Trung Quốc Lớp phủ silicon cacbua Nhà sản xuất, nhà cung cấp, nhà máy

VeTek Semiconductor chuyên sản xuất các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua siêu tinh khiết, các lớp phủ này được thiết kế để ứng dụng cho các thành phần than chì, gốm sứ và kim loại chịu lửa tinh khiết.

Lớp phủ có độ tinh khiết cao của chúng tôi chủ yếu được nhắm mục tiêu sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử. Chúng đóng vai trò như một lớp bảo vệ cho các chất mang bán dẫn, chất nhạy cảm và bộ phận làm nóng, bảo vệ chúng khỏi môi trường ăn mòn và phản ứng gặp phải trong các quy trình như MOCVD và EPI. Các quy trình này là không thể thiếu trong quá trình xử lý wafer và sản xuất thiết bị. Ngoài ra, lớp phủ của chúng tôi rất phù hợp cho các ứng dụng trong lò chân không và gia nhiệt mẫu, nơi gặp phải môi trường chân không, phản ứng và oxy cao.

Tại VeTek Semiconductor, chúng tôi cung cấp giải pháp toàn diện với năng lực xưởng máy tiên tiến của mình. Điều này cho phép chúng tôi sản xuất các bộ phận cơ bản bằng cách sử dụng than chì, gốm sứ hoặc kim loại chịu lửa và áp dụng lớp phủ gốm SiC hoặc TaC ngay trong nhà. Chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ phủ cho các bộ phận do khách hàng cung cấp, đảm bảo tính linh hoạt để đáp ứng nhu cầu đa dạng.

Các sản phẩm Lớp phủ Silicon Carbide của chúng tôi được sử dụng rộng rãi trong epit Wax Si, epit Wax SiC, hệ thống MOCVD, quy trình RTP/RTA, quy trình khắc axit, quy trình khắc ICP/PSS, quy trình xử lý các loại đèn LED khác nhau, bao gồm đèn LED xanh dương và xanh lục, đèn LED UV và tia cực tím sâu LED, v.v., được điều chỉnh phù hợp với các thiết bị từ LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, v.v.

Các bộ phận lò phản ứng chúng ta có thể làm:

Lớp phủ silicon cacbua có một số ưu điểm độc đáo:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Thông số lớp phủ silicon cacbua bán dẫn VeTek

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC
Tài sản	Giá trị điển hình
Cấu trúc tinh thể	FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111)
Mật độ lớp phủ SiC	3,21 g/cm³
Lớp phủ SiC Độ cứng	Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g)
kích thước hạt	2 ~ 10μm
Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
Công suất nhiệt	640 J·kg^-1·K^-1
Nhiệt độ thăng hoa	2700oC
Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
Mô đun của Young	Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
Độ dẫn nhiệt	300W·m^-1·K^-1
Mở rộng nhiệt (CTE)	4,5×10-6K^-1

CẤU TRÚC TINH THỂ PHIM CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Chất nhạy cảm Epi được phủ silicon cacbua Chất mang wafer phủ SiC Vỏ vệ tinh phủ SiC cho MOCVD CVD SiC Lớp phủ wafer Epi nhạy cảm Bộ phận làm nóng lớp phủ CVD SiC Nhà cung cấp wafer vệ tinh Aixtron Bộ thu Epi phủ SiC Các bộ phận bằng than chì hình bán nguyệt được phủ SiC

View as

Đầu vòi hoa sen khí SiC rắn

Đầu sen khí SiC rắn đóng vai trò chính trong việc tạo ra sự đồng nhất khí trong quy trình CVD, từ đó đảm bảo làm nóng đồng đều bề mặt. VeTek Semiconductor đã tham gia sâu vào lĩnh vực thiết bị SiC rắn trong nhiều năm và có thể cung cấp cho khách hàng các Đầu vòi hoa sen khí SiC rắn tùy chỉnh. Cho dù yêu cầu của bạn là gì, chúng tôi rất mong nhận được yêu cầu của bạn.

Đọc thêm Gửi yêu cầu

Quá trình lắng đọng hơi hóa học Vòng cạnh SiC rắn

VeTek Semiconductor luôn cam kết nghiên cứu, phát triển và sản xuất vật liệu bán dẫn tiên tiến. Ngày nay, VeTek Semiconductor đã đạt được tiến bộ lớn trong các sản phẩm vòng cạnh SiC rắn và có thể cung cấp cho khách hàng các vòng cạnh SiC rắn tùy chỉnh cao. Các vòng cạnh SiC nguyên khối mang lại độ đồng nhất khắc tốt hơn và định vị wafer chính xác khi sử dụng với mâm cặp tĩnh điện, đảm bảo kết quả khắc nhất quán và đáng tin cậy. Rất mong nhận được câu hỏi của bạn và trở thành đối tác lâu dài của nhau.

Đọc thêm Gửi yêu cầu

Vòng lấy nét khắc SiC rắn

Vòng lấy nét khắc SiC rắn là một trong những thành phần cốt lõi của quá trình khắc wafer, đóng vai trò cố định wafer, tập trung plasma và cải thiện tính đồng nhất của quá trình khắc wafer. Là nhà sản xuất Vòng lấy nét SiC hàng đầu tại Trung Quốc, VeTek Semiconductor có công nghệ tiên tiến và quy trình hoàn thiện, đồng thời sản xuất Vòng lấy nét SiC khắc rắn đáp ứng đầy đủ nhu cầu của khách hàng cuối theo yêu cầu của khách hàng. Chúng tôi rất mong nhận được câu hỏi của bạn và trở thành đối tác lâu dài của nhau.

Đọc thêm Gửi yêu cầu

<...14 15 16 17 18 >

Là nhà sản xuất và nhà cung cấp Lớp phủ silicon cacbua chuyên nghiệp ở Trung Quốc, chúng tôi có nhà máy riêng. Cho dù bạn cần các dịch vụ tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu cụ thể trong khu vực của mình hay muốn mua Lớp phủ silicon cacbua cao cấp và bền bỉ được sản xuất tại Trung Quốc, bạn đều có thể để lại tin nhắn cho chúng tôi.