Trang chủ > Tin tức > Công nghiệp Tin tức

Bạn có biết về chất nhạy cảm MOCVD không?

2024-08-15

Trong quy trình lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD), chất tiếp âm là thành phần chính chịu trách nhiệm hỗ trợ tấm bán dẫn và đảm bảo tính đồng nhất cũng như kiểm soát chính xác của quá trình lắng đọng. Việc lựa chọn vật liệu và đặc tính sản phẩm của nó ảnh hưởng trực tiếp đến tính ổn định của quá trình epiticular và chất lượng của sản phẩm.



Bộ chấp nhận MOCVD(Lắng đọng hơi hóa chất hữu cơ-kim loại) là một thành phần quy trình quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn. Nó chủ yếu được sử dụng trong quy trình MOCVD (Lắng đọng hơi hóa học hữu cơ-kim loại) để hỗ trợ và làm nóng tấm bán dẫn để lắng đọng màng mỏng. Việc thiết kế và lựa chọn vật liệu của bộ phận tiếp nhận là rất quan trọng đối với tính đồng nhất, hiệu quả và chất lượng của sản phẩm cuối cùng.


Loại sản phẩm và lựa chọn vật liệu:

Thiết kế và lựa chọn vật liệu của Chất nhạy cảm MOCVD rất đa dạng, thường được xác định bởi yêu cầu của quy trình và điều kiện phản ứng.Sau đây là các loại sản phẩm phổ biến và vật liệu của chúng:


Chất nhạy cảm phủ SiC(Chất nhạy cảm được phủ silicon cacbua):

Mô tả: Chất cảm ứng có lớp phủ SiC, với than chì hoặc các vật liệu nhiệt độ cao khác làm chất nền và lớp phủ CVD SiC (Lớp phủ CVD SiC) trên bề mặt để cải thiện khả năng chống mài mòn và chống ăn mòn.

Ứng dụng: Được sử dụng rộng rãi trong các quy trình MOCVD ở nhiệt độ cao và môi trường khí có tính ăn mòn cao, đặc biệt là trong lắng đọng chất bán dẫn silicon và hợp chất bán dẫn.


Chất cảm ứng phủ TaC:

Mô tả: Chất cảm ứng với lớp phủ TaC (CVD TaC Coating) làm vật liệu chính có độ cứng và độ ổn định hóa học cực cao, thích hợp sử dụng trong môi trường có tính ăn mòn cực cao.

Ứng dụng: Được sử dụng trong các quy trình MOCVD đòi hỏi khả năng chống ăn mòn và độ bền cơ học cao hơn, chẳng hạn như sự lắng đọng của gali nitrit (GaN) và gali arsenua (GaAs).



Chất nhạy cảm than chì phủ silicon cacbua cho MOCVD:

Mô tả: Chất nền là than chì, bề mặt được phủ một lớp phủ CVD SiC để đảm bảo độ ổn định và tuổi thọ cao ở nhiệt độ cao.

Ứng dụng: Thích hợp sử dụng trong các thiết bị như lò phản ứng Aixtron MOCVD để sản xuất vật liệu bán dẫn phức hợp chất lượng cao.


Thụ thể EPI (Thụ thể Epitaxy):

Mô tả: Chất nhạy cảm được thiết kế đặc biệt cho quá trình tăng trưởng epiticular, thường có lớp phủ SiC hoặc lớp phủ TaC để tăng cường độ dẫn nhiệt và độ bền.

Ứng dụng: Trong epit Wax silicon và epit Wax bán dẫn hỗn hợp, nó được sử dụng để đảm bảo sự gia nhiệt và lắng đọng đồng đều của các tấm bán dẫn.


Vai trò chính của Chất nhạy cảm đối với MOCVD trong xử lý chất bán dẫn:


Hỗ trợ wafer và sưởi ấm đồng đều:

Chức năng: Chất cảm ứng được sử dụng để hỗ trợ các tấm bán dẫn trong lò phản ứng MOCVD và cung cấp sự phân bổ nhiệt đồng đều thông qua gia nhiệt cảm ứng hoặc các phương pháp khác để đảm bảo sự lắng đọng màng đồng đều.


Dẫn nhiệt và ổn định:

Chức năng: Độ dẫn nhiệt và độ ổn định nhiệt của vật liệu nhạy cảm là rất quan trọng. Chất nhạy cảm được phủ SiC và Chất cảm ứng được phủ TaC có thể duy trì sự ổn định trong các quá trình nhiệt độ cao nhờ tính dẫn nhiệt cao và khả năng chịu nhiệt độ cao, tránh các khuyết tật màng do nhiệt độ không đồng đều.


