Vòng làm lệch hướng được phủ TaC của VeTek Semiconductor là một thành phần chuyên dụng cao được thiết kế cho các quá trình phát triển tinh thể SiC. Lớp phủ TaC cung cấp khả năng chịu nhiệt độ cao và độ trơ hóa học tuyệt vời để đối phó với nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn trong quá trình phát triển tinh thể. Điều này đảm bảo hiệu suất ổn định và tuổi thọ dài của linh kiện, giảm tần suất thay thế và thời gian ngừng hoạt động. Chúng tôi cam kết cung cấp sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh và mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp Vòng làm lệch hướng phủ TaC chuyên nghiệp của Trung Quốc. Vòng làm lệch hướng phủ TaC của chúng tôi là các thành phần chuyên dụng cao được thiết kế để sử dụng trong các quá trình tăng trưởng tinh thể SiC. Những thành phần này rất quan trọng trong môi trường đòi hỏi khả năng chịu nhiệt độ cao, độ bền vượt trội và độ trơ hóa học chưa từng có.
Vòng làm lệch hướng được phủ TaC được sản xuất từ cacbua Tantalum có độ tinh khiết cao, mang lại khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời và khả năng chống chịu nhiệt độ cao cũng như sốc nhiệt cực cao. Lớp phủ TaC của thành phần này cung cấp thêm một lớp bảo vệ chống lại các hóa chất mạnh và môi trường khắc nghiệt thường gặp trong quá trình phát triển tinh thể. Sự hiện diện của lớp phủ làm tăng độ bền và tuổi thọ của bộ phận, duy trì hiệu suất ổn định qua nhiều chu kỳ.
Vòng làm lệch hướng được phủ TaC có thể chịu được nhiệt độ lên tới 2200°C, khiến nó trở nên lý tưởng cho các quy trình ở nhiệt độ cao. Vòng làm lệch hướng được phủ TaC chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, đặc biệt để phát triển tinh thể cacbua silic. Thích hợp cho cả lò phản ứng tăng trưởng tinh thể quy mô nghiên cứu và quy mô công nghiệp.
Tính chất vật lý của lớp phủ TaC | |
Tỉ trọng | 14,3 (g/cm³) |
Độ phát xạ cụ thể | 0.3 |
Hệ số giãn nở nhiệt | 6,3 10-6/K |
Độ cứng (HK) | 2000 HK |
Sức chống cự | 1×10-5 Ôm*cm |
Ổn định nhiệt | <2500oC |
Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
độ dày lớp phủ | ≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |