Lớp phủ SiC：

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC
Tài sản	Giá trị điển hình
Cấu trúc tinh thể	FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111)
Tỉ trọng	3,21 g/cm³
độ cứng	Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g)
kích thước hạt	2 ~ 10μm
Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
Công suất nhiệt	640 J·kg^-1·K^-1
Nhiệt độ thăng hoa	2700oC
Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
Mô-đun của Young	Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
Thermal Conductivity	300W·m^-1·K^-1
Mở rộng nhiệt (CTE)	4,5×10^-6K^-1