Lớp phủ cacbua độc đáo của VeTek Semiconductor cung cấp khả năng bảo vệ vượt trội cho các bộ phận than chì trong Quy trình Epit Wax SiC để xử lý các vật liệu bán dẫn tổng hợp và bán dẫn đòi hỏi khắt khe. Kết quả là tuổi thọ của thành phần than chì được kéo dài, bảo toàn tính năng cân bằng hóa học của phản ứng, ức chế sự di chuyển tạp chất đối với các ứng dụng tăng trưởng tinh thể và epitaxy, dẫn đến tăng năng suất và chất lượng.
Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) của chúng tôi bảo vệ các thành phần lò phản ứng và lò phản ứng quan trọng ở nhiệt độ cao (lên đến 2200°C) khỏi amoniac nóng, hydro, hơi silicon và kim loại nóng chảy. VeTek Semiconductor có nhiều khả năng xử lý và đo lường than chì để đáp ứng các yêu cầu tùy chỉnh của bạn, vì vậy chúng tôi có thể cung cấp lớp phủ trả phí hoặc dịch vụ đầy đủ, với đội ngũ kỹ sư chuyên gia của chúng tôi sẵn sàng thiết kế giải pháp phù hợp cho bạn và ứng dụng cụ thể của bạn .
Tinh thể bán dẫn phức hợp
VeTek Semiconductor có thể cung cấp lớp phủ TaC đặc biệt cho nhiều linh kiện và vật mang khác nhau. Thông qua quy trình phủ hàng đầu trong ngành của VeTek Semiconductor, lớp phủ TaC có thể đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định ở nhiệt độ cao và khả năng kháng hóa chất cao, nhờ đó cải thiện chất lượng sản phẩm của các lớp tinh thể TaC/GaN) và lớp EPl, đồng thời kéo dài tuổi thọ của các thành phần lò phản ứng quan trọng.
Chất cách nhiệt
Các thành phần tăng trưởng tinh thể SiC, GaN và AlN bao gồm nồi nấu kim loại, giá đỡ hạt giống, bộ làm lệch hướng và bộ lọc. Các bộ phận lắp ráp công nghiệp bao gồm các bộ phận làm nóng bằng điện trở, vòi phun, vòng chắn và thiết bị hàn, các bộ phận lò phản ứng CVD epiticular GaN và SiC bao gồm các chất mang wafer, khay vệ tinh, đầu vòi hoa sen, nắp và bệ, các bộ phận MOCVD.
Chất mang wafer LED (Điốt phát sáng)
Bộ thu ALD (Bán dẫn)
Receptor EPI (Quy trình Epit Wax SiC)
Bộ cảm biến vệ tinh được phủ TaC Vòng & vòng cảm ứng lớp phủ TaC Bộ phận phủ TaC Các bộ phận Halfmoon có lớp phủ TaC
SiC | TaC | |
Những đặc điểm chính | Độ tinh khiết cực cao, kháng Plasma tuyệt vời | Độ ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời (phù hợp quy trình nhiệt độ cao) |
độ tinh khiết | >99,9999% | >99,9999% |
Mật độ (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Độ cứng (kg/mm2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Điện trở suất [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Độ dẫn nhiệt (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Hệ số giãn nở nhiệt (10-6/oC) | 4,5-5 | 6.3 |
Ứng dụng | Thiết bị bán dẫn Đồ gá gốm (Vòng lấy nét, Đầu vòi hoa sen, Tấm wafer giả) | SiC Tăng trưởng tinh thể đơn, Epi, UV LED |
VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến hàng đầu về Lớp phủ Tantalum Carbide tại Trung Quốc. Chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các sản phẩm cacbua tantalum có độ tinh khiết cao, chịu được nhiệt độ cao. Lớp phủ cacbua tantalum của chúng tôi có hiệu suất và độ tin cậy tuyệt vời, đồng thời có thể bảo vệ vật liệu một cách hiệu quả trong môi trường ăn mòn và nhiệt độ cực cao. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVòng làm lệch hướng được phủ TaC của VeTek Semiconductor là một thành phần chuyên dụng cao được thiết kế cho các quá trình phát triển tinh thể SiC. Lớp phủ TaC cung cấp khả năng chịu nhiệt độ cao và độ trơ hóa học tuyệt vời để đối phó với nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn trong quá trình phát triển tinh thể. Điều này đảm bảo hiệu suất ổn định và tuổi thọ dài của linh kiện, giảm tần suất thay thế và thời gian ngừng hoạt động. Chúng tôi cam kết cung cấp sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh và mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất bán dẫn VeTek là Vòng phủ TaC quy mô lớn dành cho nhà sản xuất và nhà cải tiến Lò phản ứng Epiticular SiC ở Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ TaC trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi có độ tinh khiết cao, độ ổn định cao, khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, độ bền liên kết cao. Chúng tôi nhìn mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuChất bán dẫn VeTek là Bộ phận bán nguyệt được phủ Tantalum cacbua quy mô lớn dành cho nhà sản xuất và nhà đổi mới LPE ở Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ TaC trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi có thể chịu được nhiệt độ trên 2000 độ C, kéo dài tuổi thọ của vật tư tiêu hao. Chúng tôi rất mong chờ để trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến Đĩa quay hành tinh phủ Tantalum Carbide hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về phủ gốm trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi có độ tinh khiết cao và khả năng chịu nhiệt độ cao. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn trong lĩnh vực này Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu