Lớp phủ cacbua độc đáo của VeTek Semiconductor cung cấp khả năng bảo vệ vượt trội cho các bộ phận than chì trong Quy trình Epit Wax SiC để xử lý các vật liệu bán dẫn tổng hợp và bán dẫn đòi hỏi khắt khe. Kết quả là tuổi thọ của thành phần than chì được kéo dài, bảo toàn tính năng cân bằng hóa học của phản ứng, ức chế sự di chuyển tạp chất đối với các ứng dụng tăng trưởng tinh thể và epitaxy, dẫn đến tăng năng suất và chất lượng.
Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) của chúng tôi bảo vệ các thành phần lò phản ứng và lò phản ứng quan trọng ở nhiệt độ cao (lên đến 2200°C) khỏi amoniac nóng, hydro, hơi silicon và kim loại nóng chảy. VeTek Semiconductor có nhiều khả năng xử lý và đo lường than chì để đáp ứng các yêu cầu tùy chỉnh của bạn, vì vậy chúng tôi có thể cung cấp lớp phủ trả phí hoặc dịch vụ đầy đủ, với đội ngũ kỹ sư chuyên gia của chúng tôi sẵn sàng thiết kế giải pháp phù hợp cho bạn và ứng dụng cụ thể của bạn .
Tinh thể bán dẫn phức hợp
VeTek Semiconductor có thể cung cấp lớp phủ TaC đặc biệt cho nhiều linh kiện và vật mang khác nhau. Thông qua quy trình phủ hàng đầu trong ngành của VeTek Semiconductor, lớp phủ TaC có thể đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định ở nhiệt độ cao và khả năng kháng hóa chất cao, nhờ đó cải thiện chất lượng sản phẩm của các lớp tinh thể TaC/GaN) và lớp EPl, đồng thời kéo dài tuổi thọ của các thành phần lò phản ứng quan trọng.
Chất cách nhiệt
Các thành phần tăng trưởng tinh thể SiC, GaN và AlN bao gồm nồi nấu kim loại, giá đỡ hạt giống, bộ làm lệch hướng và bộ lọc. Các bộ phận lắp ráp công nghiệp bao gồm các bộ phận làm nóng bằng điện trở, vòi phun, vòng chắn và thiết bị hàn, các bộ phận lò phản ứng CVD epiticular GaN và SiC bao gồm các chất mang wafer, khay vệ tinh, đầu vòi hoa sen, nắp và bệ, các bộ phận MOCVD.
Chất mang wafer LED (Điốt phát sáng)
Bộ thu ALD (Bán dẫn)
Receptor EPI (Quy trình Epit Wax SiC)
Bộ cảm biến vệ tinh được phủ TaC Vòng & vòng cảm ứng lớp phủ TaC Bộ phận phủ TaC Các bộ phận Halfmoon có lớp phủ TaC
SiC | TaC | |
Những đặc điểm chính | Độ tinh khiết cực cao, kháng Plasma tuyệt vời | Độ ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời (phù hợp quy trình nhiệt độ cao) |
độ tinh khiết | >99,9999% | >99,9999% |
Mật độ (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Độ cứng (kg/mm2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Điện trở suất [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Độ dẫn nhiệt (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Hệ số giãn nở nhiệt (10-6/oC) | 4,5-5 | 6.3 |
Ứng dụng | Thiết bị bán dẫn Đồ gá gốm (Vòng lấy nét, Đầu vòi hoa sen, Tấm wafer giả) | SiC Tăng trưởng tinh thể đơn, Epi, UV LED |
VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến Vòng ba cánh được phủ TaC hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ TaC và SiC trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi có khả năng chống ăn mòn, độ bền cao. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến Chuck phủ Tantalum Carbide hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ TaC trong nhiều năm. Các sản phẩm của chúng tôi có độ tinh khiết cao và khả năng chịu nhiệt độ cao lên đến 2000oC. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn đối tác ở Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cải tiến Vỏ phủ Tantalum Carbide hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ TaC và SiC trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi có khả năng chống ăn mòn, độ bền cao. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà cung cấp hàng đầu về Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon tùy chỉnh tại Trung Quốc, chuyên về các vật liệu tiên tiến trong nhiều năm. Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon của chúng tôi được thiết kế đặc biệt cho thiết bị epiticular SiC, đảm bảo hiệu suất tuyệt vời. Được làm từ than chì nhập khẩu siêu tinh khiết, nó mang lại độ tin cậy và độ bền. Hãy ghé thăm nhà máy của chúng tôi ở Trung Quốc để tận mắt khám phá Ultra Pure Graphite Lower Halfmoon chất lượng cao của chúng tôi.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà cung cấp hàng đầu về SiC phần Upper Halfmoon tùy chỉnh được phủ ở Trung Quốc, chuyên về các vật liệu tiên tiến trong hơn 20 năm. Lớp phủ SiC phần trên Halfmoon bán dẫn VeTek được thiết kế đặc biệt cho thiết bị epiticular SiC, đóng vai trò là thành phần quan trọng trong buồng phản ứng. Được làm từ than chì bán dẫn siêu tinh khiết, nó đảm bảo hiệu suất tuyệt vời. Chúng tôi mời bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi ở Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà cung cấp Tấm lót bán dẫn Epit Wax Silicon Carbide tùy chỉnh hàng đầu tại Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về vật liệu tiên tiến hơn 20 năm. Chúng tôi cung cấp Chất mang tấm wafer Epit Wax Silicon Carbide để vận chuyển chất nền SiC, phát triển lớp epit Wax SiC trong lò phản ứng epiticular SiC. Chất mang wafer Epit Wax Silicon Carbide này là một bộ phận được phủ SiC quan trọng của bộ phận bán nguyệt, chịu nhiệt độ cao, chống oxy hóa, chống mài mòn. Chúng tôi chào đón bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi ở Trung Quốc.
Đọc thêmGửi yêu cầu