Ống lò khuếch tán SiC

Sơ đồ làm việc của ống lò khuếch tán SiC

Ống lò khuếch tán SiC bán dẫn VeTek có những ưu điểm sản phẩm sau:

Tính chất cơ học nhiệt độ cao tuyệt vời: Ống lò khuếch tán SiC có các đặc tính cơ học ở nhiệt độ cao tốt nhất so với bất kỳ vật liệu gốm nào đã biết, bao gồm độ bền tuyệt vời và khả năng chống rão. Điều này làm cho nó đặc biệt thích hợp cho các ứng dụng đòi hỏi sự ổn định lâu dài ở nhiệt độ cao.

Khả năng chống oxy hóa tuyệt vời: Ống lò khuếch tán SiC của VeTek Semiconductor có khả năng chống oxy hóa tuyệt vời, loại gốm sứ không chứa oxit tốt nhất. Đặc tính này đảm bảo sự ổn định và hiệu suất lâu dài trong môi trường nhiệt độ cao, giảm nguy cơ xuống cấp và kéo dài tuổi thọ của ống.

● Độ bền uốn cao: Ống lò khuếch tán VeTekSemi SiC có độ bền uốn trên 200MPa, đảm bảo tính chất cơ học tuyệt vời và tính toàn vẹn cấu trúc trong điều kiện ứng suất cao điển hình của quy trình sản xuất chất bán dẫn.

● Khả năng chống ăn mòn tuyệt vờie: Độ trơ hóa học của Ống lò SiC mang lại khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, khiến những ống này trở nên lý tưởng để sử dụng trong môi trường hóa học khắc nghiệt thường gặp trong xử lý chất bán dẫn.

● Khả năng chống mài mòn cao: Lò nung ống SiC có khả năng chống mài mòn mạnh, điều này rất cần thiết để duy trì sự ổn định về kích thước và giảm yêu cầu bảo trì khi sử dụng trong thời gian dài trong điều kiện mài mòn.

● Với lớp phủ CVD: Lớp phủ sic lắng đọng hơi hóa học bán dẫn (CVD) VeTek có độ tinh khiết lớn hơn 99,9995%, hàm lượng tạp chất dưới 5ppm và tạp chất kim loại có hại nhỏ hơn 1ppm. Quá trình phủ CVD đảm bảo rằng ống đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về độ kín chân không là 2-3Torr, điều này rất quan trọng đối với môi trường sản xuất chất bán dẫn có độ chính xác cao.

● Ứng dụng trong lò khuếch tán: Các ống sic này được thiết kế cho các lò khuếch tán bán dẫn, nơi chúng đóng vai trò chính trong các quá trình nhiệt độ cao như pha tạp và oxy hóa. Đặc tính vật liệu tiên tiến của chúng đảm bảo rằng chúng có thể chịu được các điều kiện khắc nghiệt của các quy trình này, từ đó nâng cao hiệu quả và độ tin cậy của quá trình sản xuất chất bán dẫn.

VeTek Semiconductor từ lâu đã cam kết cung cấp các giải pháp sản phẩm và công nghệ tiên tiến cho ngành bán dẫn, đồng thời hỗ trợ các dịch vụ tùy chỉnh chuyên nghiệp. Lựa chọn Ống lò khuếch tán SiC của VeTek Semiconductor, bạn sẽ có được một sản phẩm có hiệu suất tuyệt vời và độ tin cậy cao để đáp ứng các nhu cầu khác nhau của sản xuất chất bán dẫn hiện đại. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ là đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Cửa hàng sản phẩm ống lò khuếch tán SiC bán dẫn VeTek: