VeTek Semiconductor chuyên sản xuất các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua siêu tinh khiết, các lớp phủ này được thiết kế để ứng dụng cho các thành phần than chì, gốm sứ và kim loại chịu lửa tinh khiết.
Lớp phủ có độ tinh khiết cao của chúng tôi chủ yếu được nhắm mục tiêu sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn và điện tử. Chúng đóng vai trò như một lớp bảo vệ cho các chất mang bán dẫn, chất nhạy cảm và bộ phận làm nóng, bảo vệ chúng khỏi môi trường ăn mòn và phản ứng gặp phải trong các quy trình như MOCVD và EPI. Các quy trình này là không thể thiếu trong quá trình xử lý wafer và sản xuất thiết bị. Ngoài ra, lớp phủ của chúng tôi rất phù hợp cho các ứng dụng trong lò chân không và gia nhiệt mẫu, nơi gặp phải môi trường chân không, phản ứng và oxy cao.
Tại VeTek Semiconductor, chúng tôi cung cấp giải pháp toàn diện với năng lực xưởng máy tiên tiến của mình. Điều này cho phép chúng tôi sản xuất các bộ phận cơ bản bằng cách sử dụng than chì, gốm sứ hoặc kim loại chịu lửa và áp dụng lớp phủ gốm SiC hoặc TaC ngay trong nhà. Chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ phủ cho các bộ phận do khách hàng cung cấp, đảm bảo tính linh hoạt để đáp ứng nhu cầu đa dạng.
Các sản phẩm Lớp phủ silicon cacbua của chúng tôi được sử dụng rộng rãi trong epit Wax Si, epit Wax SiC, hệ thống MOCVD, quy trình RTP/RTA, quy trình khắc axit, quy trình khắc ICP/PSS, quy trình xử lý các loại đèn LED khác nhau, bao gồm đèn LED xanh lam và xanh lục, đèn LED UV và tia cực tím sâu LED, v.v., được điều chỉnh phù hợp với các thiết bị từ LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI, v.v.
Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC | |
Tài sản | Giá trị điển hình |
Cấu trúc tinh thể | FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111) |
Tỉ trọng | 3,21 g/cm³ |
độ cứng | Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g) |
kích thước hạt | 2 ~ 10μm |
Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
Công suất nhiệt | 640 J·kg-1·K-1 |
Nhiệt độ thăng hoa | 2700oC |
Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
Mô đun của Young | Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC |
Độ dẫn nhiệt | 300W·m-1·K-1 |
Mở rộng nhiệt (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Chất mang khắc ICP phủ SiC của VeTek Semiconductor được thiết kế cho các ứng dụng thiết bị epit Wax có yêu cầu khắt khe nhất. Được làm bằng vật liệu than chì siêu tinh khiết chất lượng cao, Chất mang khắc ICP phủ SiC của chúng tôi có bề mặt rất phẳng và khả năng chống ăn mòn tuyệt vời để chịu được các điều kiện khắc nghiệt trong quá trình xử lý. Độ dẫn nhiệt cao của chất mang được phủ SiC đảm bảo phân phối nhiệt đều cho kết quả ăn mòn tuyệt vời. VeTek Semiconductor mong muốn được xây dựng mối quan hệ hợp tác lâu dài với bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuTấm mang PSS khắc cho chất bán dẫn của VeTek Semiconductor là chất mang than chì siêu tinh khiết, chất lượng cao được thiết kế cho các quy trình xử lý tấm bán dẫn. Giá đỡ của chúng tôi có hiệu suất tuyệt vời và có thể hoạt động tốt trong môi trường khắc nghiệt, nhiệt độ cao và điều kiện làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Sản phẩm của chúng tôi được sử dụng rộng rãi ở nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ và chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và đổi mới hàng đầu về Chất cảm ứng ủ nhiệt nhanh tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về vật liệu phủ SiC trong nhiều năm. Chúng tôi cung cấp Chất cảm ứng ủ nhiệt nhanh với chất lượng cao, chịu nhiệt độ cao, siêu mỏng. Chúng tôi hoan nghênh bạn đến thăm của chúng tôi nhà máy ở Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp chuyên nghiệp, chuyên cung cấp Chất nhạy cảm Epiticular GaN dựa trên Silicon chất lượng cao. Chất bán dẫn có tính nhạy cảm được sử dụng trong hệ thống VEECO K465i GaN MOCVD, độ tinh khiết cao, chịu được nhiệt độ cao, chống ăn mòn, vui lòng liên hệ và hợp tác với chúng tôi!
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là Bộ phận bán nguyệt 8 inch hàng đầu dành cho nhà sản xuất và nhà đổi mới Lò phản ứng LPE ở Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về vật liệu phủ SiC trong nhiều năm. Chúng tôi cung cấp Bộ phận bán nguyệt 8 inch cho Lò phản ứng LPE được thiết kế đặc biệt cho lò phản ứng epit Wax LPE SiC. Bộ phận bán nguyệt này là một giải pháp linh hoạt và hiệu quả cho sản xuất chất bán dẫn với kích thước tối ưu, khả năng tương thích và năng suất cao. Chúng tôi chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi ở Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là Chất nhạy cảm bánh pancake phủ SiC hàng đầu dành cho nhà sản xuất và nhà đổi mới tấm wafer LPE PE3061S 6'' ở Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về vật liệu phủ SiC trong nhiều năm. Chúng tôi cung cấp chất nhạy cảm bánh pancake phủ SiC được thiết kế đặc biệt cho tấm wafer LPE PE3061S 6 inch . Chất nhạy cảm epiticular này có tính năng chống ăn mòn cao, hiệu suất dẫn nhiệt tốt, tính đồng nhất tốt. Chúng tôi chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi ở Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu