Lớp phủ CVD TAC là gì?

Như tất cả chúng ta đã biết,TaCcó nhiệt độ nóng chảy lên tới 3880°C, độ bền cơ học cao, độ cứng, khả năng chống sốc nhiệt; có tính trơ hóa học tốt và ổn định nhiệt đối với hơi chứa amoniac, hydro, silicon ở nhiệt độ cao.

Lớp phủ cacbua tantali trên mặt cắt cực nhỏ

Lớp phủ CVD TAC, lắng đọng hơi hóa học (CVD) củalớp phủ tantalum cacbua (TaC), là một quá trình hình thành lớp phủ có mật độ cao và bền trên nền (thường là than chì). Phương pháp này liên quan đến việc lắng đọng TaC lên bề mặt chất nền ở nhiệt độ cao, tạo ra lớp phủ có độ ổn định nhiệt và kháng hóa chất tuyệt vời.

Những ưu điểm chính của lớp phủ CVD TaC bao gồm:

Độ ổn định nhiệt cực cao: có thể chịu được nhiệt độ trên 2200°C.

Kháng hóa chất: có thể chống lại các hóa chất mạnh như hydro, amoniac và hơi silicon một cách hiệu quả.

Độ bám dính mạnh: đảm bảo sự bảo vệ lâu dài mà không bị tách lớp.

Độ tinh khiết cao: giảm thiểu tạp chất, khiến nó trở nên lý tưởng cho các ứng dụng bán dẫn.

Những lớp phủ này đặc biệt phù hợp với những môi trường đòi hỏi độ bền cao và khả năng chống chịu với các điều kiện khắc nghiệt, chẳng hạn như sản xuất chất bán dẫn và quy trình công nghiệp nhiệt độ cao.

Trong sản xuất công nghiệp, vật liệu than chì (carbon-carbon composite) được phủ lớp phủ TaC rất có khả năng thay thế than chì có độ tinh khiết cao truyền thống, lớp phủ pBN, các bộ phận phủ SiC, v.v. Ngoài ra, trong lĩnh vực hàng không vũ trụ, TaC có tiềm năng lớn để được sử dụng làm lớp phủ chống oxy hóa và chống mài mòn ở nhiệt độ cao và có triển vọng ứng dụng rộng rãi. Tuy nhiên, vẫn còn nhiều thách thức để đạt được việc chuẩn bị lớp phủ TaC dày đặc, đồng đều, không bong tróc trên bề mặt than chì và thúc đẩy sản xuất hàng loạt công nghiệp.

Trong quá trình này, việc khám phá cơ chế bảo vệ của lớp phủ, đổi mới quy trình sản xuất và cạnh tranh với các đối thủ hàng đầu nước ngoài là rất quan trọng đối với thế hệ thứ ba.tăng trưởng tinh thể bán dẫn và epitaxy.

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất chuyên nghiệp của Trung Quốc về các sản phẩm Lớp phủ Tantalum cacbua CVD, chẳng hạn nhưNồi nấu kim loại phủ CVD TaC, Chất mang wafer phủ CVD TaC, Chất mang lớp phủ CVD TaC,Vỏ phủ CVD TaC, Vòng phủ CVD TaC. VeTek Semiconductor cam kết cung cấp các giải pháp tiên tiến cho các sản phẩm Lớp phủ khác nhau cho ngành bán dẫn.

Nếu bạn có bất kỳ thắc mắc hoặc cần thêm chi tiết, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Mob/WhatsAPP: +86-180 6922 0752

Email: anny@veteksemi.com