Chống ăn mòn và tuổi thọ cao:

Chức năng: Trong quy trình MOCVD, Chất nhạy cảm tiếp xúc với nhiều loại khí tiền chất hóa học khác nhau. Lớp phủ SiC và Lớp phủ TaC mang lại khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, giảm sự tương tác giữa bề mặt vật liệu và khí phản ứng, đồng thời kéo dài tuổi thọ của Thiết bị cảm biến.


Tối ưu hóa môi trường phản ứng:

Chức năng: Bằng cách sử dụng Chất cảm ứng chất lượng cao, dòng khí và trường nhiệt độ trong lò phản ứng MOCVD được tối ưu hóa, đảm bảo quá trình lắng đọng màng đồng nhất và cải thiện năng suất cũng như hiệu suất của thiết bị. Nó thường được sử dụng trong Chất cảm ứng cho Lò phản ứng MOCVD và thiết bị Aixtron MOCVD.


Tính năng sản phẩm và lợi thế kỹ thuật


Độ dẫn nhiệt cao và ổn định nhiệt:

Tính năng: Chất cảm ứng được phủ SiC và TaC có độ dẫn nhiệt cực cao, có thể phân phối nhiệt nhanh chóng và đồng đều, đồng thời duy trì độ ổn định cấu trúc ở nhiệt độ cao để đảm bảo làm nóng đồng đều các tấm bán dẫn.

Ưu điểm: Thích hợp cho các quy trình MOCVD yêu cầu kiểm soát nhiệt độ chính xác, chẳng hạn như tăng trưởng epiticular của chất bán dẫn hỗn hợp như gali nitrit (GaN) và gali arsenua (GaAs).


Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời:

Đặc điểm: Lớp phủ CVD SiC và Lớp phủ CVD TaC có độ trơ hóa học cực cao và có thể chống lại sự ăn mòn từ các loại khí có tính ăn mòn cao như clorua và florua, bảo vệ bề mặt của Chất nhạy cảm khỏi bị hư hại.

Ưu điểm: Kéo dài tuổi thọ của Susceptor, giảm tần suất bảo trì và nâng cao hiệu quả tổng thể của quy trình MOCVD.


Độ bền và độ cứng cơ học cao:

Tính năng: Độ cứng và độ bền cơ học cao của lớp phủ SiC và TaC cho phép Susceptor chịu được ứng suất cơ học trong môi trường nhiệt độ và áp suất cao, đồng thời duy trì độ ổn định và độ chính xác lâu dài.

Ưu điểm: Đặc biệt thích hợp cho các quy trình sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi độ chính xác cao, chẳng hạn như tăng trưởng epiticular và lắng đọng hơi hóa học.



Triển vọng ứng dụng và phát triển thị trường


Chất nhạy cảm MOCVDđược sử dụng rộng rãi trong sản xuất đèn LED có độ sáng cao, thiết bị điện tử công suất (như HEMT dựa trên GaN), pin mặt trời và các thiết bị quang điện tử khác. Với nhu cầu ngày càng tăng về các thiết bị bán dẫn có hiệu suất cao hơn và mức tiêu thụ điện năng thấp hơn, công nghệ MOCVD tiếp tục phát triển, thúc đẩy sự đổi mới về vật liệu và thiết kế Susceptor. Ví dụ: phát triển công nghệ phủ SiC với độ tinh khiết cao hơn và mật độ khuyết tật thấp hơn, đồng thời tối ưu hóa thiết kế cấu trúc của Susceptor để thích ứng với các tấm wafer lớn hơn và các quy trình epiticular nhiều lớp phức tạp hơn.


Công ty TNHH Công nghệ bán dẫn VeTek là nhà cung cấp hàng đầu các vật liệu phủ tiên tiến cho ngành bán dẫn. công ty chúng tôi tập trung phát triển các giải pháp tiên tiến cho ngành.


Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm lớp phủ cacbua silic CVD (SiC), lớp phủ cacbua tantalum (TaC), SiC số lượng lớn, bột SiC và vật liệu SiC có độ tinh khiết cao, chất nhạy cảm than chì được phủ SiC, vòng gia nhiệt trước, vòng chuyển hướng được phủ TaC, các bộ phận bán nguyệt, v.v. ., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.


Chất bán dẫn VeTek tập trung phát triển các giải pháp phát triển sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành bán dẫn. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept