Thuyền wafer silicon cacbua cho lò ngang

VeTek Semiconductor là nhà sản xuất và cung cấp chuyên nghiệp tại Trung Quốc về thuyền wafer silicon cacbua cho lò nung ngang, với nhiều năm kinh nghiệm về R&D và sản xuất, có thể kiểm soát tốt chất lượng và đưa ra mức giá cạnh tranh. Bạn có thể yên tâm mua thuyền wafer silicon cacbua cho lò ngang từ chúng tôi.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Thuyền wafer cacbua silic chất lượng cao cho lò nung ngang được cung cấp bởi nhà sản xuất VeTek Semiconductor của Trung Quốc. Mua thuyền wafer cacbua silic cho lò ngang có chất lượng cao trực tiếp từ nhà máy với giá thấp. Thuyền wafer cacbua silic cho lò ngang được sử dụng trong ống lò để tải và chuyển các tấm wafer trong quá trình xử lý nhiệt độ cao. Do các đặc tính tuyệt vời của vật liệu cacbua silic như khả năng chịu nhiệt độ cao, chống ăn mòn hóa học và ổn định nhiệt, chúng được sử dụng rộng rãi trong các quy trình xử lý nhiệt khác nhau như khuếch tán, oxy hóa, CVD và ủ.

Thuyền wafer cacbua silic cho lò ngang được làm bằng vật liệu cacbua silic và có các đặc điểm sau:

1. Độ cứng và khả năng chống mài mòn cao: Cacbua silic có độ cứng chỉ đứng sau kim cương nên có khả năng chống mài mòn cao. Điều này cho phép thuyền cacbua silic chịu được các tác động cơ học và ma sát lặp đi lặp lại, kéo dài tuổi thọ sử dụng của chúng.

2. Khả năng chịu nhiệt độ cao: Cacbua silic có nhiệt độ nóng chảy 2730°C, làm cho cacbua silic thích hợp với môi trường nhiệt độ cao và các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác nhau, chẳng hạn như quá trình oxy hóa và khuếch tán ở nhiệt độ cao.

3. Hệ số giãn nở nhiệt thấp: Cacbua silic có hệ số giãn nở nhiệt thấp, giúp duy trì sự ổn định kích thước ở nhiệt độ cao, ngăn ngừa biến dạng của thuyền và ảnh hưởng đến độ chính xác của quá trình xử lý wafer.

4. Độ ổn định hóa học tốt: Cacbua silic có khả năng kháng hầu hết các hóa chất và không phản ứng với các dung dịch axit và kiềm thông thường, đảm bảo độ an toàn và sạch sẽ của tấm wafer.

Chúng tôi có thể sản xuất các loại thuyền wafer silicon cacbua khác nhau như thuyền wafer ngang, thuyền wafer dọc và bất kỳ thuyền tùy chỉnh nào khác.

Chúng tôi sử dụng cacbua silic kết tinh có độ tinh khiết cao với các thông số dưới đây:

Tính chất vật lý của cacbua silic kết tinh
Tài sản	Giá trị điển hình
Nhiệt độ làm việc (° C)	1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử)
Nội dung SiC	> 99,96%
Nội dung Si miễn phí	< 0,1%
Mật độ lớn	2,60-2,70 g/cm3
Độ rỗng rõ ràng	< 16%
Cường độ nén	> 600 MPa
Độ bền uốn nguội	80-90 MPa (20°C)
Độ bền uốn nóng	90-100 MPa (1400°C)
Giãn nở nhiệt @1500°C	4,70 10-6/°C
Độ dẫn nhiệt @1200°C	23 W/m·K
Mô đun đàn hồi	240 GPa
Nhiệt kháng sốc	Cực kỳ tốt

Các ứng dụng

Thuyền wafer silicon cacbua dùng cho lò nung ngang có ứng dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện:

Làm sạch và khắc wafer

Khuếch tán và oxy hóa

Mạ điện và khắc

Đánh bóng cơ học hóa học (CMP)

Xử lý nhiệt

Chuyển và lưu trữ wafer

Xưởng sản xuất chất bán dẫn VeTek

Thẻ nóng: Thuyền wafer silicon cacbua cho lò ngang, Trung Quốc, Nhà sản xuất, Nhà cung cấp, Nhà máy, Tùy chỉnh, Mua, Nâng cao, Bền, Sản xuất tại Trung Quốc

Thẻ sản phẩm

Danh mục liên quan