Chất nhạy cảm than chì được phủ TaC

Chất nhạy cảm bằng than chì được phủ TaC của VeTek Semiconductor sử dụng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD) để chuẩn bị lớp phủ cacbua tantalum trên bề mặt của các bộ phận than chì. Quá trình này là trưởng thành nhất và có đặc tính phủ tốt nhất. Chất nhạy cảm than chì được phủ TaC có thể kéo dài tuổi thọ của các thành phần than chì, ức chế sự di chuyển của tạp chất than chì và đảm bảo chất lượng của epit Wax. VeTek Semiconductor rất mong nhận được câu hỏi của bạn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Chúng tôi hoan nghênh bạn đến nhà máy VeTek Semiconductor của chúng tôi để mua sản phẩm Chất cảm ứng than chì phủ TaC bán chạy nhất, giá thấp và chất lượng cao. Chúng tôi mong muốn hợp tác với bạn.

Điểm nóng chảy của vật liệu gốm cacbua Tantalum lên tới 3880oC, là điểm nóng chảy cao và tính ổn định hóa học tốt của hợp chất, môi trường nhiệt độ cao của nó vẫn có thể duy trì hiệu suất ổn định, ngoài ra, nó còn có khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn hóa học, hóa chất tốt và khả năng tương thích cơ học với vật liệu cacbon và các đặc tính khác, khiến nó trở thành vật liệu phủ bảo vệ nền than chì lý tưởng. Lớp phủ cacbua tantalum có thể bảo vệ hiệu quả các thành phần than chì khỏi ảnh hưởng của hơi amoniac nóng, hydro và silicon và kim loại nóng chảy trong môi trường sử dụng khắc nghiệt, kéo dài đáng kể tuổi thọ của các thành phần than chì và ức chế sự di chuyển của tạp chất trong than chì, đảm bảo chất lượng của epitaxy và sự phát triển của tinh thể. Nó chủ yếu được sử dụng trong quy trình gốm ướt.

Lắng đọng hơi hóa học (CVD) là phương pháp chuẩn bị tối ưu và hoàn thiện nhất cho lớp phủ tantalum cacbua trên bề mặt than chì.

Phương pháp phủ CVD TaC cho chất nhạy cảm than chì được phủ TaC:

Quá trình phủ lần lượt sử dụng TaCl5 và propylene làm nguồn carbon và nguồn tantalum, và argon làm khí mang để đưa hơi tantalum pentachloride vào buồng phản ứng sau khi khí hóa ở nhiệt độ cao. Dưới nhiệt độ và áp suất mục tiêu, hơi của vật liệu tiền chất được hấp phụ trên bề mặt của phần than chì và xảy ra một loạt các phản ứng hóa học phức tạp như phân hủy và kết hợp giữa nguồn carbon và nguồn tantalum. Đồng thời, một loạt các phản ứng bề mặt như khuếch tán tiền chất và giải hấp các sản phẩm phụ cũng tham gia. Cuối cùng, một lớp bảo vệ dày đặc được hình thành trên bề mặt của phần than chì, giúp bảo vệ phần than chì không bị ổn định trong điều kiện môi trường khắc nghiệt. Các kịch bản ứng dụng của vật liệu than chì được mở rộng đáng kể.

Thông số sản phẩm của Chất nhạy cảm than chì phủ TaC:

Tính chất vật lý của lớp phủ TaC
Tỉ trọng	14,3 (g/cm³)
Độ phát xạ cụ thể	0.3
Hệ số giãn nở nhiệt	6,3 10-6/K
Độ cứng (HK)	2000 HK
Sức chống cự	1×10-5 Ôm*cm
Ổn định nhiệt	<2500oC
Thay đổi kích thước than chì	-10~-20um
độ dày lớp phủ	≥20um giá trị điển hình (35um±10um)