Lớp phủ cacbua độc đáo của VeTek Semiconductor cung cấp khả năng bảo vệ vượt trội cho các bộ phận than chì trong Quy trình Epit Wax SiC để xử lý các vật liệu bán dẫn tổng hợp và bán dẫn đòi hỏi khắt khe. Kết quả là tuổi thọ của thành phần than chì được kéo dài, bảo toàn tính năng cân bằng hóa học của phản ứng, ức chế sự di chuyển tạp chất đối với các ứng dụng tăng trưởng tinh thể và epitaxy, dẫn đến tăng năng suất và chất lượng.
Lớp phủ cacbua tantalum (TaC) của chúng tôi bảo vệ các thành phần lò phản ứng và lò phản ứng quan trọng ở nhiệt độ cao (lên đến 2200°C) khỏi amoniac nóng, hydro, hơi silicon và kim loại nóng chảy. VeTek Semiconductor có nhiều khả năng xử lý và đo lường than chì để đáp ứng các yêu cầu tùy chỉnh của bạn, vì vậy chúng tôi có thể cung cấp lớp phủ trả phí hoặc dịch vụ đầy đủ, với đội ngũ kỹ sư chuyên gia của chúng tôi sẵn sàng thiết kế giải pháp phù hợp cho bạn và ứng dụng cụ thể của bạn .
Tinh thể bán dẫn phức hợp
VeTek Semiconductor có thể cung cấp lớp phủ TaC đặc biệt cho nhiều linh kiện và vật mang khác nhau. Thông qua quy trình phủ hàng đầu trong ngành của VeTek Semiconductor, lớp phủ TaC có thể đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định ở nhiệt độ cao và khả năng kháng hóa chất cao, nhờ đó cải thiện chất lượng sản phẩm của các lớp tinh thể TaC/GaN) và lớp EPl, đồng thời kéo dài tuổi thọ của các thành phần lò phản ứng quan trọng.
Chất cách nhiệt
Các thành phần tăng trưởng tinh thể SiC, GaN và AlN bao gồm nồi nấu kim loại, giá đỡ hạt giống, bộ làm lệch hướng và bộ lọc. Các bộ phận lắp ráp công nghiệp bao gồm các bộ phận làm nóng bằng điện trở, vòi phun, vòng chắn và thiết bị hàn, các bộ phận lò phản ứng CVD epiticular GaN và SiC bao gồm các chất mang wafer, khay vệ tinh, đầu vòi hoa sen, nắp và bệ, các bộ phận MOCVD.
Chất mang wafer LED (Điốt phát sáng)
Bộ thu ALD (Bán dẫn)
Receptor EPI (Quy trình Epit Wax SiC)
Bộ cảm biến vệ tinh được phủ TaC Vòng & vòng cảm ứng lớp phủ TaC Bộ phận phủ TaC Các bộ phận Halfmoon có lớp phủ TaC
SiC | TaC | |
Những đặc điểm chính | Độ tinh khiết cực cao, kháng Plasma tuyệt vời | Độ ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời (phù hợp quy trình nhiệt độ cao) |
độ tinh khiết | >99,9999% | >99,9999% |
Mật độ (g/cm3) | 3.21 | 15 |
Độ cứng (kg/mm2) | 2900-3300 | 6,7-7,2 |
Điện trở suất [Ωcm] | 0,1-15.000 | <1 |
Độ dẫn nhiệt (W/m-K) | 200-360 | 22 |
Hệ số giãn nở nhiệt (10-6/oC) | 4,5-5 | 6.3 |
Ứng dụng | Thiết bị bán dẫn Đồ gá gốm (Vòng lấy nét, Đầu vòi hoa sen, Tấm wafer giả) | SiC Tăng trưởng tinh thể đơn, Epi, UV LED |
Là nhà sản xuất và sản xuất tiên tiến các sản phẩm Vòng cacbua Tantalum ở Trung Quốc, Vòng cacbua Tantalum bán dẫn VeTek có độ cứng cực cao, chống mài mòn, chịu nhiệt độ cao và ổn định hóa học và được sử dụng rộng rãi trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn. Đặc biệt trong CVD, PVD, quy trình cấy ion, quy trình ăn mòn, xử lý và vận chuyển wafer, nó là sản phẩm không thể thiếu trong quá trình gia công và sản xuất chất bán dẫn. Rất mong nhận được sự tư vấn thêm của bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuLà nhà sản xuất và nhà máy sản xuất sản phẩm Hỗ trợ lớp phủ cacbua Tantalum chuyên nghiệp tại Trung Quốc, Chất hỗ trợ lớp phủ Tantalum cacbua bán dẫn VeTek thường được sử dụng để phủ bề mặt các bộ phận cấu trúc hoặc các bộ phận hỗ trợ trong thiết bị bán dẫn, đặc biệt là để bảo vệ bề mặt của các thành phần thiết bị chính trong quy trình sản xuất chất bán dẫn như CVD và PVD. Chào mừng bạn tư vấn thêm.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất chuyên nghiệp và dẫn đầu về các sản phẩm Vòng dẫn hướng Tantalum Carbide tại Trung Quốc. Vòng dẫn hướng Tantalum Carbide (TaC) của chúng tôi là thành phần vòng hiệu suất cao được làm bằng cacbua tantalum, thường được sử dụng trong thiết bị xử lý chất bán dẫn, đặc biệt là trong môi trường nhiệt độ cao và có tính ăn mòn cao như CVD, PVD, khắc và khuếch tán. VeTek Semiconductor cam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành bán dẫn và hoan nghênh các yêu cầu tiếp theo của bạn.
Đọc thêmGửi yêu cầuLà nhà sản xuất, nhà đổi mới và dẫn đầu chuyên nghiệp về các sản phẩm Chất cảm ứng xoay lớp phủ TaC tại Trung Quốc. Chất cảm biến xoay lớp phủ TaC bán dẫn VeTek thường được lắp đặt trong thiết bị lắng đọng hơi hóa học (CVD) và epit Wax chùm phân tử (MBE) để hỗ trợ và xoay các tấm bán dẫn nhằm đảm bảo lắng đọng vật liệu đồng đều và phản ứng hiệu quả. Nó là một thành phần quan trọng trong xử lý chất bán dẫn. Chào mừng bạn tư vấn thêm.
Đọc thêmGửi yêu cầuVeTek Semiconductor là nhà sản xuất chuyên nghiệp và dẫn đầu về các sản phẩm Nồi nấu kim loại phủ CVD TaC tại Trung Quốc. Lớp phủ CVD TaC Crucible được làm từ lớp phủ tantalum carbon (TaC). Lớp phủ carbon tantalum được phủ đều trên bề mặt nồi nấu kim loại thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) để tăng cường khả năng chịu nhiệt và chống ăn mòn. Nó là một công cụ vật liệu được sử dụng đặc biệt trong môi trường khắc nghiệt ở nhiệt độ cao. Chào mừng bạn tư vấn thêm.
Đọc thêmGửi yêu cầuLà nhà sản xuất và nhà máy sản xuất sản phẩm tấm wafer phủ CVD TaC chuyên nghiệp tại Trung Quốc, VeTek Semiconductor CVD TaC Coating wafer Carrier là một công cụ mang wafer được thiết kế đặc biệt cho môi trường ăn mòn và nhiệt độ cao trong sản xuất chất bán dẫn. và Chất mang wafer phủ lớp phủ CVD TaC có độ bền cơ học cao, khả năng chống ăn mòn và ổn định nhiệt tuyệt vời, mang lại sự đảm bảo cần thiết cho việc sản xuất các thiết bị bán dẫn chất lượng cao. Yêu cầu thêm của bạn đều được chào đón.
Đọc thêmGửi yêu cầu