Phụ tùng lớp phủ TaC

Chất bán dẫn VeTekTấm phủ TaClà một vật liệu đặc biệt được sử dụng rộng rãi trongchất bán dẫnquá trình sản xuất. Kết hợp với độ cứng và khả năng chống mài mòn cao, chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn, hệ số ma sát thấp và dẫn nhiệt tốt, Tấm phủ TaC đóng vai trò không thể thay thế trong nhiều liên kết xử lý chất bán dẫn.

Nhìn chung, các ứng dụng củaTấm phủ TaCtrong xử lý chất bán dẫn như sau:

Chất nền tăng trưởng CVD/ALD: Khả năng chịu nhiệt độ cao, độ ổn định hóa học và hệ số ma sát thấp của tấm phủ TaC khiến chúng trở thành chất nền tăng trưởng CVD/ALD lý tưởng. Nó có thể cung cấp một môi trường tăng trưởng ổn định để đảm bảo tính đồng nhất và mật độ của màng.

Tấm mặt nạ khắc: Độ cứng cao và khả năng chống ăn mòn của các tấm phủ TaC cho phép chúng chịu được các quá trình sử dụng năng lượng cao như khắc plasma, khắc tấm mặt nạ, bảo vệ lớp màng bên dưới.

Pad đánh bóng CMP: Khả năng chống mài mòn và hệ số ma sát thấp của tấm phủ TaC khiến chúng trở thành vật liệu lý tưởng cho miếng đánh bóng CMP, có thể loại bỏ hiệu quả các hạt và khuyết tật trên bề mặt màng.

Ống lò nhiệt độ cao: Khả năng chịu nhiệt độ cao và chống ăn mòn của các tấm phủ TaC cho phép chúng được sử dụng làm ống nung trong lò nhiệt độ cao để ủ, khuếch tán ở nhiệt độ cao và các quá trình khác.

Kết hợp với đặc tính sản phẩm củaTấm phủ TaC, nó xác định rằng sản phẩm này đóng một vai trò quan trọng không thể thay thế trong việc cải thiện hiệu suất thiết bị, kéo dài tuổi thọ thiết bị và nâng cao hiệu quả sản xuất. 

Là một nhà sản xuất chuyên nghiệp củaGaN trên bộ chấp nhận epi SiC, Than chì xốpVàTấm phủ TaCtại Trung Quốc, VeTek Semiconductor luôn khẳng định việc cung cấp các dịch vụ sản phẩm tùy chỉnh và cam kết cung cấp cho ngành các giải pháp sản phẩm và công nghệ hàng đầu. Chúng tôi chân thành mong nhận được sự tư vấn thêm của bạn.

Thông số kỹ thuật CVD TAC COATING：

Cửa hàng phụ tùng TaC Coating：

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn：