Tantalum cacbua phủ than chì xốp

Than chì xốp phủ Tantalum cacbua bán dẫn VeTek đã trở thành tinh thể cacbua silic (SiC) nhờ khả năng chịu nhiệt độ siêu cao (điểm nóng chảy khoảng 3880°C), độ ổn định nhiệt tuyệt vời, độ bền cơ học và độ trơ hóa học trong môi trường nhiệt độ cao. Là nguyên liệu không thể thiếu trong quá trình sinh trưởng. Đặc biệt, cấu trúc xốp của nó mang lại nhiều ưu điểm kỹ thuật choquá trình phát triển tinh thể. 

Sau đây là phân tích chi tiết vềTantalum cacbua phủ than chì xốpvai trò cốt lõi:

● Cải thiện hiệu suất dòng khí và kiểm soát chính xác các thông số quy trình

Cấu trúc vi xốp của Than chì xốp có thể thúc đẩy sự phân bố đồng đều các khí phản ứng (như khí cacbua và nitơ), từ đó tối ưu hóa bầu không khí trong vùng phản ứng. Đặc tính này có thể tránh được các vấn đề tích tụ khí hoặc nhiễu loạn cục bộ một cách hiệu quả, đảm bảo rằng các tinh thể SiC được ứng suất đồng đều trong suốt quá trình tăng trưởng và tỷ lệ khuyết tật giảm đáng kể. Đồng thời, cấu trúc xốp cũng cho phép điều chỉnh chính xác độ dốc áp suất khí, tối ưu hóa hơn nữa tốc độ phát triển tinh thể và cải thiện tính nhất quán của sản phẩm.

●  Giảm sự tích tụ ứng suất nhiệt và cải thiện tính toàn vẹn của tinh thể

Trong hoạt động ở nhiệt độ cao, đặc tính đàn hồi của cacbua Tantalum xốp (TaC) làm giảm đáng kể nồng độ ứng suất nhiệt do chênh lệch nhiệt độ. Khả năng này đặc biệt quan trọng khi phát triển tinh thể SiC, làm giảm nguy cơ hình thành vết nứt nhiệt, từ đó cải thiện tính toàn vẹn của cấu trúc tinh thể và độ ổn định khi xử lý.

●  Tối ưu hóa phân phối nhiệt và nâng cao hiệu quả sử dụng năng lượng

Lớp phủ cacbua Tantalum không chỉ mang lại cho xốp Graphite độ dẫn nhiệt cao hơn mà đặc tính xốp của nó còn có thể phân phối nhiệt đồng đều, đảm bảo phân bổ nhiệt độ rất ổn định trong khu vực phản ứng. Việc quản lý nhiệt đồng đều này là điều kiện cốt lõi để sản xuất Tinh thể SiC có độ tinh khiết cao. Nó cũng có thể cải thiện đáng kể hiệu suất sưởi ấm, giảm tiêu thụ năng lượng và làm cho quá trình sản xuất tiết kiệm và hiệu quả hơn.

●  Tăng cường khả năng chống ăn mòn và kéo dài tuổi thọ linh kiện

Khí và sản phẩm phụ trong môi trường nhiệt độ cao (như pha hơi hydro hoặc cacbua silic) có thể gây ăn mòn nghiêm trọng cho vật liệu. Lớp phủ TaC cung cấp một rào cản hóa học tuyệt vời cho than chì xốp, làm giảm đáng kể tốc độ ăn mòn của bộ phận, từ đó kéo dài tuổi thọ sử dụng của nó. Ngoài ra, lớp phủ còn đảm bảo độ ổn định lâu dài của cấu trúc xốp, đảm bảo tính chất vận chuyển khí không bị ảnh hưởng.

●  Ngăn chặn hiệu quả sự khuếch tán của tạp chất và đảm bảo độ tinh khiết của tinh thể

Ma trận than chì không được phủ có thể giải phóng một lượng tạp chất và Lớp phủ TaC hoạt động như một rào cản cách ly để ngăn các tạp chất này khuếch tán vào tinh thể SiC trong môi trường nhiệt độ cao. Hiệu ứng che chắn này rất quan trọng để cải thiện độ tinh khiết của tinh thể và giúp đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của ngành bán dẫn đối với vật liệu SiC chất lượng cao.

Than chì xốp được phủ Tantalum Carbide của chất bán dẫn VeTek cải thiện đáng kể hiệu quả xử lý và chất lượng tinh thể bằng cách tối ưu hóa dòng khí, giảm ứng suất nhiệt, cải thiện tính đồng nhất nhiệt, tăng cường khả năng chống ăn mòn và ức chế khuếch tán tạp chất trong quá trình Tăng trưởng Tinh thể SiC. Việc ứng dụng loại vật liệu này không chỉ đảm bảo độ chính xác và độ tinh khiết cao trong sản xuất mà còn giúp giảm đáng kể chi phí vận hành, khiến nó trở thành trụ cột quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn hiện đại.

Quan trọng hơn, VeTeksemi từ lâu đã cam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành sản xuất chất bán dẫn, đồng thời hỗ trợ các dịch vụ sản phẩm Than chì xốp phủ Tantalum Carbide tùy chỉnh. Chúng tôi chân thành mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Tính chất vật lý của lớp phủ Tantalum Carbide

Cửa hàng sản xuất than chì xốp phủ tantalum cacbua bán dẫn VeTek