CVD SiC là vật liệu cacbua silic có độ tinh khiết cao được sản xuất bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học. Nó chủ yếu được sử dụng cho các thành phần và lớp phủ khác nhau trong thiết bị xử lý chất bán dẫn. Nội dung sau đây giới thiệu về phân loại sản phẩm và chức năng cốt lõi của CVD SiC
Đọc thêmTrong ngành sản xuất chất bán dẫn, khi kích thước thiết bị tiếp tục thu hẹp, công nghệ lắng đọng vật liệu màng mỏng đã đặt ra những thách thức chưa từng có. Lắng đọng lớp nguyên tử (ALD), là một công nghệ lắng đọng màng mỏng có thể đạt được sự kiểm soát chính xác ở cấp độ nguyên tử, đã trở thành một......
Đọc thêmĐó là lý tưởng để xây dựng các mạch tích hợp hoặc thiết bị bán dẫn trên một lớp cơ sở tinh thể hoàn hảo. Quá trình epit Wax (epi) trong sản xuất chất bán dẫn nhằm mục đích tạo ra một lớp đơn tinh thể mịn, thường khoảng 0,5 đến 20 micron, trên chất nền đơn tinh thể. Quá trình epit Wax là một bước qua......
Đọc thêmSự khác biệt chính giữa lắng đọng lớp epitaxy và lớp nguyên tử (ALD) nằm ở cơ chế phát triển màng và điều kiện hoạt động của chúng. Epitaxy đề cập đến quá trình phát triển một màng mỏng tinh thể trên chất nền tinh thể với mối quan hệ định hướng cụ thể, duy trì cấu trúc tinh thể giống nhau hoặc tương......
Đọc thêm