Chất mang lớp phủ CVD TaC

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất chất phủ CVD TaC hàng đầu Trung Quốc, nhà sản xuất chất phủ EPITAXY, nhà sản xuất chất cảm ứng than chì phủ TaC.

Thông qua nghiên cứu đổi mới vật liệu và quy trình liên tục, chất mang lớp phủ CVD TaC của Vetek Semiconductor đóng một vai trò rất quan trọng trong quy trình epiticular, chủ yếu bao gồm các khía cạnh sau:

Bảo vệ bề mặt: Chất mang phủ CVD TaC mang lại độ ổn định hóa học và ổn định nhiệt tuyệt vời, ngăn chặn hiệu quả nhiệt độ cao và khí ăn mòn làm xói mòn lớp nền và thành trong của lò phản ứng, đảm bảo độ tinh khiết và ổn định của môi trường quy trình.

Độ đồng đều nhiệt: Kết hợp với độ dẫn nhiệt cao của chất mang lớp phủ CVD TaC, nó đảm bảo sự phân bố nhiệt độ đồng đều trong lò phản ứng, tối ưu hóa chất lượng tinh thể và độ đồng đều về độ dày của lớp epiticular, đồng thời nâng cao tính nhất quán hiệu suất của sản phẩm cuối cùng.

Kiểm soát ô nhiễm hạt: Vì chất mang được phủ CVD TaC có tốc độ tạo hạt cực thấp nên đặc tính bề mặt nhẵn làm giảm đáng kể nguy cơ nhiễm bẩn hạt, từ đó cải thiện độ tinh khiết và năng suất trong quá trình tăng trưởng epiticular.

Tuổi thọ thiết bị kéo dài: Kết hợp với khả năng chống mài mòn và chống ăn mòn tuyệt vời của chất mang lớp phủ CVD TaC, nó giúp kéo dài đáng kể tuổi thọ sử dụng của các bộ phận trong buồng phản ứng, giảm thời gian ngừng hoạt động của thiết bị và chi phí bảo trì, đồng thời cải thiện hiệu quả sản xuất.

Kết hợp các đặc điểm trên, chất mang Lớp phủ CVD TaC của VeTek Semiconductor không chỉ cải thiện độ tin cậy của quy trình và chất lượng của sản phẩm trong quy trình tăng trưởng epiticular mà còn cung cấp giải pháp tiết kiệm chi phí cho sản xuất chất bán dẫn.

Tính chất vật lý của chất mang phủ CVD TaC:

Xưởng sản xuất sơn CVD SiC:

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: