Chất bán dẫn VeTek là Bộ phận bán nguyệt được phủ Tantalum cacbua quy mô lớn dành cho nhà sản xuất và nhà đổi mới LPE ở Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về lớp phủ TaC trong nhiều năm. Sản phẩm của chúng tôi có thể chịu được nhiệt độ trên 2000 độ C, kéo dài tuổi thọ của vật tư tiêu hao. Chúng tôi rất mong chờ để trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Với tư cách là nhà sản xuất chuyên nghiệp, VeTek Semiconductor mong muốn cung cấp cho bạn Bộ phận bán nguyệt được phủ Tantalum Carbide chất lượng cao cho LPE.
VeTek Semiconductor là nhà sản xuất SiC, lớp phủ TaC, SiC rắn chuyên nghiệp hàng đầu Trung Quốc với chất lượng cao và giá cả hợp lý. Bộ phận bán nguyệt được phủ Tantalum Carbide của chúng tôi cho LPE được sử dụng trong buồng phản ứng của thiết bị epit Wax ngang và dọc để vận chuyển chất nền, kiểm soát nhiệt độ, nhiệt bảo quản, thông gió, bảo vệ và các chức năng khác, để cùng kiểm soát độ dày, độ pha tạp, khuyết tật và các đặc tính vật liệu khác của sự phát triển lớp epitaxy SiC bên trong buồng phản ứng.
Các sản phẩm liên quan đến Bán dẫn VeTek: nửa mặt trăng trên, nửa mặt trăng dưới, vỏ bảo vệ, vỏ cách điện, giao diện chuyển hướng không khí xử lý. Công ty chúng tôi cam kết cung cấp cho khách hàng đầy đủ các giải pháp linh kiện buồng phản ứng được phủ SiC và TaC.
Tính chất vật lý của lớp phủ TaC | |
Tỉ trọng | 14,3 (g/cm³) |
Độ phát xạ cụ thể | 0.3 |
Hệ số giãn nở nhiệt | 6,3 10-6/K |
Độ cứng (HK) | 2000 HK |
Sức chống cự | 1×10-5 Ôm*cm |
Ổn định nhiệt | <2500oC |
Thay đổi kích thước than chì | -10~-20um |
độ dày lớp phủ | ≥20um giá trị điển hình (35um±10um) |