Hỗ trợ phủ SiC cho LPE PE2061S

VeTek Semiconductor là công ty hỗ trợ phủ SiC hàng đầu cho nhà sản xuất và nhà đổi mới LPE PE2061S ở Trung Quốc. Chúng tôi đã chuyên về vật liệu phủ SiC trong nhiều năm. Chúng tôi cung cấp Hỗ trợ phủ SiC cho LPE PE2061S được thiết kế đặc biệt cho lò phản ứng epit Wax silicon LPE. Hỗ trợ phủ SiC cho LPE PE2061S này là đáy của bộ phận nhạy cảm thùng. Nó có thể chịu được nhiệt độ cao 1600 độ C, kéo dài tuổi thọ sản phẩm của phụ tùng than chì. Chào mừng bạn gửi yêu cầu cho chúng tôi.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Hỗ trợ phủ SiC chất lượng cao cho LPE PE2061S được cung cấp bởi nhà sản xuất VeTek Semiconductor của Trung Quốc. Mua trực tiếp Hỗ trợ phủ SiC cho LPE PE2061S có chất lượng cao với giá thấp.

Hỗ trợ được phủ SiC bán dẫn VeTeK cho LPE PE2061S trong thiết bị epitaxis silicon, được sử dụng cùng với bộ phận nhạy cảm loại thùng để hỗ trợ và giữ các tấm wafer epiticular (hoặc chất nền) trong quá trình tăng trưởng epiticular.

Tấm đáy chủ yếu được sử dụng với lò epiticular thùng, lò epiticular thùng có buồng phản ứng lớn hơn và hiệu suất sản xuất cao hơn lò nhạy cảm epiticular phẳng.

Giá đỡ có thiết kế lỗ tròn và chủ yếu được sử dụng cho ống xả bên trong lò phản ứng.

Hỗ trợ phủ SiC bán dẫn VeTeK cho LPE PE2061S dành cho Hệ thống lò phản ứng Epit Wax pha lỏng (LPE), với độ tinh khiết cao, lớp phủ đồng nhất, ổn định nhiệt độ cao, chống ăn mòn, độ cứng cao, độ dẫn nhiệt tuyệt vời, hệ số giãn nở nhiệt thấp và độ trơ hóa học .

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC:

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC
Tài sản	Giá trị điển hình
Cấu trúc tinh thể	FCC đa tinh thể pha β, chủ yếu định hướng (111)
Tỉ trọng	3,21 g/cm³
độ cứng	Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g)
Kích thước hạt	2 ~ 10μm
Độ tinh khiết hóa học	99,99995%
Nhiệt dung	640 J·kg-1·K-1
Nhiệt độ thăng hoa	2700oC
Độ bền uốn	415 MPa RT 4 điểm
Mô đun của Young	Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC
Dẫn nhiệt	300W·m-1·K-1
Mở rộng nhiệt (CTE)	4,5×10-6K-1

Xưởng sản xuất chất bán dẫn VeTek

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn:

Thẻ nóng: Hỗ trợ lớp phủ SiC cho LPE PE2061S, Trung Quốc, Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy, Tùy chỉnh, Mua, Nâng cao, Bền bỉ, Sản xuất tại Trung Quốc