Lớp phủ TaC là gì?

Lớp phủ TaC (Lớp phủ Tantalum cacbua) là vật liệu phủ hiệu suất cao được sản xuất bằng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD). Do đặc tính tuyệt vời của lớp phủ TaC trong điều kiện khắc nghiệt nên nó được sử dụng rộng rãi trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong các thiết bị và linh kiện đòi hỏi nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn mạnh. Lớp phủ TaC thường được sử dụng để bảo vệ các chất nền (như than chì hoặc gốm sứ) khỏi bị hư hại do nhiệt độ cao, khí ăn mòn và mài mòn cơ học.

Tính năng và ưu điểm của sản phẩm

Độ ổn định nhiệt cực cao:

Mô tả tính năng: Lớp phủ TaC có nhiệt độ nóng chảy trên 3880°C và có thể duy trì sự ổn định mà không bị phân hủy hay biến dạng trong môi trường nhiệt độ cực cao.

Ưu điểm: Điều này làm cho nó trở thành vật liệu không thể thiếu trong các thiết bị bán dẫn nhiệt độ cao như Lớp phủ CVD TaC và Chất cảm ứng được phủ TaC, đặc biệt đối với các ứng dụng trong lò phản ứng MOCVD, chẳng hạn như thiết bị Aixtron G5.

Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời:

Mô tả tính năng: TaC có độ trơ hóa học cực kỳ mạnh và có thể chống lại sự ăn mòn của các khí ăn mòn như clorua và florua một cách hiệu quả.

Ưu điểm: Trong các quy trình bán dẫn liên quan đến các hóa chất có tính ăn mòn cao, Lớp phủ TaC bảo vệ các thành phần thiết bị khỏi sự tấn công của hóa chất, kéo dài tuổi thọ sử dụng và cải thiện độ ổn định của quy trình, đặc biệt là trong ứng dụng Thuyền bán dẫn silicon cacbua và các thành phần quan trọng khác.

Độ cứng cơ học tuyệt vời:

Mô tả tính năng: Độ cứng của lớp phủ TaC cao tới 9-10 Mohs, giúp nó có khả năng chống mài mòn cơ học và ứng suất nhiệt độ cao.

Ưu điểm: Đặc tính độ cứng cao giúp Lớp phủ TaC đặc biệt thích hợp để sử dụng trong môi trường có độ mài mòn cao và ứng suất cao, đảm bảo độ ổn định và độ tin cậy lâu dài của thiết bị trong điều kiện khắc nghiệt.

Khả năng phản ứng hóa học thấp:

Mô tả tính năng: Do tính trơ về mặt hóa học, Lớp phủ TaC có thể duy trì độ phản ứng thấp trong môi trường nhiệt độ cao và tránh các phản ứng hóa học không cần thiết với khí phản ứng.

Ưu điểm: Điều này đặc biệt quan trọng trong quy trình sản xuất chất bán dẫn vì nó đảm bảo độ tinh khiết của môi trường quy trình và sự lắng đọng vật liệu chất lượng cao.

Vai trò của lớp phủ TaC trong xử lý chất bán dẫn

Bảo vệ các bộ phận thiết bị quan trọng:

Mô tả chức năng: Lớp phủ TaC được sử dụng rộng rãi trong các thành phần chính của thiết bị sản xuất chất bán dẫn, chẳng hạn như Chất cảm ứng được phủ TaC, cần hoạt động trong các điều kiện khắc nghiệt. Bằng cách phủ TaC, các bộ phận này có thể hoạt động trong thời gian dài ở nhiệt độ cao và môi trường khí ăn mòn mà không bị hư hỏng.

Kéo dài tuổi thọ thiết bị:

Mô tả chức năng: Trong các thiết bị MOCVD như Aixtron G5, Lớp phủ TaC có thể cải thiện đáng kể độ bền của các bộ phận thiết bị và giảm nhu cầu bảo trì và thay thế thiết bị do ăn mòn và mài mòn.

Tăng cường sự ổn định của quá trình:

Mô tả chức năng: Trong sản xuất chất bán dẫn, Lớp phủ TaC đảm bảo tính đồng nhất và nhất quán của quá trình lắng đọng bằng cách cung cấp môi trường hóa học và nhiệt độ cao ổn định. Điều này đặc biệt quan trọng trong các quá trình tăng trưởng epiticular như epit Wax silicon và gallium nitride (GaN).

Cải thiện hiệu quả quá trình:

Mô tả chức năng: Bằng cách tối ưu hóa lớp phủ trên bề mặt thiết bị, Lớp phủ TaC có thể cải thiện hiệu quả tổng thể của quy trình, giảm tỷ lệ lỗi và tăng năng suất sản phẩm. Điều này rất quan trọng để sản xuất vật liệu bán dẫn có độ chính xác cao, độ tinh khiết cao.

Độ ổn định nhiệt cao, khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, độ cứng cơ học và khả năng phản ứng hóa học thấp được thể hiện bởi Lớp phủ TaC trong quá trình xử lý chất bán dẫn khiến nó trở thành lựa chọn lý tưởng để bảo vệ các thành phần thiết bị sản xuất chất bán dẫn. Khi nhu cầu của ngành công nghiệp bán dẫn về nhiệt độ cao, độ tinh khiết cao và quy trình sản xuất hiệu quả tiếp tục tăng, Lớp phủ TaC có triển vọng ứng dụng rộng rãi, đặc biệt là trong các thiết bị và quy trình liên quan đến Lớp phủ CVD TaC, Chất cảm ứng phủ TaC và Aixtron G5.

Công ty TNHH Công nghệ bán dẫn VeTek là nhà cung cấp hàng đầu các vật liệu phủ tiên tiến cho ngành bán dẫn. công ty chúng tôi tập trung phát triển các giải pháp tiên tiến cho ngành.

Các sản phẩm chính của chúng tôi bao gồm lớp phủ cacbua silic CVD (SiC), lớp phủ cacbua tantalum (TaC), SiC số lượng lớn, bột SiC và vật liệu SiC có độ tinh khiết cao, chất nhạy cảm than chì được phủ SiC, vòng gia nhiệt trước, vòng chuyển hướng được phủ TaC, các bộ phận bán nguyệt, v.v. ., độ tinh khiết dưới 5ppm, có thể đáp ứng yêu cầu của khách hàng.

Chất bán dẫn VeTek tập trung phát triển các giải pháp phát triển sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành bán dẫn.Chúng tôi chân thành hy vọng trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.